Способ работы молекулярного насоса

 

Изобретение относится к способам получения вакуума при помощи молекулярных средств откачки. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса. Входной и выходной патрубки 2, 3 разделены перегородкой 4. По оси корпуса 1 размещен охлаждаемый ротор 5, снабженный сорбирующим покрытием 6, расположенным на наружной поверхности ротбра 5 и выполненным в виде материала с фазовым переходом металл-диэлектрик. В зоне патрубка 2 расположено устройство 7 для воздействия на покрытие 6. При вращении ротора 5 и воздействии на покрытие 6 в зоне патрубка 2 осуществляют переход материала в фазу металл . Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором в зону патрубка 3, десорбируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода материала в фазу диэлектрик при т-ре охлаждения на 2-5° ниже т-ры фазового перехода. Фазовый переход в зоне патрубка 2 осуществляют путем нагрева материала до т-ры, превышающей Т ру фазового перехода, либо путем воздействия на материал электростатическим или магнитным полем. Обеспечение захвата молекул в зоне патрубка 2 и десорбция их в зоне патрубка 3 позволяют улучшить скоростные характеристики насоса. 3 з.п.ф-лы, 1 ил. S (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (58 4 04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMÚ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4232778/25-06 (22) 22.04.87 (46) 30.01.89. Бюл. № 4 (71) Омский политехнический институт (72) В. П. Демидов, В. Ю. Мартынов, В. И. Миллер, И. И. Миллер и В. В. Шалай и Н. В. Шепелев (53) 621.527.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 630455, кл. F 04 D 19/04, 1976. (54) СПОСОБ РАБОТЫ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к способам получения вакуума при помощи молекулярных средств откачки. Цель изобретения — улуч,шение откачных характеристик насоса. Входной и выходной патрубки 2, 3 разделены перегородкой 4. По оси корпуса 1 размещен охлаждаемый ротор 5, снабженный сорбирующим покрытием 6, расположенным на наружной поверхности ротора 5 и выполнен„„SU„„1455050 A 1 ным в виде материала с фазовым переходом металл — диэлектрик. В зоне патрубка 2 расположено устройство 7 для воздействия на покрытие 6. При вращении ротора 5 и воздействии на покрытие 6 в зоне патрубка 2 осуществляют переход материала в фазу металл. Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором в зону патрубка 3, десорбируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода материала в фазу диэлектрик при т-ре охлаждения на

2 — 5 ниже т-ры фазового перехода. Фазовый переход в зоне патрубка 2 осуществляют путем нагрева материала до т-ры, превышающей т-ру фазового перехода, либо путем воздействия на материал электростатическим или магнитным полем. Обеспечение захвата молекул в зоне патрубка 2 и десорбция их в зоне патрубка 3 позволяют улучшить скоростные характеристики насоса. 3 з.п.ф-лы, 1 ил.

1455050

Форли/ла изобретения

Сост а в ит ель В. Кря к о в к ин

Реда кто р М. Пет ро ва Техред И. Верес Кор ре кто р В. Бутя га

Заказ 7429/40 Тираж 520 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

1133035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская нгб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная. 4

1 !

Изобретение относится к вакуумной техике, а именно к способам получения вак1уума при помощи молекулярных средств откачки.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На чертеже представлена схема молекулярного насоса.

Насос содержит корпус 1 с входным и ыходным патрубками 2 и 3, разделенны- 10 и перегородкой 4, и размещенный по оси

/корпуса 1 охлаждаемый ротор 5, снабжен ый сорбируюшим покрытием 6, расположен ым на наружной поверхности ротора 5 и

ыполненным в виде материала с фазовым ереходом металл — диэлектрик. В зоне входного патрубка 2 расположено устройство 7

/ ля воздействия на сорбируюшее покры. ие 6. Это устройство может быть выполнено . ибо в виде источника тепла, либо в виде сточника электростатического поля, либо виде источника магнитного поля.

Способ осушествляют следующим обраом.

При вращении ротора 5 и воздействии на орбируюшее покрытие 6 в зоне входного атрубка 2 с помощью устройства 7 осуцествляют переход покрытия 6 в фазу ме галл. В этом состоянии покрытие обладает высокими адсорбционными характеристика ми и сорбирует молекулы газа, поступаю1дие через входной патрубок 2. Неадсорбируемые молекулы при соударенни с вращающимся ротором 5 получа1от импульс в направлении вращения, т. е. в сторону выходного окна 3. Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором 5 в зону выходного окна 3, десорбируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода покрытия в фазу диэлектрик при температуре охлаждения на 2 — 5 С ниже температуры фазового перехода. В фазе диэлектрик сорбируюшие свойства покрытия очень низки.

Таким образом, обеспечение захвата молекул в зоне входного патрубка и десорбцию их в зоне выходного патрубка позволяет улучшить скоростные характеристики молекулярного насоса.

1. Способ работы молекулярного насоса, включающий охлаждение. ротора, адсорбцию молекул откачиваемого газа на сорбируюшем покрытии ротора в зоне входного патрубка корпуса и носледуюшую десорбцию их в зоне выходного патрубка, отличающийся тем„что, с целью улучшения откачных характеристик, в качестве сорбируюшего покрытия используют материал с фазовым переходом металл — диэлектрик, охлаждение ротора ведут до температуры на 2- — 5" С ниже температуры фазового перехода, а в зоне входного патрубка осуществляют переход материала в фазу v,åòàëë.

2. Способ по п. 1, orëè÷àþè èé.ñÿ тем, что фазовый переход в зоне входного патрубка осуществляют путем нагрева материала до температуры, превышаюгцей температуру фазового перехода.

3. Способ по и. 1, отлич2юшийся тем, что фазовый переход в зоне входного патрубка осуществляют путем воздействия на материал электростатическим полем.

4. Способ по п. 1, от.1ичи,ощийся тем, 1та фазовый переход B зоне входного патрубка осуществляют путем воздействия н а м атериал магнитным полем.