Электронный микроскоп

 

Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретения - повьшение информативности исследований . Она. достигается путем ускорения цикла фоторегистрации электронного изображения, а также снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высоких энергий. Электронный миксодержит размещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу (л) 2, столик 3 объектов, промежуточную Л 4, проекционную Л 5 с магнитопроводом 6, отклоняющую систему 7, экран 8 фоторегистрации и экран 9 визуального наблюдения, наклон которого под углом оО обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объекта . Условия выбора величины угла р6 приводятся в описании изобретения. 1 ил. (Л ю 9 О)

СОВХОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (g)) 4 Н 01 J 37 26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К A BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

13,, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ. ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 3782079/24-21 (22} 13,08.84 (46) 07,07.86. Бюл. У 25 (72) И. С. Гайдукова, С. А. Дицман и В. В. Мосеев (53) 621.385.833(088.8) (56) Пилянкевич А. Н., Клиновицкий А. M. Электронные микроскопы.

Киев . Техника, 1976, с. 103, Электронный микроскоп EM-109 ° Проспект фирмы Optor., ФРГ, 1981. (54) ЭЛЕКТРОННЬЙ МИКРОСКОП (57) Изобретение относится к электрозондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретенияповышение информативности исследований. Она, достигается путем ускорения цикла фоторегистрации электронного

В изображения, а также снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высоких энергий. Электронный микроскоп содержит размещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу (Л) 2, столик 3 объектов, про межуточнув Л 4, проекционную Л 5 с магнитапроводом 6, отклоняющую систему 7, экран 8 фоторегистрации и экран

9 визуального наблюдения, наклон которого под углом х, обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объ

„„SU„„046 А 1 екта. Условия выбора величины угла приводятся в описании изобретения.

1 ил..1243046!

:20

ВНИИПИ Заказ 3713/53 Тираж 643 Подписное

Произв.-полигр., пр-тие, г„ Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электрон но-оптическому приборостроению, в частности к электронно-зондовым уст ройствам для наблюдения и регистрации изображения, например к электроннЫм микроскопам просвечивающего типа.

Целью изобретения является повышение информативности исследований, проводимых с помощью электронного микроскопа, за счет ускорения цикла фоторегистрации электронного изображения и снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высокой энергии.

На чертеже изображен предлагаемый микроскоп.

Электронный микроскоп содержит раз мещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу 2, столк 3 объектов, промежуточную линзу 4, проекци онную линзу 5 с магнитопроводом 6, отклоняющую систему 7 и экран 8 фото" регистрации. В непосредственной близости от экрана фоторегистрации под углом к нему установлен экран 9 визуального наблюдения, причем наклон экрана визуального наблюдения обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объекта.

Устройство работает следующим об разом.

Источник 1 электронов создает электронный пучок, который проходит через объективную линзу 2, формирующую электронное изображение объекта, находящегося на столике 3 объектов, промежуточную линзу 4, проекционную линзу 5 и отклоняющую систему 7, осуществляющие проецирование. увеличен ного изображения на экраны фоторе гистрации 8 и визуального наблюдения

9. При этом при выборе участка объ екта и фокусировке отклоняющая систе" ма 7 находится во включенном состоянии и обеспечивает отклонение элект ронного пучка от электронно-оптичес-,, кой оси микроскопа на угол, необходимый для направления изображения на экран 9 визуального наблюдения °

Угол: наклона экрана визуального наблюдения к плоскости экрана фоторегистрации определяется геометрическими размерами экрана фоторегистрации, отклоняющей системы и расстоянием от проекционной линзы до экрана. Наклон экрана обеспечивает нормальное падение и попадание электронного пучка на экран визуального наблюдения. Увеличение этого угла нежелательно, так как монет привести к искажению наблюдаемого изображения из-за аберраций отклоняющей системы, которые растут с ростом угла K ..

При фотосъемке отклоняющая система 7 находится в выключенном состоянии и электронно-микроскопическое изображение попадает на экран 8 фоторегистрации, расположенный соосно с источником электронов. Таким обра зом,, осуществляется безынерционное переключение электронного изображения с одного канала регистрации на другой, что позволяет значительно сократить цикл проведения исследований на электронном микроскопе, повысить достоверность и информативность научных результатов за счет искпючения артефактов, связанных с удлинением цикла одного исследования и вибрациями колонны электронного микроскопа. формулаизобретения

Электронный микроскоп„ содержащий источник .электронов, последовательно расположенные по ходу электронного пучка объективную, промежуточную и проекционную линзы а также экраны фоторегистрации и визуального наблюдения, отличающийся тем, ч:то, с целью повьппения информативнос.ти исследования, он снабжен отклоняющей системой, размещенной между проекционной линзой и экраном фоторегистрации, а экран визуального наблюдения установлен перпендикулярно к оси электронного пучка при его наибольшем отклонении на одинаковом по отношению к экрану фоторегистра-, ции ра.сстоянии от центра отклонения отклоняющей системы,