Способ изготовления отрезных кругов

 

Изобретение касается изготовлеабразивных отрезных кругов гальваническим методом для резки полупроводниковых материалов и позволяет значительно повысить производите,пьиость процесса изготовления кругов. Корпуса кругов собирают в пакеты из двух корпусов, наносят первый слой абразивосодержащего покрытия,, разъединяют корпуса, вновь собирают пакеты , сопрягая корпуса торцами со стороны нанесенного покрытия, вновь наносят по крытие и разбирают пакеты. Такая схема сборки обеспечивает образование свободного рабочего пространства между корпусами, что значительно ускоряет процесс нанесения покрытия . 5 ил. , 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

t ! p." г,-!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H A ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (2 ) 4248479/25-08 (22) 25.05.87

l46) 07.12.88. Бюл. И- 45 (72) Н.И.Толкачев, Е.В.Николаев, А.К,Ковшов и В.Г.Головин (53) 62!.922.079(088.8) (56) Патент СИА !! 3488892, кл. В 24 В 7/26, 1984. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОТРЕЗНЫХ

КРУГОВ (57) Изобретение касается изготовления абразивных отрезных кругов гальваническим методом для резки полупроводниковых материалов и позволяет

„.SU „„1442384 А 1

А!1 4 В 24 D 17/00 значительно повысить производительность процесса изготовления кругон.

Корпуса кругов собирают в пакеты из двух корпусов, наносят первый слой абразиносодержашего покрытия, разъединяют корпуса, вновь собирают пакеты, сопрягая корпуса торцами со стороны нанесенного покрытия, вновь наносят пбкрытие и разбирают пакеты. Такая схема сборки обеспечивает образование свободного рабочего пространства между корпусами, что значительНо ускоряет процесс нанесения покрытия. 5 ил., 1 табл, ! 442384

Толщина

í;oporo покрытия

Тип AKBP Толщина первого

Суммарная толщина периферийного по крытня,мкм покрытия

90 180

422«152«0,3 90

546 «184«0 s 32 100

597 «203«0,35 100

100

200

110

220

Изобретение относится к инструментальной промышленности, а именно к производству абразивных отрезных кругов гальваническим методом для 5 резки по.пупроводниковых материалов, Цель изобретения — повышение производительности процесса изготовле- ния кругов „

На фиг. l пакет из, двух корпусов 1О кругов после нaíåñåíèÿ первого покрытия, сечение; на фиг. 2 — то же, для нанесения второго покрытия, сечение; на фиг . 3 — то же, с нанесенным вторым покрытием, сечение; на фиг, 4 — готовый круг, сечение; на фиг. 5 — установка для реализации способа, фрагмент.

Предлагаемый способ реализов н при изготовлении алмазных отрезных кругов 20 с внутренней режущей кромкой, например AKBP 422«152"0,3; AKBP 546 184 " 0,32; 597"203 0,35; цифрами обозначены наружный диаметр круга « диаметр центрального отверстия « толщина ме25 талла, мм.

Собирают комплект иэ 50 изоляторов и 50 пакетов, составленных иэ 2-х корпусов 1. Изоляторы выполнены в виде дисков с центральным отверстием большего, чем у корпуса круга, диаметра из оргстекла толщиной 2-4 мм. Пакеты комплекта, плотно сжимая,. монтируют на донном изоляторе 2. В центр образовавшейся емкости 3 устана- ЗБ вливают никелевый анод 4. Проводят обычные для нержавеющей стали подготовительные операции: обезжиривание, травление, активирование. Затем B емкость 3 заливают электролит, засыпают абразивные зерна, закрывают при

Вс е пр и ro то вле нные к ру ги по ка з ал и прочное сцепление первого и второго периферийных покрытий . необходимости емкость крьшiкой (не lio казана), подают электрическое напряжение к корпусам кругов и к аноду (из расчета создания тока величиной l 02,0 A/дм покрываемой поверхности).

Прикрепление абразивных зерен и никелевое их эаращивание осуществляют по известным техпроцессам, например, способом алмазирования во вращаемой емкости с поворотом ее иэ горизонтального в вертикальное вращение, для чего емкость смонтирована со средством такого поворота и приводом вращения.

По нанесении первого покрытия 5 сливают электролит, промывают внутренность комплекта пакетов и разбирают его, Пакет из 2-х корпусов разделяют

pàýäèðàíùèì усилием, Периферийная часть покрытия пакета разламывается беэ заметных неровностей в сторону того или другого корпуса круга, если толщина покрытия 6 не более 0,9 величины толщины корпуса круга h. Затем корпуса кругов вновь сопрягают в па— кеты, но торцами со стороны уже нанесенного покрытия. Формируют комплект пакетов иэ тех же изоляторов и двух вновь сопряженных корпусов кругов и

BHoBb наносят второе абразивосодержащее покрытие 6, Промывают, разбирают комплект, разделяют пары корпусов с разломом периферийного слоя второго покрытия. Здесь во избежание односторонних сколов толщина второго покрытия должна быть не более 0.9

Изготовленные по предлагаемому способу круги име:.от с;,;еду. шие размеры

Пок p6ITHH:

Формул а и з о б р е т е н и я

Способ изготовив пня n трез ных к ругов гальвани н-гким ю тоном, при котосо

Составитель Т.Кугель

Редактор А.Ворович Техред А.Кравчук Корректор П.Король

Заказ б345/15

Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 1442384 ром на периферийную и торцовые поверх- поверхностями, а абразивосодержашее

1 ности пакета корпусов последователь- покрытие наносят на периферийные и но наносят абразивосодержащие по- торцовые поверхности корпусов пакета, крыгия, о т л и ч à tn ш и и с я тем, 5 затем корпуса разъединяют н сопрягачто, с целью повышения производитель- ют торцами со сторонь< нанесенного ности процесса изготовления кругов, покрытия, по сле че го вновь наносят ,каждый пакет составляют из двух кор- абразивосодержащее покрытие. пусов, которые сопрягают торцовыми