Масс-спектрометрический течеискатель

 

Изобретение относится к испытаниям на герметичность с помощью массспектрометрического течеискателя и обеспечивает повьшение надежности работы анализатора и манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах. Анализатор течеискателя подсоединен к корпусу охлаждаемой ловушки в нижней части со стороны дна резервуара с криогенной жидкостью , а насосная группа - в его. верхней части со стороны заливной горловины. Дно резервуара для криогенной ЖИДКОСТИ наиболее долго сохраняет низкую температуру и защищает анализатор от попадания паров рабочей жидкости насосной группы. Манометрический преобразователь размещен в полости корпуса ловушки между его дном и дном резервуара, что способствует дополнительной защите анализатора вследствие расщепления тиц рабочей жидкости в электрическом разряде. ,Для предотвращения попадания конденсата на мансадетрический преобразователь поверхность дна резервуара для криогенной жидкости выполнена вогнутой. 2 з.п. ф-лы, 1 нл. Од о:

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИЙ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР .IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

S ASXOrWoiW ee Xan Sv (21) 3725075/25-28 (22) 13.04.84 (46), 15.02.86. Бюл. В 6 (?2) Л.Г.Берман и В.А.Чирков (53) 620.165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 947663, кл. G 01 N 3/02, 1980. (54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИИ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к испытаниям на герметичность с помощью массспектрометрического течеискателя и обеспечивает повышение надежности работы анализатора и манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах. Анализатор течеискателя подсоединен к корпусу охлажда, SU„„1211616 А емой ловушки в нижней части со стороны дна резервуара с криогенной жидкостью, а насосная группа - в его, верхней части со стороны заливной горловины. Дно резервуара для криогенной жидкости наиболее долго сохра-. няет низкую температуру и защищает анализатор от попадания паров рабочей жидкости насосной группы. Манометрический преобразователь размещен в полости корпуса ловушки между его дном и дном резервуара, что способствует дополнительной защите ана-. лизатора вследствие расщепления часта тиц рабочей жидкости в электрическом. разряде- .Для предотвращения попадания конденсата на манометрический преобразователь поверхность. дна резервуара для криогенной жидкости выполнена вогнутой. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

° ° р Ф g.1211ь16

Изобретение относится к испытагельной технике, а именно к испытаниям на герметичность.

Цель изобретения — повышение надежности работы анализатора, а также манометрического преобразователя путем уменьшения количества продуктов, осаждающихся на электродах.

На чертеже изображен масс-спектрометрический течеискатель. I0

Течеискатель содержит последовательно соединенные устройство 1 питания и регистрации, анализатор 2, охлаждаемую ловушку 3 и насосную группу 4, Охлаждаемая ловушка 3 15 выполнена в виде полого корпуса 5, в котором размещен резервуар б с криогенной жидкостью, Анализатор 2 подсоединен к корпусу 5 в нижней части со стороны дна 7 резервуара б, а на- 20 сосная группа 4 - в верхней части со стороны заливной горловины 8 резервуара 6. Манометрический преобразователь 9 расположен в полости корпуса

5 между его дном 10 и дном 7 резерву- 5 ара 6 с криогенной жидкостью, причем поверхность дна 7 резервуара 6, обращенная к манометрическому преобраэователк, 9, выполнена вогнутой.

Течеискатель работает следующим ЗО образом, Насосная группа 4 создает необходж ьй вакуум в полости анализатора 2. Пробный газ, попадающий в вакуумную полость течеискателя поступа-35 ет в анализатор 2, где преобразуется в электрический сигнал и регистрируется. Кроме пробного газа в анали- затор 2 могут поступать другие газообразные и парообразные вещества, íà-4р пример пары рабочих жидкостей насосной группы 4. Для их устранечия служит охлаждаемая ловушка 3, стенки резервуара 6 которой эффективно связы вают молекулы этих веществ. 45

Наибольший эффект работы ловушки

3 сказывается при максимальном удалении защищаемых элементов манометрического преобразователя 9 и анализатора 2) от места подсоединения 50 насосной группы 4. I асположение манометрического преобразователя 9 на дне корпуса 5 ловушки 3 в непосредственной близости от резервуара 6 и от входа в анализатор 2 создает 55 наиболее благоприятные условия для

его работы и работы течеискателя в целом.

Нижний конец резервуара б для криогенной жидкости наиболее долго сохраняет температуру криогенной жидкости при ее естественном испарении в атмосферу. С другой стороны, давление паров рабочей жидкости насосной группы 4 уменьшается с увеличением расстояния по длине вакуумпровода, соединяющего насосную группу 4 с анализатором 2, Таким образом, при естественном испарении криогенной жидкости пары рабочей жидкости, десорбирующиеся с верхних..участков резервуара Ь, а также проникающие из насосной группы 4, сорбируются на нижнем конце резервуара 6, сохраняющем температуру криогенной жидкости. При этом основной газовый поток,создаваемый насосной группой 4, помогает уменьшить давление паров рабочей жидкости в области наиболее холодного участка резервуара 6 дпя криогенной жидкости, Размещение манометрического преобразователя 9, например магниторазрядного датчика, также вблизи наиболее охлажденной части ловушки 3 способствует дополнительному понижению давления паров рабочей жидкости путем расщепления частиц рабочей жидкости в электрическом разряде и дополнительно защищает вход в анализатор 2.

Ири удалении криогенной жидкости из резервуара 6 охлаждаемой ловушки 3 или ее полном естественном испарении возможно образование конден сата парообразных веществ на стенках резервуара 6. Для предотвраще-. ния прямого попадания конденсата на манометрический преобразователь 9 поверхность дна 7 резервуара б для криогенной жидкости со стороны манометрического преобразователя 9 выполнена вогнутой. Конденсат, образующийся на поверхности дна 7 резерву ара 6, концентрируется на кромке дна

7, не попадая на манометрический преобразователь 9.

Изобретение позволяет повысить надежность работы течеискателя, увеличить период между профилактическими мероприятиями по удалению с электродов осаждающихся продуктов .

12 161(Составитель А.Овсянникова

Техред С.Мигунова Корректор Л. Патай

Редак тор М. Циткина

Подписное

Заказ 634/47 Тираж 778

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðoä, ул.Проектная, 4

Формула изобретения

Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий последовательно соединенные устройство питания и регистрации, анализатор, охлаждаемую ловушку, выполненную в виде полого корпуса с размещенным в нем резервуаром для криогенной жидкости, насосную группу и манометрический пре" образователь, соединенный с устройством питания и регистрации, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения надежности работы течеискателя, анализатор подсоединен к корпусу охлаждаемой ловушки со стороны дна резервуара для криогенной жидкости, а насосная группа - co стороны его заливной горловины.

2. Течеискатель по п, I, о т л ич а ю шийся тем, что манометрическнй преобразователь размещен в полости корпуса между его дном и дном резервуара для криогенной жидкости соосно с последним.

3. Течеискатель по и. 2, о т л ич а ю шийся тем, что поверхность дна резервуара охлаждаемой ловушки, обращенная к манометричес15 кому преобразователю, выполнена вогнутой.