Устройство для испытаний изделий на герметичность

 

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий массспектрометрическим методом и позволяет повысить чувствительность контроля . Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, адсорбционный насос 6, масс-спектрометрическую камеру В, диффузионный насос 10 и механический насос 14. Выход диффузионного насоса 10 соединен с входной магистралью 4 перед адсорбционным насосом 6. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 многократно поглощает все атмосферные газы в циркулирующем потоке, кроме водорода и гелия, и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливдть пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин течей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л оо о о СП

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (П 4 С 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3935946/25-28 (22) 29. 07. 85 (46) 15. 05.87. Бюл. N - 18 (7 2) В.П. Кряковкин, В.И. Куприянов, В. П. Лунч ев, Е. В. Чубаров и Г. Н. Шведова (53) 620. 165. 29 (088. 8) (56) Патент Франции Ф 2475728, кл. G 01 M 3/02, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДПЯ ИСПЬЕАНИЙ ИЗДЕЛИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к области контроля герметичности иэделий массспектрометрическим методом и позволяет повысить чувствительность контро— ля. Устройство содержит последова„„SU„„1310657 А1 тельно соединенные вакуумную камеру

1, адсорбционный насос 6, масс-спектрометрическую камеру 8, диффузионный насос 10 и механический насос

14. Выход диффузионного насоса 10 соединен с входной магистралью 4 перед адсорбционным насосом 6. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 многократно поглощает все атмосферные газы в циркулирующем потоке, кроме водорода и гелия, н уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин течей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Составитель В. Черноусов

Редактор К.Волощук Техред Н. Глущенко Корректор М.Шароши

Заказ 1881/37 Тираж 777 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 131

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.

Целью изобретения является повышение чувствительности путем многократного выделения пробного газа из циркулирующего потока газов перед подачей его в масс-спектрометрглческую камеру.

Устройство для испытания изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной магистрали 4, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом адсорбционного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 8.

Выход последней через вентиль 9 соединен с входом диффузионного насоса

10, выход которого через вентиль 11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13 соединен с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод

12. Открывают вентиль 11, включают диффузионный насос 10 и открывают вентиль 9. Откачивают масс-спектрометрическую камеру 8. Закрывают вентиль 13 и заполняют изделие 2 контрольным газом. В адсорбционный насос

6 заливают жидкий азот и открывают вентили 5 и 7. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 поглощает все атмосферные газы, кроме во0657 2 дорода и гелия, и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Отка иваемая смесь газов, проходя через масс-спектрометрическую камеру 8, регистрируется последней и откачивается диффузионным насосом 10, Откачиваемая адсорбционным насосом 6 смесь газов снова попадает в последний, а затем в масс-спектрометрическую камеру 8 °

10 Путем циркуляции откачиваемой смеси газов в замкнутом контуре системы испытаний происходит многократное увеличение концентрации пробного газа в масс-спектрометрической камере 8, f5 по величине которой судят о негерметичности изделия. При этом весь по- ток пробного газа проходит через камеру 8, что дополнительно повышает чувствительность.

Формула изобретения

1. Устройство для испытаний изделий на герметичность. содержащее входную магистраль, соединенную с ней масс-спектрометрическую камеру, диффузионный и механический насосы, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход — с механи30 ческим насосом и входной магистралью, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности, оно снабжено адсорбционным насосом, установленным на входной магистрали

35 между местом подсоединения выхода диффузионного насоса и масс-спектрометрической камерой.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что масс-спект40 рометрическая камера размещена между адсорбционным и диффузионным насоса