Электроизоляционное стекло

 

Изобретение относится к технологии силикатов и предназначено для изоляционного покрытия титановых подложек , используемых при изготовлении интегральных схем в электронных приборах . С целью снижения коэффициента линейного расширения, повышения влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления, электроизоляционное стекло имеет следукиций химический состав, мас.%: SiO 42,84- 44,31; 4,69-7,04; 3,45- 5,42; BaO 19,08-24,35; CaO 17,22- 19,24; 5,10-7,26. Коэффициент линейного расширения стекла (86,9- 88,3) 10 1/град. Стекло относится к I гидролитическому классу. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1366486 (51)4 С 03 С 8/02 3/091

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ %, тР) Эуг

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, : „ . :, ц

К ABTOPCHDMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ . « " ""исая

=-==- ) (21) 4056081/29-33 (22) 17.04.86 (46) 15.01.88. Бюл. N 2 (71) Белорусский технологический институт им. С.M. Кирова (72) Н.М. Бобкова, Г.Е. Рачковская, Г.Г. Скрипко и И.М. Егорова (53) 666.112.6(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1046206, кл. С 03 С 3/64, 1981.

Патент США У 4385127, кл. 501/5, 1983. (54) ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННОЕ СТЕКЛО (57) Изобретение относится к технологии сипикатов и предназначено для изоляционного покрытия титановых подложек, используемых при изготовлении интегральных схем в электронных приборах. С целью снижения коэффициента линейного расширения, повышения влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления, электроизоляционное стекло имеет следуняций химический состав, мас.%: SiO 42,8444,31; А1 0 4,69-7,04; В О 3,455,42; ВаО 19,08-24,35; СаО 17,2219 241 Мп ф 5,10-7,26. Коэффициент линейного расширения стекла (86,9 88,3) «10 1/град. Стекло относится к I гидролитическому классу. 2 табл.

Использование титановых подложек с покрытием из предлагаемого состава электроизоляционного стекла обес5 печивает повышение качества надежЭ ности и долговечности микроэлектронных устройств.

Формула изобретения

Электроиэоляционное стекло, включающее $10», Al Оз, ВаО, СаО, В О, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения коэффициента линейного расширения, повышения влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления, оно дополнительно содержит Мп<0> при следующем соотношении компонентов, мас.7.:

42,84-44,31

4,69-7,04

19,08-24,35

17,22-19,24

3,45-5,42

5,10-7,26

20 $,02

Alf 03

ВаО

СаО

25 ВТОЙ

Ип,О, Таблица 1

30 Компо- .Содержание компонентов, нент мас.Х, в составах

1 2 3

44,31

42,84 43,33

4,69

6,67

7,04

А1 тОЗ

19,08

24,35 20,11

17,22 18,37

19,24

5,42

4,55

3,45

ВФОЬ

Мп О

6,97

7,26

5,10

1366486

Изобретение относится к технологии силикатов и предназначено для создания, изоляционных покрытий на титановых подложках, используемых в электронных приборах.

Цель изобретения — снижение коэф- . фициента линейного расширения, повышение влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления.

Изобретение поясняется конкретными составами электроизоляционного стекла, приведенными в табл. 1.

Сырьевые материалы — кварцевый песок, глинозем, углекислый барий, углекислый кальций, борная кислота, оксид марганца, взвешивают на технических весах и тщательно перемешивают. Готовую шихту засыпают в корундизовые тигли емкостью 0,1 л и помещают в газовую печь. Время выдержки при максимальной температуре варки 1380+20 С 1 ч.

Сваренную стекломассу выливают на воду для получения гранулята, который затем высушивают и размалывают в планетарной мельнице.

Нанесение покрытий из разработанного стекла на пластины из титанового сплава OT-4 проводят методом трафаретной печати. Для этого из стекла готовят пасту, добавляя органические связующие.

Пластины с нанесенным покрытием сушат на воздухе при 85 С в течение

15 мин, после чего обжигают в элек35

$10 трической конвейерной печи с максимальной температурой обжига 800 С (время нахождения в эбне максимальной температуры 0,5 ч). 40 ВаО

Изготовление образцов для определения физико-химических свойств осуществляют методом отливки в стальные формы. Отжиг образцов проводят при 600 С в течение 2 ч в электрической муфельной печи.

Предлагаемые составы обладают свойствами, приведенными в табл.2 °

Таблица 2

1366486

Показатель

2 3 Известный

Температура варки, С 1380 1 20

1380+ 20

1380 Т 20

1380+ 20

86,9

110

87,8

88,3

Влагоустойчивость, потери массы, Х

0,08

0,14

0,07

0,08

Гидролитический класс

Удельное объемное электросопротивление, Ом см (при 25 С) 1,5 10

1,45 .10

1,3 -10$c

1, 9 ° 10

9,1

8,0

10,0

10,0

Диэлектрическая проницаемость Е, (при 25 C)>

8,35

7,5

7,8

8,0

3,10н 23.10 а 1 21.10и

2,3-10 1,9 10 2,9 . 10 при 500 С

Составитель С. Белобокова

Редактор Н. Киштулинец Техред М.Ходанич Корректор Л. Пилипенко

Заказ 6763/21 Тираж 425 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Температурный коэффициент линейного расширения (20300 С), " 10 град-"

Тангенс угла диэлектрических потерь, С8/10 (при 25 С) Удельное объемное электросопротивление, Ом см при 100 С

Состав

1 I