Пленкообразующий раствор для легирования пластин кремния и способ его приготовления
1. Пленкообразующий раствор для легирования пластин кремния, содержащий этиловый спирт, катализатор, тетраэтоксисилан и соединения 1-й легирующей примеси - азотнокислый алюминий, гидрат и 2-й легирующей примеси, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости легирования за счет повышения стабильности раствора и улучшения смачиваемости поверхности пластин, а также облегчения процесса удаления пленки с поверхности после окончания легирования, он содержит компоненты в следующем количественном соотношении, мас.%: Этиловый спирт 96o - 38,6 - 52,0 Катализатор - 0,5 - 2,5 Тетраэтоксисилан - 4,2 - 6,4 Соединение 1-ой легирующей примеси - азотнокислый алюминий, гидрат - 13,4 - 18,1 Соединение 2-ой легирующей примеси - 21,0 - 41,6 2. Способ приготовления пленкообразующего раствора для легирования пластин кремния, включающий растворение катализатора и тетраэтоксисилана в части этилового спирта при его объемном отношении к тетраэтоксисилану от 1 : 3 до 2 : 1, гидролиз тетраэтоксисилана и растворение в гидролизованном тетраэтоксисилане соединений первой и второй легирующих примесей и оставшейся части этилового спирта, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости легирования за счет повышения стабильности раствора и улучшения смачиваемости поверхности пластин, а также облегчения процесса удаления пленки с поверхности после окончания легирования, сначала растворяют соединение первой легирующей примеси, предварительно растворенное в оставшейся части спирта, затем второй легирующей примеси.
