Способ измерения глубины информационного микрорельефа отражательных оптических видеои компакт-дисков
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины информационного микрорельефа оптических видео- , компакт-дисков и полимерных подложек с рельефной дорожкой для оптических дисков. Целью изобретения является повышение точности измерения 1 Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано, в частности, для измерения глубины информационного микрорельефа оптических видеои комг пакт-дисков:и полимерных подложек с рельефной дорожкой для оптических дисков.. Целью изобретения является повышение точности измерения глубины информационного микрорельефа за счет исключения погрешности от определения глубины информационного микрорельефа за счет исключения погрешности от определения абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражения. При помощи егистрирующего спектрофотометра с приставкой зеркального отражения регистрируют спектр зеркального отражения образца видеодиска в диапазоне от 0,2 до 1,1 мкм. В результате погашающей интерференции при отражении от микрорельефной поверхности монохроматического света определенной длины волны в спектре отражения наблюдают интерференционный минимум. По положению данного минимума определяют длину Арм«н волны, которая ему соответствует , и вычисляют искомую глубину информационного микрорельефа по формуле: h Др„ин / } 1 - , где - о( - угол падения излучения на поверхность диска; п - показатель преломления материала основы диска. 1 ил. i (Л 4 О) 00 со абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражения. На чертеже изображён пЗрофиль питов информационного микрорельефа и схема отражения света от него. На схеме обозначены защитное покрытие 1, отражающий слой А1 2, основа диска 3 с показателем преломления п. I Способ измерения глубины информационного микрорельефа осуществляется следующим образом.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
„„SU„„1467390 А1 р 4 G 01 В 11/30
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4179745/25-28 (22) 12.01.87 (46) 23.03.89. Бюл. Р 11 (72) Е.Ф.Киркач, Б.H.Копко, П.Д.Михайлишин, И.В.Садженица и В.Н.Соболев (53) 531.715.27(088.8) (56) Кучин А.А., Обрадович К.А. Оптические приборы для измерения шероховатости. Л.: Машиностроение, 1981, с. 150"175. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ ИНФОРМАЦИОННОГО МИКРОРЕЛЬЕФА ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВИДЕО- И КОМПАКТДИСКОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины информационного микрорельефа оптических видео-, компакт-дисков и полимерных подложек с рельефной дорожкой для оптических дисков. Целью изобретения является повышение точности измерения
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано, в частности, для измерения глубины информационного микрорельефа оптических видео- и компакт-дисков.и полимерных подложек с рельефной дорожкой для оптических дисков.
Целью изобретения является повышение точности измерения глубины информационного микрорельефа за счет исключения погрешности от определения глубины информационного микрорельефа за счет исключения погрешности от. определения абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражения. При помощи регистрирующего спектрофотометра с приставкой зеркального отражения регистрируют спектр зеркального отражения образца вйдеодиска в диапазоне от 0,2 до
1, 1 мкм. В результате погашающей интерференции при отражении от микрорельефной поверхности монохроматического света определенной длины волны в спектре отражения наблюдают интерференционный минимум. По положению данного минимума определяют длину Я „ц, волны, которая ему соответствует, и вычисляют искомую глубину информационного микрорельефа по фор-,,.
-;... Г Р= ТУТ, „,.
Ы вЂ” угол падения излучения на но«.. верхность диска; n — показатель преломления материала основы диска.
1 ила 4ь абсолютной величины относительного коэффициента зеркального отражения.
На чертеже изображен профиль питов информационного микрорельефа и схема отражения света от него.
На схеме обозначены защитное покрытие 1, отражающий слой Al 2, основа диска 3 с показателем преломления и.
Способ измерения глубины информационного микрорельефа осуществляется следующим образом.
1,467390
Монохроматический пучок света Т
1тройдя через полимерный слой 2 основы 3 с показателем преломления и, отражается от микрорельефа глубиной
11. Интерференционный минимум форми5
Вуется sa счет возникающей на стуеньке элемента информации разности . хода межпу пучками I1 и I
8 2hn cos p, (1) 1де 8 — угол преломления.
При сложении колебаний Т, и I .! суммарная интенсивность равна
I I. + Т1 + 2ЧТТТа cos — ". (2)
2Ь
Экстремум у этой функции I
aI удет при условии = Q
I l . 2Q 27!д
- = -24I I (sin ) 0 аЛ 1 Л Л
1 (3)
Это условие выполнимо только при
2Ъ 2Тв
sin (—,— ) = 0 . — — = К1
1 (4) 30 где К 1,2.
ПриК=1
2D 2. 2 hn cosp
h Л (5)
Угол в удобнее выразить через Л и п
4hn 1 — sin> p
4h
=Л
1 (e) = Л, бтсюца
Л
h—
4 и (7) 50
Так как cos I -1, то экстремум является минимумом.
Для эффективного применения предлагаемого способа необходимо, чтобы глубина измеряемого информационного
Микрорельефа в пределах поля измереЬ ния удовлетворяла условию — „- < О, 1, где о — среднее квадратическое отклонение h от среднего значения h в пределах поля измерения где Л вЂ” нижняя граница спектрального диапазона, в котором регистрируется спектр зеркального отражения образца.
Разброс глубины профиля микрорельефа относительно среднего значения
h в пределах поля измерения не должен превышать 0 1 Л . Если 6 = 0,2Л то относительный коэффициент зеркального отражения уменьшается почти до нуля, т.е. такая поверхность перестает зеркально отражать и становится диффузно отражающим объектом.
В зависимости от назначения оптического диска глубина информационного микрорельефа на нем принимает значения в пределах 700-1600 X. Спектральная область, в которой наблюдаются интерференционные минимумы в спектре зеркального отражения, соответствующие этим глубинам, заключена между длинами волн, равными 0,42 и 0 96 мкм соответственно. Дпя четкой регистрации экстремума спектральную область необходимо расширить на 0,15-0,2 мкм в обе стороны. В предельном случае требуемый спектральный диапазон измерения 0,2—
1,1 мам.
При помощи регистрирующего спектрометра с приставкой зеркального от,— ражения регистрируют спектр зеркального отражения образца видеодиска в диапазоне 0,2 — 1, 1 мкм. В результате погашающей интерференции при отражении от микрорельефной поверхности монохроматического света определенной длины волны s спектре отражения наблюдается интерференционный минимум, По положению данного миниму" ма определяют длину Ь волны, которая ему соответствует, т.е. A р 1 11 и, подставив ее значение в формулу (7) вычисляют искомую глубину h инфор мационного микрорельефа.
Формула изобретения
Способ измерения глубины информа, ционного микрорельефа отражательных оптических видео- и компакт-дисков, заключающийся в том, что облучают монохроматическим излучением мнк
1467390 ствующую ему длину 3> „„„, а глубину
h микрорельефа определяют по формуле
Составитель Л. Лобзова
Редактор Л. Гратилло Техред М.Дидык Корректор М. Пожо
Заказ 1184/37 Тираж 683 Порписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 рельеф, регистрируют интенсивность зеркально отраженного от микрорелье-! фа излучения и определяют его глубину, отличающийся тем, 5 что, с целью повышения точности измерения, непрерывно измеряют длину волны излучения в диапазоне от
0,2 до 1, 1 мкм, по минимуму интенсивности зеркально отраженного от микро- 10 рельефа излучения находят соответр мин
Д =Д„Г7 где Ы вЂ” угол падения излучения на поверхность диска;
n — показатель преломления материала основы диска.
