Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксидно-пленочный элемент

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет повысить стойкость к лазерному излучение непоглощающих оксидно-пленочных элементов. Устойчивый к. воздействию лазерного излучения неабсорвирукнций оксидно-пленочный элемент состоит из подложки с нанесенным на нее слоем окисла металла, причем количество атомов кислорода, связанных в слое, на 2-8% больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо i для сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.

СОЮа СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОВ ЕТЯНИЯМ И ШНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (gg) 99 230б51 (48) ОА ° 32.85 (2$) 7773549/24-10 (22) 63.09.84 (33) МР G 02 В/255865 (32) 21.Ю.83 (33) Ю (46} 23.12.88. Бюл. Ф 47, (71) ФЕБ Карл 0ейсс Йена (ВЭ) (72) Бернитский Гельмут, Доле Рейн™ хард, Гаккер Эрик Лаут Ганс, Мейер

Юргень и Др. Волф Рейнхард (99) (53) 535.345.6(О88.8) (54) УСТОЙЧИВЫЙ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ЛАЗЕРHOLLO ИЗЛУЧЕНИЯ НЕАБСОРВИРУЮЩИЙ

ОКСИДНО-ПЛЕНОЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ

„.Я0„„1446Ш1 А1 (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению н позволяет повысить стойкость к лазерному излученщо непоглощакяцих оксидно-пленочных элементов. Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбнрувщий оксидно-пленочный элемент состоит из подложки с нанесенным на нее слоем окисла металла, причем количество атомов кислорода, связанных в слое, на 2-BX больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо для сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.

1446580

Формула изобретения

Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксиднопленочный элемент, состоящий но крайней мере из одного слои окисла метал" ла, нанесенного на подложку, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения стойкости к воздействию лазерного излучения, количество атомов кислорода, связанных в слое, на

2-8Х больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо для. сохранения стехиометрического соотношения кислород - металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.

Составитель H. Киреева, Техред Л.Олийнык Корректор О. Кравцова, Редактор Н. Тупица

Заказ 6744/51 Тираж 533 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

f13035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полигра@ическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к устойчивым к лазерному излучению непоглощающим оксидно-пленочным элементам, например, зеркал, фильтров и делителей излучения.

Известны неабсорбирующие оксиднопленочные элементы, устойчивые к воздействию лазерного излучения, сo содержащие дополнительный слой оп-! тической толщиной †" с низким показа2 телем нреломления, улучшающий стойкость K воздействию лазерного излу

t5 чеиия (MiH. Ьочдехшх1к е6 а1. Thin

Solid ilma 73, 3980, с. 355)..

Эта конструкция связана со значительными затратами при изготовлении н контроле и обладает незначительной эффективностью.

Известен также устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксйдно-пленочный оптический элемент, состоящий по крайней мере иэ одного слоя окнсла металла, нанесенного на подложку (Б.И. Арйе1

В ТЬж 8о1Ы И1шз, 73, ИЗО, с.f67)...

Недостатками известной конструкции являются низкие эксплуатационные качества, а также низкая стойкость к воздействию лазерного излучения.

Цель изобретения - повышение стой кости к воздействию лазерного излу чениям

Указанная цель достигается тем, что количество атомов кислорода,связанных в слое, на 2-8Ж больше, чем количество атомов кислорода, которое необходимо для сохранения стехиометрического соотношения кислород — металл оксидного соединения металла наивысшей валентности.

Устойчивый к воздействию лазерного излучения неабсорбирующий оксиднопленочный оптический элемент состоит из одного слоя Та Оу(Nb Оэ, Язв), нанесенного на подложку из стекла.

Количество атомов кислорода, связанных в слое, на 27 больше, чем зто требуется по стехиометрическому соотношению кислород - тантал (ниобий, кремний). Количество атомов кислорода, связанных в слое Т О, на 8Ж больше, ЕгΠ— на 5Х больше, чем это требуется по стехиометрическому со,отношению.