Способ получения трихлорсилана
Авторы патента:
Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья, конденсацию газообразных продуктов реакции, выделение трихлорсилана ректификацией и нейтрализацию несконденсированных газов, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения трихлорсилана из газов при одновременном снижении пожаро- и взрывоопасности процесса, перед стадией нейтрализации проводят абсорбцию трихлорсилана путем орошения тетрахлоридом кремния при температуре от -20 до -60oC и при плотности орошения 2 - 12 кг SiCl4/м3 газов.
Похожие патенты:
Способ получения трихлорсилана // 1431254
Способ получения гексахлордисилана // 435190
Способ получения трихлорсилана // 1431254
Способ получения пентахлордисилоксана // 1389199
Способ получения четыреххлористого кремния // 1287464
Способ получения гексахлордисилоксана // 1249871
Способ получения октахлортрисилоксана // 1241643
Способ получения силанов // 2152902
Изобретение относится к технологии получения поликристаллического полупроводникового кремния из природных кремнийсодержащих концентратов
Способ получения кремния // 2415809
Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано при производстве кремния