Устройство для обработки кромок детали

 

Устройство для обработки кромок деталей позволяет увеличить эффективность и качество обработки пластин любой геометрической формы и повысить выход годных пластин за счет исключения торцового биения пластин при вращении шпинделя. Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливается в рабочее положение на держателе 10 и при включенных приводах вращения подводится к инструменту 4 с помощью подвижного рычага. В процессе вращения изделия происходит его обработка по контуру. Возникающие при этом ударные нагрузки передаются от инструмента 4 к изделию 11 гасятся резиновой вставкой 13, связанной с помощью стержней 12 с держателем 10,скользящим по сопрягаемой плоскости магнитной вставки 9.При этом за счет сил магнитного притяжения обеспечивается плотное прилегание их плоскостей, что создает услоi вия для устранения торцового биения из (Л делия 11 при вращении шпинделя 8. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1 (51) 4 В 24 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСИОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3892620/25-08 (22) 11.05.85 . (46) 15.12.86. Бюл. Р 46 (71) Институт неорганической химии

СО АН СССР (72) И.Г.Ларионов, В.Н.Журавлев, П.Б.Долгих и В.Ф.Коптелов (53) 621.923.4 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 841924, кл. В 24 В 9/08, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ КРОИОК

ДЕТАЛЕЙ (57) Устройство для обработки кромок деталей позволяет увеличить эффективность и качество обработки пластин любой геометрической формы и повысится выход годных пластин за счет исключения торцового биения пластин при вращении шпинделя. Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливается в рабочее положение на держателе tO и при включенных приводах вращения подводится к инструменту 4 с помощью подвижного рычага. В процессе вращения изделия происходит его обработка по контуру, Возникакпцие при этом ударные нагрузки передаются от инструмента 4 к изделию 11 гасятся резиновой вставкой 13, связанной с помощью стержней 12 с держателем 10,скользящим по сопрягаемой плоскостимагнитной вставки 9, При этом за счет сил магнитного притяжения обеспечивается плотное прилегание их плоскостей,что создает услоф вия для устранения торцового биения изделия 11 при вращении шпинделя 8. 2 ил.

1 12764

Изобретение относится к ус.тройствам для механической обработки полупроводниковых материалов, а точнее для обработки фасок и закругления острых кромак полупроводниковых пластин,$

Целью изобретения является повышение качества обработки.

На фиг.1 приведено устройство, общий вид; на фиг.2 — держатель детали. 10

На корпусе 1 смонтированы привод

2 вращения шпинделя 3 инструмента 4, выполненного с V-образной рабочей частью„ механизм относительного перемещения изделия и инструмента, вы- 5 полненный в виде рычага 5 с подвижным противовесом 6, на который установлен привод 7, шпиндель 8 с вмонтированной в него магнитной вставкой

9, к которой пристыкован держатель 10 20 изделия 11, выполненный в форме диска иэ магнитного материала и связанный с помощью стержней 12 с резиновой вставкой 13, закрепленной на тор;це шпинделя 8, поджим 14 для фиксации25 изделия 11 на держателе 10 через прокладку 15.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 11 с помощью поджима 14 щ устанавливается в рабочее положение на держателе 10 и при включенных приводах вращения 2 и 7 подводится к инструменту 4 с помощью подвижного рычага 5. В процессе вращения изделия происходит его обработка по контуру.

Возникающие при этом ударные нагрузки, передающиеся от инструмента 4 к изделию 11, гасятся резиновой вставкой 13, связанной с помощью стержней 0

12 с держателем 10, скользящим по, сопрягаемой плоскости магнитной вставки 9. При этом за счет сил,магнитного притяжения обеспечивается плотное прилегание их плоскостей, что создает условия для устранения торцового биения изделия 11 при вращении шпинделя 8 ° Механическая связь держателя 10 с резиновой вставкой 13 осуществляется с помощью стержней 12, 0 что препятствует относительному провороту держателя 10 и шпинделя 8 при передаче вращательного движения от привода 7 и одновременно обеспечивает возможность радиальных колебаний изделия за счет упругой деформации

80 вставки 13. При этом сила прижима иэделия 11 к инструменту регулируется путем перемещения подвижного противовеса 6.

Таким образом, сочетание шпинделя с вмонтированной в него магнитной вставкой с пристыкованным к нему держателем из магнитного материала в форме диска, подпружиненным для движения в радиальном направлении и фиксированным от проворота относительно шпинделя, позволяет осуществить его упругую подвеску для амортизации радиальных высокочастотных колебаний инструмента и одновременно без приложения дополнительных усилий к изделию автоматически исключить его торцовое биение при вращении шпинделя.

Размещение быстроходного и более мощного привода вращения инструмента на неподвижном корпусе, а тихоходного и маломощного привода вращения изделия на подвижном рычаге, позволяет простыми средствами уменьшить передачу вибрации ат ротора привода к инструменту и изделию, амортизировать низкочастотные колебания с большой амплитудой.

Формула и з обретения

Устройства для обработки кромок деталей, содержащее установленный на

1 основании шпиндель инструмента с приводом и держатель детали, связанный с механизмом ега перемещения, выполненным в виде размещенного на основании с возможностью поворота двуплечего рычага с грузом, расположенным на его свободном конце с возможностью перемещения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества обработки полупроводниковых пластин, держатель детали снабжен приводом вращения, установленным на двуплечем рычаге, и выполнен в виде пластин, размещенных между частями корпуса, одна из которых подпружинена, снабжен магнитными вставками и упругими элементами со штифтами, установленными между корпусом и пластинами, причем одни из упругих элементов связаны штифтами с пластиной, а другие - с подпружиненной частью корпуса.

1276480

Составитель Е.Щеславская

Техред Л.Кравчук

Корректор Л. Пилипенко

Редактор Т.Парфенова

Заказ бб20/11 Тираж 740

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãoðoä, ул. Проектная, 4