Способ бесконтактного измерения емкости полупроводника и устройство для его осуществления
1. Способ бесконтактного измерения емкости полупроводника, состоящий в подаче на полупроводниковый образец напряжения смещения и освещении его модулированным световым потоком, измерения сигнала конденсаторной фотоЭДС, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, автоматизации и упрощения измерений, сигнал конденсаторной фотоЭДС поддерживают постоянным изменением светового потока по критерию ImE = const, где ImE - мнимая часть конденсаторной фотоЭДС, измеряют амплитуду интенсивности модулированного светового потока и рассчитывают емкость полупроводника по математической формуле.
2. Устройство для бесконтактного измерения емкости полупроводника, содержащее полупроводниковый образец, источник напряжения смещения, генератор, усилитель, источник света, образцовый резистор, световод с полупрозрачным металлическим электродом, измерительный усилитель, первый синхронный детектор и резистор, причем выход генератора соединен с входом усилителя и с вторым входом первого синхронного детектора, первый вход которого соединен с выходом измерительного усилителя, вход которого соединен с полупрозрачным металлическим электродом и первым выводом резистора, второй вывод которого соединен с вторым выходом источника напряжения смещения и с общей шиной, первый выход источника напряжения смещения соединен с полупроводниковым образцом, один вывод образцового резистора соединен с общей шиной, а второй с первым выводом источника света, источник света через световод с полупрозрачным металлическим электродом оптически связан с полупроводниковым образцом, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, автоматизации и упрощения измерений, дополнительно содержит сумматор, регулируемый генератор тока, второй и третий синхронные детекторы, усилитель постоянного тока, источник опорного напряжения, RC-фильтр, усилитель выполнен регулируемым, причем второй вход регулируемого усилителя соединен с выходом RC-фильтра, а выход с первым входом сумматора, выход которого соединен с первым входом регулируемого генератора тока, второй вход которого соединен с первым выводом источника света, а выход с вторым выводом источника света, второй вход сумматора соединен с выходом третьего синхронного детектора, первый вход которого соединен с первым выводом источника света, а второй с генератором, первый вход второго синхронного детектора соединен с выходом измерительного усилителя, а второй вход с генератором, выход первого синхронного детектора соединен с первым входом усилителя постоянного тока, второй вход которого соединен с выходом источника опорного напряжения, а выход с входом RC-фильтра.
