Устройство для контроля вакуумной плотности изделий
Изобретение относится к устройствам для контроля вакуумной плотности изделий электронной техники. Целью изо6рете11ия является повьаоение надежности контроля скрытых дефектов неметаллических , изделий путем их обнару/ гозоано/гиэатору Щ /3 У Ч Ч .15 Пробила газ Отначна (Л -/ 1 а Высокое j напрй {бим 00 ел ЭО 4 9) Отначна
СОЮЗ СОВЕтСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСГ1УБЛИК
А1 (19) (11) (51)4 G 01 М 3 02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ
/Ий?Ч/ЙУ
/б д ысакое налржнениа начна
Пробный гар (21) 4012385/25-28 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВАКУУМ(22) 24.01.86 НОЙ ПЛОТНОСТИ ИЗДЕЛИЙ (46) 07.06.87. Бюл. Р 21 (57) Изобретение относится к устрой(72) А.Г.Кужман, В.А.Морозов, ствам для контроля вакуумной плотносА.А.Горюнов и А.И.Казаков ти изделий электронной техники. Целью (53) 620.165.29(088.8) изобретения является повышение надеж(56) Авторское свидетельство СССР ности контроля скрытых дефектов неме11 569910, кл. G 01 К 15/08, 1977. таллических.изделий путем их обнару1
t1 газоанаяиаатору
1315846 жения при пробое изделий высоким напряжением, Две полукамеры 1 и 2 обращены друг к другу своими открытыми торцами и герметично соединены с изделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6 .отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8. Посредством керамических шайб 9 и 10 электроды 5 и 6 герметично установлены внутри полукамер
1 и 2 и соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2.
Электроды 5 и 6 имеют полости соответственно 11 и 12, сообщающие полос1
Изобретение относится к исследованию вакуумной плотности изделий электронной техники в процессе их производства.
Целью изобретения является повыше- 5 ние надежности контроля скрытых,цефектов неметаллических изделий путем их обнаружения по объему изделия при пробое его высоким напряжением.
На чертеже схематично показано предлагаемое устройство.
Устройство для контроля вакуумной плотности изделий содержит две полукамеры 1 и 2, обращенные друг к другу своими открытыми торцами. Полукамеры 1 и 2 герметично соединены с иэделием 3 через уплотнитель 4, а электроды 5 и 6 отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8. Посредством керамических шайб 9 и 10 электроды 5 и 6 20 герметично установлены внутри полукамер 1 и 2 и соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер 1 и 2.25
Электроды 5 и 6 имеют полости 11 и
12, сообщающие полости полукамер 1 и. 2 соответственно с системой 13 откачки, газоанализаторами 14 и источником 15 пробного газа. Электроды 5 30 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения.
Устройство работает следующим образом.
С помощью устройства контролируют 35 вакуумную плотность, например, волоти полукамер 1 и 2 соответственно с системой откачки 13 и газоанализато- ° ром 14, и источником 15 пробного газа. Электроды 5 и 6 соединены с источником 16 высокого напряжения. Снача.ra внутрь полукамеры 2 подают пробный газ под давлением. При отсутствии сигнала о неплотности изделия 3 к нему подводят электроды 5, 6, к которым прикладывают напряжение, При отсутствии электрического пробоя по толщине изделия 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
2 конно-оптических пластин (изделий 3) для фотоэлектронных приборов.
Изделия 3, заключенные в круглые кассеты (не показаны), с уплотнителем 4 поступают в зону контроля по транспортеру. К изделию 3 с помощью дистанционно управляемого механизма перемещения (не показан) подводят полукамеры 1 и 2, которые герметизируют изделие 3 по образующей с помощью уплотнителя 4. Электроды 5 и 6 при этом отжаты от изделия 3 пружинами 7 и 8.
Разрежение 10 Па в полостях полукамер 1 и 2 через полости 11 и 12 соответственно получают системой 13 откачки с форвакуумными и высоковакуумными насосами. Затем полость полукамеры 1 подсоединяют к находящейся в рабочем состоянии аналитической части течеискателя. Внутрь полукамеры 2 через полости 12 подают пробный и газ (гелий) под давлением 10 Па.
При наличии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 полости полукамер 1 и 2 отсоединяют от системы 13 откачки и внутрь полукамер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления. Далее полукамеры 1 и 2 отводят от изделия 3, и транспортер подает в зону контроля следующую кассету с изделием 3.
При отсутствии сигнала течеискателя о вакуумной неплотности изделия 3 к ней с двух сторон с помощью кулачкового механизма, управляемого дисФормула изобретения
1. Устройство для контроля вакуумной плотности изделий, содержащее две полукамеры, обращенные друг к другу своими открытыми торцами, систему откачки и газоанализатор
Э
Составитель О.Ланко
Техред А.Кравчук Корректор И.Муска
Редактор О.Юрковецкая
Заказ 2352/44
Тираж 776 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
3 131 танционно, .подводят электроды 5 и 6, к которым прикладывают напряжение
35 кВ. При отсутствии электрического пробоя по толщине изделий 3 оно считается годным, а при возникновении пробоя бракованным, так как в изделии 3 есть скрытые неплотности. Затем внутрь полукамер 1 и 2 подают воздух атмосферного давления, полукамеры 1 и 2 отводят от иэделия 3 с помощью механизма перемещения, и по транспортеру на контроль поступает следующее изделие 3.
5846 4 соединенные с одной из полукамер, и источник пробного газа, соединенный с другой полукамерой, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности контроля скрытых дефектов неметаллических изделий, оно снабжено источником высокого напряжения и соединенными с ним двумя электродами, герметично установлен10 ными внутри полукамер соосно друг другу с возможностью перемещения вдоль оси, перпендикулярной плоскостям, в которых лежат открытые торцы полукамер.
2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что электроды имеют полости, сообщающие полости полукамер соответственно с системой от20 качки и газоанализатором, и источником пробного газа.
