Интерферометр для измерения углов поворота объекта
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения угловых перемеш,ений. Целью изобретения является повышение точности измерения путем получения четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины. Излучение от лазера 1, пройдя через светоделитель 2, делится на два потока, равных по интенсивности, попадает на два уголковых отражателя 3 и 4, после отражения от которых потоки интерферируют и направляются на светоделители 5 и 6. Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, 12, 13 и 14, вырезают участки интерференционных полос, при повороте объекта (на чертеже не обозначен) происходит перемещение интерференционной картины. 1 ил. 12 С/) 8 5 11 7 TDТ / ч/ 1№ Ф .7 :Л 1 - 10 Ш
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (д) 4 (з 01 В 9/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К Я ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ
CO
CO
CO (:Ь
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3848891/24-28 (22) 17.01.85 (46) 15.02.87. Бюл. № 6 (72) В. С. Горлов и Е. А. Ефимова (53) 531,715. 1 (088.8) (56) Крылов К. И. и др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978, с. 241 — 244. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВ ПОВОРОТА ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения угловых перемещений. Целью изобретения является повышение точности
„„Я0„„1290061 измерения путем получения четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины. Излучение от лазера 1, пройдя через светоделитель 2, делится на два потока, равных по интенсивности, попадает на два уголковых отражателя 3 и 4, после отражения от которых потоки интерферируют и направляются на светоделители 5 и 6.
Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, 12, 13 и 14, вырезают участки интерференционных полос, при повороте объекта (на чертеже не обозначен) происходит перемещение интерференционной картины. 1 ил.
1290061
Формула изобретения
Составитель Н. Захаренко
Редактор Т.Митейко Техред И. Верес Корректор E. Рошко
Заказ 7887/34 Тираж 678 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения угловых перемещений.
Цель изобретения — повышение точности измерения путем получения четырех импульсов отсчета за один период интерференционной картины.
На чертеже представлена схема предлагаемого интерферометра.
Интерферометр содержит последовательно расположенные лазер 1 и светоделитель
2, два уголковых отражателя 3 и 4, предназначенные для скрепления с объектом (не обозначен), фоторегистрирующий блок в виде двух светоделителей 5 и 6, четырех диафрагм 7, 8, 9 и 10 и четырех фотоприемников 11, 12, 13 и 14.
Устройство работает следующим образом.
Излучение от лазера 1, пройдя через светоделитель 2, делится на два потока, равных по интенсивности, попадает на уголковые отражатели 3 и 4, обеспечивающие пространственное разнесение двух потоков.
После отражения от уголковых отражателей 3 и 4 светоделитель 2 соединяет отраженные интерферируемые потоки и направляет их на светоделители 5 и 6.
Диафрагмы 7, 8, 9 и 10, установленные перед фотоприемниками 11, 12, 13 и 14, вырезают участки интерферирующих полос, сдвинутых друг относительно друга на 1/4 ширины полосы.
При повороте объекта длина одного плеча интерферометра уменьшается, а другого увеличивается, что приводит к перемещению интерференционной картины.
Интерферометр для измерения углов поворота объекта, содержащий последовательно расположенные лазер и светоделитель излучения на два потока с расположенными в каждом из них уголковым отражателем, каждый из которых предназначен для скрепления с объектом, и фоторегистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью
2р повышения точности измерения, фоторегистрирующий блок выполнен в виде двух идентичных фотоэлектрических преобразователей, каждый из которых состоит соответственно из светоделителя, делящего излучение на два потока, двух диафрагм и двух фотоприемников, установленных в каждом из потоков от светоделителя.
