Оптический способ контроля шага периодических структур

 

Лв 146814

Класс 21а, 71

21@, 13

СССР

0ПИСАНИК ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа Л 89

И. К. Гипсман, В. М. Кацин и Д. Г. Чурсин

ОПТИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШАГА ПЕРИОДИЧЕСКИХ

СТРУКТУР

Заявлено l5 февраля !960 г .за № 654839/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 9 за 1962 г

Известны оптические способы контроля шага периодических струивЂ,ур. Основной недостаток известных способов состоит в том, что точность измерения снижается неравномерностью скорости перемещения структуры и ее механическими колебаниями.

При осуществлении описываемого способа контроля шага периодических структур для исключения влияния на точность измерений скорости перемещения структур и ее механических вибраций отклонения в размерах структуры определяют по порядку следования импульсов ст фотоумножителей, установленных против щелей.

На чертеже приведена принципиальная схема устройства для олществления описываемого способа.

Устройство содержит три фотоумножителя 1, 2 и 8, которые воспринимают световой поток, направленный через щели 4, 5, Ь и катоды соответствующих фотоумножителей. Структура, шаг которой контрол,:руется, перемещается от щели 4 к щелям 5 и 6 в горизонтальной плоскости. Расстояние между щелями 5 и 6 определяется допуском на шаг структуры. Поэтому расстояние между щелью 4 и 5 равно минимально допустимому шагу, а расстояние между щелью 4 и щелью 6 — максимально допустимому шагу структуры. Указанные расстояния регулируются в требуемых пределах, При перемещении элементов структуры, шаг которой контролируется, например элементов 7 и 8, возможны различные варианты последовательности импульсов с фотоумножителей 1, 2 и 8. Если очередной измеряемый шаг выполнен в пределах нормы и равен минимально допустимому шагу, то порядок следования импульсов будет следующим: импульсы с фотоумножителей 2 и 1 следуют одновременно, а затем возникнет импульс на выходе фотоумножителя 3.

Если очередной измеряемый шаг равен максимально допустимому, то первым действует импульс на выходе фотоумножителя 2, а импульсы на выходах фотоумножителей 1 и 8 возникнут позже и одновременно. № 14б814

Если измеряемый шаг меньше минимально допустимого, то импульсы следуют последовательно с фотоумножителей 1, 2 и 3. Подобных вариантов следования импульсов в зависимости от шага структуры всего пять. Очевидно, что порядок следования импульсов не зависит от скорости перемещения структуры, механических вибраций и т. д.

С помощью логических устройств порядок следования импульсов легко распознается. Поэтому можно производить отбраковку шагов стр ктуры с высокой скоростью и точностью. Точность описанного способа контролирует структуры с допусками до 0,003 л ст укт

Предлагаемый способ контроля шага периодических структур может быть использован на предприятиях электронной и радиотехнической промышленности.

Предмет изобретения

Оптический способ контроля шага периодических структур, использ ющий фотоумножители и экран с тремя щелями, расстояния между которыми соответствуют наименьшему и наибольшему предельному шагу структуры, отличающийся тем, что, с целью исключения влияния на точность измерений скорости перемещения структуры и ее механических вибраций, отклонения в размерах структуры определя1от по порядку следования импульсов от фотоумножителси, установл,нных против щелей.

Составитель описании Г. А. Емельянов

Редактор T. Ф. Загребельная Техред T. П. Курилко Корректор Е. Л. Коган

Поди, к печ. 23.IV-62 г. Формат бум, 70Х108 /, Объем 0,18 изд. л.

Зак. 4214 Тираж 700 Цена 4 коп.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министроь СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер. д. 2/6, Типография ЦБТИ, Москва, Петровка, 14.