Материал для прозрачных проводящих покрытий

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и.позволяет повысить термостабильность поверхностного сопротивления покрытия при сохранении высокой прозрачности в видимой и ближней инфракрасной областях спектра. Для этого к 86-94 мас.% индия (Ш) оксида добавлено 5,5-13,9 церия (IV) оксида и 0,1-0,5 лютеция (Ш) оксида. Добавки обеспечивают получение токопроводящих покрытий с толщиной пленки (0,7-0,9) мкм. Материал синтезируется из водорастворимых солей индия, церия и лютеция совместным осаждением гидроокисей с последующей прокалкой. 1 табл.

СОЮЗ СО8ЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСН0МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

RO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3778978/24-10 (22) 01. 08. 84 (46) 07.01.87. Бюл. Р .1 (72) Г.И.Кочерба, Г.А.Тетерин, B.Ä.ÂâåäåHñêèé, В.Д.Козлов, В.С.Калиниченко, Д.К.Петрушенко, А.П.Лаврищев и P.Ф.Цагина (53) 535.345.67(088.8) (56) Mofzen W.I. Uac. Sci Techno, 1975, ч. 12, р. 98-102, Fraser D. В,, Cook Н.D. I.Vac °

Sci. Techno, 1977, v. 14, N- 1,р. 147—

151. (54) МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ

„„SU„„1282035 А1

4 G 02 В 5/28, С 03 С 17/00 (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет повысить термостабильность поверхностного сопротивления покрытия при сохранении высокой прозрачности в видимой и ближней инфракрасной областях спектра. Для этого к 86-94 мас.% индия (Ш) оксида добавлено 5,5-13,9 церия (IV) оксида и 0,1-0,5 лютеция (Ш) оксида. Добавки обеспечивают получение токопроводящих покрытий с толщиной пленки (0,7-0,9) мкм. Материал синтезируется из водорастворимых солей индия, церия и лютеция совместным осаждением гидроокисей с последующей прокалкой. 1 табл.

1, -1 28203

Изобретение относится к ппенкообраэующим материалам, применяемым в в оптическом приборостроении в каче- р

1 стве прозрачных токопроводящих слоев. О

Цель изобретения — повышение термостабильности поверхностного сопро-: тивления покрытия при сохранении высокой прозрачности.в видимой и ближней инфракрасной областях спектра.

Материал для прозрачных токопро- 10 водящих покрытий представляет собой смесь различных окислов металлов при следующем соотношении компонентов, 1 мас.%:

Индий (III) 15 оксид

Церий (IV) оксид . 5,5-13,9

Лютеций (III) оксид О, 1-0,5

86-94

25

Состав материала покрытия, Поверхностное сопротивление, мас,X Ом/квадрат

СеО 1и О SnO после после нагре2 о напыления ва до 120 С

In О после охлаждения до 20 С

380-400

460-480

320

350

59 0,1

7,9 0,1

9,9 О,i

11,9 0,1

450

400

540-560

500

510-520

700-720

1000-1030

730-760

700

1000 1060-1100

86

13,9 0,1

335

280

350

90

Введение стабилизирующей добавки в количестве 5,5-13,9 мас.% церий (17) оксида обеспечивает получение токопроводящих покрытий с величиной

Пример . Для получения материала для токопроводящего прозрачного покрытия с поверхностным сопротив лением пленки 300-350 Ом/квадрат к

940 мл раствора азотно-кислого индия с концентрацией 100 г/л индий (1ТТ) оксида добавляют при перемешивании 55 мл раствора азотно-кислого церия с концентрацией 100 г/л по

5 2 поверхностного сопротивления лежащей пределах от 300 до 1000 Ом/квадат при толщине пленки, равной 0,7 ,9 мкм. Доэирующая добавка лютеций (III) оксида в количестве 0,1

0,5 мас.% обеспечивает термическую стабильность поверхностного сопротивления покрытия. В таблице приведены значения поверхностного сопротивления покрытий, измеренные непосредственно после изготовления пленки; а .,также при ее нагреве до

20 С и после охлаждения до комнатной температуры в зависимости от состава исходного материала. В последней строке таблицы для сравнения приведены экспериментальные данные. полученные для пленок, содержащих

90% In О и10% SnO

Матерйал синтезируют из водорастворимых солей индия, церия и.лютеция совместным осаждением гидроокисей с последующей прокалкой 1000

1100ОС в течение двух часов на воздухе. церий (IV) оксиду, 5 мл раствора азотно-кислого лютеция с концентрацией

100 г/л по лютеций (III) оксиду и аммиак водный до полного осаждения.

Пульпу фильтруют. Гидроокиси высушивают при 15ООС в течение 4 ч и прокаливают на воздухе при 1000 С в те-. чение 2 ч.

5,5-13,9

Составитель П.Яковлев

Редактор М.Бланар Техред В.Кадар

Корректор Е Сирохман

Заказ 7262/43 Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

-Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4

3 12820

Полученный таким образом материал имеет следующий состав, мас.7:

Индий (ХТХ) оксид 94,0

Церий (IV) оксид 5,5

Лютеций (III) оксид 0,5 и может быть использован при нанесении покрытий методом катодного распы- 1р ления электронно-лучевого испарения как в виде порошка, так и -в компактной форме.

Пленки материала предлагаемого состава являются прозрачными в види- 15 мой и ближней .областях спектра,имеют высокий (до 92 7) коэффициент пропускания, удельное сопротивление составляет (3-9) 10 ом см:

=2.

35 4

Формула из обре тения

Материал для прозрачных проводящих покрытий, включающий индий (111) оксид, отличающийся тем, что, с целью повышения термостабильности поверхностного сопротивления покрытия при сохранении высокой прозрачности в видимой и ближней инфракрасной областях спектра, он дополнительно содержит церий (IV) оксид и лютеций (III) оксид при следующем соотношении компонентов, мас. :

Индий (III) оксид 86-94

Церий (IV) оксид

Лютеций (III) оксид Остальное