Способ определения относительного изменения межплоскостных расстояний в монокристаллах
союз советсних соцмлистичесни
РЕСПУБЛИН
А1 я)1 л „- 0;: ., 23/20 (2) 3 (22) (46, (7))
Крас унив
, 72,) госудАРстненный номитет сссР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ!
3789629/2 -28)
27,07,84
07 „08. 86, Б1; „-. 29
EpcB 7IIcl,1:;:1 i)p 1е)1а 1 .;--0!30).а н01 0 3 на) lс ни 1 О сУД !Pcòâ c i!bib: 1 ерсите-.
I<, T. Габвиеляп H 1 . О, )e !Нов баян (53,) з48 73) 088 Я ,56, Пинскер 3, . Рентгеновская кристал;!ооптика. — . 1.: Наука, 1982, с . 27 -, Авторское свидетельства СССР
1)) 93 077, кл. 01 ь 23/20) )982. (54 ) С!)ОСО)3 01!РЕ;)Е. )ЕНИЯ ОТНОСИТ)..")ЬНОГО )13)tF))).:)i) 1, 07) Изобретение относ)ится к ре1г! !— наинтерфе раме тр3!Иеским исследо!3 а)--"ям структурного < c)Bppll!pIIc Tва монокр сталлов и позволяет повысить то-шасть определения относительного изменения межплоскостных ра! ст011ни1! лс./a Hа систему из !Iву к тollcTbix <0II0KpHcт!Iл" лов н!3пра13ля!)т -!Снтообразньп1 Гу !Ок „„SU,„, ß249415 рент! снавc кo! 0 излу1-;енllq . Рас C О!1ние ме:-:ду моlioкриста:,ла!и Bb!бирак)т ак1 ..1, итобы пр01ье);;?т.ий H дифрагирова!И.ь)1 : в перлам ь!0Hîêристал.1е .—.у)1к:,1 прс"-.ра:i— с т 3 е11на pl lc не раздел я 7!lc! и 13< !)bI? 0 . е 13 тарОГО "10 "ОкpHC . алла Образаl)I IB»1 лись )п1-, ер. ере!Нвионнь:е . а?1! сы, 8ы-»07i! Н .-1Е 13Н РЕ ЕIII» ГС C!)ЕЗа На ОДН ))I 1! каl!c = .1?.0!3 Обсс!!е !Н13ает ;c..l )в13! Ис— п))ерыв)301 0 ilçì1!11- ния pic . а 33ния "10 " ;!) ."1i)! i!)к и c" а... .с мii 1: тc. "1! Iнl Р, : ) 01 p М;)1: ОК ) ИС та 1-1ОВ . РИ B >С!0 I!! i. i 1 ГДЕ " — Д?.Hli, . Н О. IIIЬ! ре;г: cbовско; 0:Iç?.ó ie.II;ÿ, . . — д.7ина 3:-!Сти Iк!Сии) -.. i Гс.l Нупьыа 1:. ) 1 и . — p,qccтояние между монокрпс l 7:I 1 ам . н та:гl1ина и р. ;)в ОГО "loH!)K pll стал."!а в се -It Iii?и саа ° вс. ст ))1!!См ме c ° y" pа) 3 рь 13 а Hli cpôñðåí "ион ь1 I!ill)1Й интерференпианные 71)нии претерпе13;)!): ;)азрьд, Измерив та?)ыину, и расс".Ояс .1 ние ; .†." . по фор:.уле (1 1 мо;на опреде?и!Гв относительное измен H;. å меж— Г!70скостнык рас ставни!! .,-., Л. 1 Изобретение относитс» к Г>ент: еноинтерферометри еским i;c л „(зья:(иям <(труктурного совершенства мо! Окр((с: аллов, Цель изобретения — повыш.:.>1!e :o«; ! ;ocти измерений, На чертеже показана схем:i ре,=.((иЭ«ЯЦИИ СПОСО Я Цлоский Г-, т«(ок -,„з;>т «;(с;,3< ко — с л««пучения 3!япв«яв «яют E(3 (Ol(;>>сри«- Г J !! тог(ЩИНОй т., С КОС»1(1 В (y10>213 !..!««; .: ЗЕВОМ и с ме>кпло скос E(b(((ра< (т;; япием 01 под углом Вульфа-Брэ«-гB с>„.:; .";.;Оме— жутке между двумя кристалла ((1 p,:-. i(pостряняк)тся нооходящяя > и О (>я><, :— 11!8» волны, Расс . Ояние >«: м жд(у -(ри<-,"ял-! ами 2 и -якое ч ГО с -: яро((транствснно em«.;-10 )я «!(i! i,- i! Интенференционная карти.l;I.,:.)бра=,сг.."1:-яяя наложением дифрагирова(нп(х 1 кри. (ялле 5 (. меж(«лоскост}(ьlм р,l" (:т >»Fl е(. 1 -= 1, 3- 1.;1 и толщ1(но :« .;с.г -i ) к > / 1(редс Г;«Гл; (33(ll ((сб ОЙ Г .30 !" 1-: 1 / .:3,: (3.1 ПЕЛЬНЫХ ЛИllий -. 0ЯС O ..""()El(3 "Р i «Г<, «« < O- О рыми зав (сит от тслшины .::, я ! ТЯК>КЕ От ра С. 3 OË(3ÐE(г" ..1>()t 3 .}< (!О;),,,,С ! ТО (3!IEIB l((PI)0(С> !(PHO "BЦ1«!
СТОЛ(IИЯ 1=! ) <-"ВЯЗЯН1(ЫХ,: 1(Г< i!.: .1(0! Тными расстоян-(2!f(,1, fl .;..1! 1:. I i! i(1 (1 2 л, .—,-! -г Г> -«..« 1 (" — глина рентгеновской В< 1!11!, длина экстинкции рентг «нов((с,-:х п ;"!!«й. разность между волнами 6 и ст H!0»F(! ся постоянной и ин (ерференнионнl«jс .«и1 нии исчезают. Измерив толщину ! ра .стояние "!ежду кристаivta»13;- В сечении соответствующем >и<-ст / «.с езновения и .Терферен,Holttv(х плнпй " .я топогрямме, можно с данной:1)с;pf 1/«(е ОПРЕДB.! IH t Ь 1 Г),«0 „ гq П P и !". е Р, 3! и o3{ÐF ТИНКДИИ PPH ÃÃÐE(O OÊI»>< r ««×03.: ) З »13 Я: 36,6 мкм, Еспи расстоя((ие -ii: ..",": (pl-;ñ"таллами р изме((яе Гс(я В пред; ля)< 20 100 мкм, то диапазон относи- ел 301 О изменения межплоско-.ò. Fib(õ р н ст(я(«ий, . KOTOPbIH МОЖНО (Л 333(3 1>(ЛT(! ., 3 OI ОЕЩНО TЬ . !i: (:- ): 1(ИИ ТСЛЩИН мк!"! .. 0 сюд я с> Гнo;.: 1 т(с!.::;«н ":, ; т(>ч О Т, Я 1(Г, : ! (Я 1101) H <>«!(-!С) СГ(i !». > " Н! . Л. ° I3 ..<. Ei()! 0 .:(,Г: <)1»!..(1ОС ){> O (. С I!"-..,(Н,l,! Г. 01 .:3 1- ..11 « 3»«МЕ!I!. !(И» <С>3! «СО ° 31! 1 1 .. ()и! ;>!!()1; Л> . j - ji !«..: .. 1! :!., - »!,.F!.. (!;f! f! . 1 -! ,-«1. г! .: ! . !! !.,1;,,, 1 (.ОВ . 1, . 1:! ! Я . r 0 0Н 1 !««! «, -) 1«3 :!. (.31! i БЫ Г »11;! 3 Г! ): > :1 Е " i 1««1 ) i Ef «: ! 0 - Д И Р З3 3(- -, . «j!f.-;! 1> -, f, *, «-„ 0 г(>-„-. (Г Я. EJ(13»11101JIII»fi:Т ((«ОСЬ(11 "-:3(«/ ГP H HEI! , лезО(л Гсl(3тйб (! .. . :»не i! <;! . т«, г-Р< КРЫ(!» .1, >!30:,P:! > f«г;;; :;.(!.!)!01*1) .",0 (1 К Pl (i !, ;1 1«)Ж(г Ы «:) 1(, (J»ÎÁ1jF:,!l (, 1;3 !, !i ; :; f!!<, Õ() -". (— !(Ия , (.!! 1 1 !3!) Г«< ! "! з! ; .сi 3-(c! (1, 1 < . ив p !!) " 101;: 1 «> 1!Г >Г 3«1„; fl!! 1- «1! «««вЂ” ,«В,;; . >333, г !Л«) .! !" >,, . 1 В! ГС » «3(!!ЯЕ(, . .fi .= (! «;) .1- ОГ() 1;«1;1«й! :3;1!1РЕ(!<:«(»Ю —;. i -<:; I.. ".— i! «1-0(. ",! Е1i 1К.= «! >1 . !.1!" >" <(! (. j : bl:< :;;" (" .; »!i!,i . Г, <«1-! "3,.--1: l :.1! !! С«1(и)3 ДЛНI::: 11< (т!!«! l. 11!. i! ! « ! l «((...у ! 0Jijj(HI(1 !i( 1249415 Составитель Т, Владимирова Редактор E. Папп Техред Л.Олейник Корректор Л. Пилипенко Заказ 4228/44 Тираж 778 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
