Способ получения четыреххлористого кремния

 

Способ получения четыреххлористого кремния, включающий испарение и хлорирование кубовых остатков производства трихлорсилана при повышенной температуре с последующей конденсацией парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты целевого продукта, хлорирование кубовых остатков проводят в присутствии кислорода или гексахлорсилоксана, взятых в количестве, обеспечивающем отношение хлора к кислороду 100:1 - 10:1.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния
Наверх