Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к области вакуумной техники. Целью изобретения является повышение SKCJHOMiiiiiocTn. В корпусе I насоса устпнов.1сиы со ст() полости -) нагнетания 1О,1е1 ля|1|1Г;Я ступень 9 и воде струйный эжектор И). Активное соп.чо последнего подключеь:{) к системе 8 водяного охлаждения, а пассивное - к полости -5 нагнетания. Использование водоструйного эжектора позволяет исключить форвакхумную откачку насоса. В данном с;пчае ее функции выпо.1няет эжектор 10, использующий энергию вод|1 системы 8 охлаждения . 1 и..

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ЛК„1268819 А 1 (51)4 F04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . :, Н АВтОРСкОигК СвидЕтельетв

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3909502/25-06 (22) 07.06.85 (46) 07.11.86. Бюл. № 41 (71) МВТУ им. Н. Э. Баумана (72) Е. С. Фролов и H. К. Никулин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Грошковский Я. Техника высокого вакуума. — Мл Мир, 1975, с. 215. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к ооласти вакуумной техники. Целью изобретения является г>овьншенне:о»оми;нсвт». В >ч>рн сс насоса установлс»ь> c <> «-,ог>оны н»ло 1» на,-нетання молскуляр> ая стуllt. lü 9 н в»д> струйный э>ко>,r»;> 10..i>iтнвнoс со»ло i:оследнего подь.но >с»о к c èf.ò> ìñ 8 водяного охлахкдcíè>I.; »,ñ>«ffвное - к волости 4 нагие-,ання. Иснользов ">Ifèå водострi flfl(>I o эжектора позволя«т исключить форвакуумнун> откачку насоса. В,данном случае ее ч>> икнули BI>»I(>, if»i T эхкс>.тоР 10, llcllo, Ib:>vlo>ний энер> I î води f!ç системь> 8 охлахкдення. ил.

1268819

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор М. Бланар Текрел И. Верес Корректор Г. Колб

Заказ 60 12!35 Тираж 566 Г!олписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Г1роектиая, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение экономичности.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 со статорными дисками 2, полостями 3 и 4 всасывания и нагнетания и установленный по оси корпуса

1 дисковый ротор 5, вал 6 которого связан с электродвигателем 7, снабженным системой 8 водяного охлаждения. Насос дополнительно содержит установленные в корпусе 1 со стороны полости 4 нагнетания молекулярную ступень 9 и водоструйный эжектор 10, активное сопло которого подь.поч но к системе 8 водяного охлаждения, пассивное сообщено с полостью 4 нагнетания.

Насос работает следующим образом.

При вращении ротора 5 газ, поступаюи;,ий в полость 3 всасывания, взаимодейст" .т со статорными дисками 2 и ротором

5 и переносится в направлении откачки, 0ofld, . ая в молекулярную ступень 9 и далее в лолост.-, 4 нагнетания. Из этой полости газ удаляется в атмосферу водоструйным эжектором 10, в котором в качестве активной среды используется вода из системы 8 охлаждения электродвигателя 7.

Использование водоструйного эжектора позволяет исключить форвакуумную откачку насоса, поскольку в данном случае ее функции выполняет эжектор 10, использующий энергию воды из системы охлаждения, что в целом повышает экономичность насоса.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус со статорными дисками, полостями всасывания и нагнетания и установленный по оси корпуса дисковый ротор, вал которого связан с электродвигателем, снабженным системой водяного охлаждения, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, насос дополнительно содержит установленные в корпусе со стороны полости нагнетания молекулярную ступень и водоструйный эжектор, активное сопло которого подключено к системе водяного охлаждения, а пассивное сообщено с полостью нагнетания.