Установка для литья керамической пленки

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (5!)4 В 28 В 1/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,: ;,""- Н A BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4148300/29-33 (22) 18.11.86 (46) 30.12.88. Бюл. Р 48 (72) И.Ф. Тузов, О.А. Иельников, В.И. Венедиктов и А.Н. ХЧукавский (53) 666.3.022.88(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1144885, кл. В 28 В 1/26, 1982.

1 (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ЛИТЬЯ KKPAMN×ECКОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок для многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем способом литья шликеров на технологическую подложку. Целью изобретения является повышение производительности за счет интенсификации процесса сушки. Установка содержит механизмы размотки рулона 1 с технолагической подложкой, столы формирования

2 с питьевыми фильерами 3, двухканальную сушильную камеру 4 с единой системой раздачи теплоносителя, каждый канал камеры 4 снабжен кареткой

)7 с захватами конца технологической подложки. Каретка 17 перемещается на роликах па направляющим при помощи бесконечнога троса 16„ на" янутаго на барабаны 15. Для повышения качества пленки за счет обеспечения равномерности движения подложки и удобства обслуживания вер>.няя ветвь технологической подложки поднята над нижней фильерай 3 на вращающихся роликах 22. Перемещаясь в каналах сушильной камерь. 4, отлитая керамическая пленка высыхает и наматывается на рулон механизма намотки 11, а технологическая подложка — на свой рулон. 5 ил.

1447661

Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности при изготовлении многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем.

Цель изобретения — повышение производительности установки путем интенсификации процесса сушки.

На фиг. 1 схематически изображена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 — система раздачи теплоносителя по каналам с регулируемыми заслонками и пр борами, на фиг. 3 система отсоса увлажненного воздуха с приборами в конце сушильной камеры передьигаемые каретки иа напр;,.вля- 2g юшнх; на фиг . 4 — си.тем;- отсоса теплоносителя в начале сушильной камеры; па фиг. 5 — система подачи теплоносителя с регулируемыми заслонками в начале сушильной камеры. 25

Установка содержит механизмы раэмотки рулона с подложкой, столы

2 формирования с питьевыми филье-рами

3, двухканальную сушильную камеру

4 с общей системой трубопроводов 5 с регулируемыми заслонками б, приборами 7 и 3 измерения давления H тем-и;=.ратур"; подаваемог о теплоносителя соответственно, систему 9 вентиляции для отсоса увлажненного воздуха, механизмы 10 протяжки подложки., механизмы 11 намотки в рулон отлитой пленки и механизмы 12 намотки в рулон технологической подложки. Уста:новка содержит также вентиляторы 13 и rrarpei.aa 14 для подачи теплоносителя, Каждый канал имеет на концах барабаны 15 с натянутыми на них тросамп 16, к концам которых прикреплены каретки 17. Барабаны 15 приводятся во вращение рукоятками 18. Каретка 17 с захватами 19 при помощи роликов 20 передвигаются по направляющим 21. Верхняя ветвь технологической подложки поднята под нижней фильарой 3 и вращающихся роликах 22 и имеет горизонтальный участок.

Установка работает следующим образом.

Рулоны с технологической подложкой устанавливают в шпиндели меха55 низмо. 1 раэмотки рулона и пропускают нижнн л подложку по столу 2 под фильеру 1, а верхнюю подложку — череэ систему вращающихся роликов 22 по верхнему столу 2 под фильеру 3.

Затем концы подложек закрепляют на каретках 17 при помощи захватов 19 и путем вращения барабанов 15 рукоятками протаскивают концы подложки по длине сушильной камеры 4. На выходе из сушильной камеры 4 концы подложек освобождают из захватов, пропускают их через валики механизма 1О протяжки и наматывают на механизмы 12 намотки подложки. После этого фильеры 3 заполняют литьевым шликером. Включают нагреватели 14 и вентиляторы 13 для подачи теплоносителя. При помощи заслонок и приФ боров достигается необходимая температура в каналах сушильной камеры 4.

При включении приводов механизмов

1 подложки разматываются с рулонов и с постоянной скоростью протягиваются по столам 2 под фильерами 3.

Механизмы 12 намотки подложки, преодолевая торможение механизмов 1 размотки, протаскивают подложки по столам и к налам сушильной камеры 4.

В зта же время иэ фильер 3 подается шликер, которыи вытекая из фильеры, попадает на движущуюся подложку слоем, толшина которо= î ограничена зазором между нижней поверхностью фил epr и поверхностью пордожки.

Перемещаясь в каналах сушильной .камеры 4, отлитая керамическая пленка .зысыхает и наматывается на рулон механизма 11 намотки, а технологическая подлояаса — на свой рулон.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

Установка для литья керамической пленки, содержащая механизмы размотки рулона с технологической подложкой, столы формирования и литьевые фильеры, механизмь намотки в рулон отлитой пленки и технологической подложки, отличающаяся тем, что, с целью говышения производительности за счет интенсификации процесса сушки, сушильная камера выполнена двухканальной с единой системой раздачи теплоносителя, а каждый канал снабжен кареткой с захватами конца технологической подложки, причем каретка при помощи роликов установлена на направляющих и снабжена приводом в виде бесконечного троса, натянутого на барабаны, установленные на входе и выходе канала, 1447661

Составитель С. Акиньшин

Техред И.Верес Корректор Э. Лончаков;

Редактор А. Огар

Тираж 528

Заказ 6794/19

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

ВНИИПО Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5