Эллипсометр

 

1. Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные лазерный источник излучения и круговой поляризатор, поляризатор и компенсатор, расположенные в плече поляризатора, а также зеркальную диафрагму, экран для визуального наблюдения и фотоприемник, расположенные в плече анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений оптических характеристик анизотропных и не однородных по поверхности образцов, он дополнительно содержит кинематически сопряженную с плечом поляризатора диафрагму, расположенную после компенсатора по ходу излучения лазерного источника.

2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что перед анализатором по ходу излучения лазерного источника расположена диафрагма.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике оптических измерений и может быть использовано в установках по диагностике физических объектов оптическими поляризационными методами

Изобретение относится к области оптического приборостроения, в частности к технике измерения оптического вращения плоскости поляризации света гироанизотропными средами

Изобретение относится к области пол |риметрии и оптоэлектроники

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при исследовании напряжений поляризационно-оптическим способом

Изобретение относится к области астрофизических измерений и может быть использовано ДЛЯ пространственной фильтрации отдельных мод солнечных колебаний

Изобретение относится к измерительной технике, связанной с оптическими методами из.мерения оптических свойств изотропных и анизотропных ОДНОС.ЮИНЫХ и МНОГ()СЛО11ных отражающих систе.м

Изобретение относится к электрооптическим модуляционным устройствам светового потока, предназначенным для преобразования поляризационных параметров Стокса в различных системах измерения, передачи и обработки оптической информации, при поляризационной селекции для повышения помехоустойчивости и т

Изобретение относится к горной автоматике и к полярископам и поляриметрам и может быть использовано для определения коэффициента линейной поляризации света при отражении от аморфных полупроводниковых покрытий для создания на этой основе светильников, которые могут быть использованы для наблюдения объектов в условиях пыли и тумана и для исследования и наблюдения деформируемости горных пород в массивах

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для исследования оптической активности жидких и твердых сред

Изобретение относится к области исследования химических и физических свойств поверхности и может быть использовано для измерения физических постоянных и параметров материалов

Изобретение относится к фотоэлектрическим поляриметрам и может быть использовано для измерения концентраций оптически активных веществ в медицине, химии, биологии, пищевой промышленности

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к оптикоэлектронному приборостроению и предназначено для измерения и исследования тонкопленочных структур и оптических констант поверхностей различных материалов путем анализа поляризации отраженного образцом светового пучка

Изобретение относится к методам измерения параметров электромагнитного излучения

Изобретение относится к оптическому приборостроению, конкретно к поляриметрическим устройствам для измерения оптической активности веществ, и может быть использовано для промышленного контроля и научных исследований в аналитической химии, биотехнологии и медицине

Изобретение относится к области технической физики и касается способов измерения азимута плоскости поляризации оптического излучения, вызываемых изменением поляризационных свойств поляризующих элементов либо воздействием на азимут поляризации оптически активным веществом
Наверх