Электродуговой испаритель металлов

Авторы патента:

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

(19)SU(11)1269536(13)A1(51) МПК ⁵ _C23C14/32(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина:

(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для нанесения износостойких и защитных покрытий, а также в электронной технике для получения проводящих слоев и покрытий из плазменной фазы. Целью изобретения является увеличение срока службы испарителя и повышение чистоты покрытий. На чертеже изображен электродуговой испаритель металлов в разрезе. Испаритель содержит коаксиальные рабочие электроды - анод 1 и расходуемый катод 2, торцовая часть которого выполнена из наносимого материала, между которыми находится нейтральная вставка 3 с изоляторами 4, 5 и 6. Нейтральная вставка3 и обращенные к ней нерабочие части анода 1 и расходуемого катода 2 снабжены кольцевыми буртами 7, 8, 9 и 10, образующими меандрообразные зазоры 11 и 12. Для поджига разряда между рабочими электродами используется поджигающий электрод 13, соединенный с источником электропитания 14 через ограничительное сопротивление 15. Источник электропитания 14 соединен с рабочими электродами через балластное сопротивление 16. Электродуговой испаритель для нанесения проводящих материалов работает следующим образом. Поджигающий электрод 13 приводится в соприкосновение с расходуемым катодом 2, после чего между рабочими электродами возбуждается дуговой разряд в парах расходуемого материала катода и осуществляется нанесение покрытий на подложку (на чертеже не показано). Благодаря наличию меандрообразных зазоров 11 и 12, образованных кольцевыми буртами 7-10, нейтральной вставки 3 и рабочих электродов 1 и 2 исключается запыление изоляторов 4-6, что позволяет повысить срок службы испарителя (испаритель может непрерывно работать до полного испарения сменной расходуемой торцовой части катода) и обеспечить высокую чистоту покрытий вследствие отсутствия примесей в покрытии материала вставки 3 из-за эрозии катодными пятнами дугового разряда, попадающими на нее при возможном запылении изоляторов.

Формула изобретения

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий коаксиально расположенные анод, расходуемый катод, нейтральную вставку с изолятором и поджигающий электрод, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения чистоты покрытий, нейтральная вставка и обращенные к ней части анода и расходуемого катода снабжены кольцевыми буртами, причем бурты вставки размещены в пазах между буртами анода и расходуемого катода с образованием меандрообразных зазоров.

РИСУНКИ

Рисунок 1

Способ получения тонких пленок плазменным напылением и устройство для его осуществления // 1225273

Устройство электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме // 1184291

Изобретение относится к области вакуумной металлизации, а именно, к устройствам электродугового нанесения защитных покрытий

Способ плазменного реактивного нанесения пленок в вакууме // 1163656

Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам получения тонких пленок плазменным реактивным нанесением в вакууме

Устройство для плазменного нанесения покрытий // 1163655

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении для нанесения защитных покрытий

Испаритель // 1145692

Устройство для нанесения покрытий взрывом фольги // 774276

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 396450

Устройство для нанесения металлических покрытий // 377045

Источник ионов // 355253

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов