Держатель монокристаллов для рентгеновского дифрактометра

 

Изобретение относится к рентгенодифрактометрии монокристаллических слитков полупроводниковых материалов. в частности к ориентировке слитков различных диаметров на дифрактометре. Цель изобретения состоит в упрощении процесса установки слитков монокристаллов различных диаметров в держатель . Держатель содержит стационарно установленные относительно оси рентгеногониометра 4ч нкционные ролики, образующая которых совпадает с осью рентгеногониометра. На эти ро- - лики опирается своей образующей цилиндрический слиток. Кроме того, имеется система самоустанавливающихся поджимных роликов, поддерживающая и,с следуемый слиток на стационарно размещенных роликах. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСЪИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19} (И} (51} 4 С 01 N 23 20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПОДБЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4182269/31-25 (22) 22.01.87 (46) 07.11.88. Бюл. Р 41 (72) В,А.Охрименко и К,Г.Бельтек .(53) 621.386 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 968715, кл. С 01 Я 23/20, 1981.

Авторское свидетельство СССР

1Ф 842518, кл. (01 N 23/20, 1979.

Авторское свидетельство СССР

1Ф 840717, кл. G 01 0 23/20, 1979. (54) ДЕРЖАТЕЛЬ МОНОКРИСТАПЛОВ ДНЯ

РЕНТГЕНОВСКОГО ДИФРАКТОМЕТРА (57) Изобретение относится к рентгенодифрактометрии монокрнсталлических слитков полупроводниковых материалов, в частности к ориентировке слитков различных диаметров на дифрактометре, Цель изобретения состоит в упрощении процесса установки слитков монокрис" таллов различных диаметров в держатель. Держатель содержит стационарно установленные относительно оси рентгеногониометра. фрикционные ролики, образующая которых совпадает с осью рентгеногониометра. На эти ролики опирается своей образующей пи-. линдрический слиток. Кроме того, имеется система самоустанавливающихся поджимных роликов, поддерживающая исследуемый слиток на стационарно размещенных роликах. 3 ил.

1436035

Изобретение относится к рентгено-" структурному анализу, в частности к рентгенодифрактометрии монокристаплических слитков полупроводнико-. вых материалов, и может быть исполь5 зовано при определении кристаллографической ориентировки зтих слитков.

Целью изобретения является упрощение процесса установки слитков раз- I0 ных диаметров.

На фиг.1 изображен держатель, общий вид, вид сбоку; на фиг.2 - вид

А на фиг ° 1 (держатель с установленным на нем слиткОИ), иа фиг ° 3 - то же, (держатель с установленным на

:нем слитком большего диаметра).

Держатель монокристаллов для рентгеновского дифрактометра состоит из корпуса 1 с установленным на нем в подшипниках валом 2. На корпусе установлены также две оси 3, причем оси 3 перпендикулярны валу 2. На валу 2 установлены фрикционные ролики 4. На двух осях 3 расположены упо- 25 ры 5, подпружиненные пружиной 6, Гайка 7 установлена на упоре 5, Гайка

8 установлена на оси 3, На упоре 5 установлены две оси 9, Рычаг 10 посажен одним концом на вал 2, а другим - íà 30 ось 11. Рычаг 12 посажен одним концом на ось 11, а другим концом — на ось 9.

Рычаг 13 посажен одним концом на вал

2, а другим концом — на ось 11. Рычаг 14 посажен одним концом на ось

11, а другим концом - на ось 9, На бсях 11 установлены по одному колесу

15. Слиток монокристалла обозначен позицией 16.

Гайка 8, установленная на оси 3, 0 служит как ограничитель верхнего положения упора 5. Гайка 7, установленная на упоре 5, служит для регулирования предварительной силы сжатия пружины б.

Держатель слитков монокристаллов для рентгеновского дифрактометра работает следующим образом.

Держатель устанавливают на дифрактометре таким образом, чтобы ось рентгеногониометра совпала с образую щей фрикционных роликов 4. Это достигается при юстировке дифрактометра с помощью контрольного слитка монокристалла. Затем на держатель помещают слиток монокристалла 16, (фиг.2 и 31. Слиток монокристалла 16 касается своей образующей фрикционных роликов 4, образующая которых соэпадает с осью рентгеногониометра. Одновременно слиток монокристалла 16 давит на колеса 15 и посредством связей колесо 15 — ось 11 — рычаг 10, 13 заставляет рычаги 10 и 33 повернуться вокруг вала 2. В то же время, при повороте рычагов 10 и 13 вокруг ала 2, рычаги 12 и 14 поворачиваются вокруг осей 9 и опускаются вдоль оси 3 посредством связей рычаги 12 и

14 — ось 9 — упор 5 - ось 3. В то же время пружина 6, которая подпружинивает упор 5, препятствует движению рычагов 12 и 14 вниз, что,в свою очередь, препятствует повороту рычагов 12 и 14 вокруг осей 9, а это, в свою очередь, препятствует повороту рычагов 10 и

13 вокруг вала 2, Таким образом получается, что посредством связей пружина 6 — упор 5 (вдоль оси 3) - оси 9 - рычаги 12 и 14 - рычаги 10 и 13 (вокруг вала

2) — оси 11 — колеса 15 слиток монокристалла 16 удерживается в таком состоянии, что его образующая совпа- дает с образующей фрикционных роликов 4, которая, в свою очередь, совпадает с осью рентгеногониометра.

Если необходимо установить на держатель слиток монокристалла большего диаметра (фиг.3), то слиток просто кладут на держатель, а связь пружина 6 — упор 5 (вдоль оси 3) — оси 9-рычаги 12 и 14 — оси 11 - рычаги 10 и 13 (вокруг вала 2) - колеса 15 удерживает слиток монокристалла 16 в таком положении, что его образующая совпадает с образующей фрикционных роликов 4, которая, в свою очередь, совпадает с осью рентгеногониометра.

Предварительная сила сжатия пружины 6 регулируется один раз„ с помощью ° гайки 7 во время юстировки дифрактометра.

После установки слитка монокристалла 16 на держатель с помощью привода через фрикционные ролики 4 (или вручную, непосредственно за слиток монокристалла) вращают слиток монокристалла вокруг своей оси, находят максимум интенсивности отраженных рентгеновских лучей от искомой базовой плоскости. При вращении слитка монокристалла 16 вокруг своей оси он удерживается в таком состоянии, что его образующая совпадает с образуяцей фрикционных.роликов 4, которая в свою очередь, совпадает с осью

14360 рентгеногониометра. После достижения максимальной интенсивности отражения рентгеновских лучей вращение прекращают, Затем проводят риску искомой плоскости на торце слитка.

Устройство применено на дифрактометре с горизонтальным расположением оси гониометра, предназначенного для определения угла разориентации крнсталлографических плоскостей относительно торца слитка и определения направления основных или дополнительных базовых пло ско ст ей.

Формула изобретения

Держатель монокристаллов для рентrеновского дифрактометра, включающий

4 зажимное устройство, выполненное в виде системы роликов и механизм вращения, связанный с приводом, о т л ичающий ся тем, что, сцелью упрощения установки слитков монокристаллоя различных диаметров, система роликов содержит установленные на валу фрикционные ролики, являющиеся одновременно приводными роликами, причем образующая этих роликов совпадает с осью рентгеногониометра, а также центрирующие поджимные ролики, установленные на рычагах, соединенных с валом фрикционных роликов, с возможностью вращения вокруг него, а также с возможностью вращения вокруг собственной еси, 1436035

1436035

Составитель О. Апешко-Ожевский

Техред М.Дидык

Корректор В.Бутяга

P едакторА.Шандор

Заказ 5641/44

Тираж 847

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4