Способ нанесения тонких пленок плазменным напылением

Авторы патента:

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

Способ получения тонких пленок плазменным напылением по авт.св. N 1225273, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса при изготовлении ГИС, перед нанесением токопроводящего слоя формируют диэлектрический слой путем подачи в плазменную струю смеси испаряемого порошка и кислорода при степени двухфазности потока (0,3 - 0,5), причем в качестве испаряемого порошка используют кермет.

Способ изготовления твердосплавного инструмента // 1367529

Способ изготовления твердосплавного инструмента // 1342047

Способ упрочнения поверхностей изделий в вакууме и устройство для его осуществления // 1314717

Изобретение относится к области машиностроения

Электродуговой испаритель металлов // 1269536

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для нанесения износостойких и защитных покрытий, а также в электронной технике для получения проводящих слоев и покрытий из плазменной фазы

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1244959

Способ получения тонких пленок плазменным напылением и устройство для его осуществления // 1225273

Устройство электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме // 1184291

Изобретение относится к области вакуумной металлизации, а именно, к устройствам электродугового нанесения защитных покрытий

Способ плазменного реактивного нанесения пленок в вакууме // 1163656

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам получения тонких пленок плазменным реактивным нанесением в вакууме

Устройство для плазменного нанесения покрытий // 1163655

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для нанесения защитных покрытий

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов