Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей и устройство для его осуществления
Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьшение точности и производительности измерений путем увеличения отношения сигнал/шум. Пучком когерентного излучения от лазера Г посредством делителя 2 и зеркала 4 освещают диффузно отражающие поверхности 7 и 8 и отраженное от них излучение направляют в плоскость фоторегистратора 5. Для устранения непосредственного попадания на него излучения , минуя зеркало 4, перед зеркалом 4 установлена полуволновая пластинка 3, а между делителем 2 и фоторегистратором 5 -поляризационньм анализатор 6. Путем поступательного и вращательного перемещения зеркала 4 совмещают спекл-поля отраженного излучения до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере одного из спеклов. Посредством фоторегистратора 5 определяют интенсивность светового потока, проходящего через поперечное сечение этого спекла, и по полученным данным определяют относительное перемещение. 1 ил. § (Л
COlO3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК ш 4 0 01 В 9/021
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
Н АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4110237/24-28 (22) 19.06.86 (46) 15.02.88. Бюл. М 6 (72) Б.Б.Горбатенко, И.С.Клименко, В.П.Рябуха и Л.А.Сурменко (53) 531.715.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
- 554467, кл. G 01 В 9/02, 1977.
Chanoha S., Vikrsm T., Vedam K.—
0ptik, 1983, ч.64, К 2, рр.171-175. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЙ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДИФФУЗНО ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности и производительности измерений путем увеличения отношения сигнал/шум. Пучком когерентного излучения от лазера 1 посредством делителя 2 и зеркала 4
SU„„1374042 А 1 освещают диффузно отражающие поверхности 7 и 8 и отраженное от них излучение направляют в плоскость фоторегистратора 5, Для устранения непосредственного попадания на него излучения, минуя зеркало 4, перед зеркалом 4 установлена полуволновая пластинка 3, а между делителем 2 и фоторегистратором 5 -поляризационный анализатор 6. Путем поступательного и вращательного:.перемещения зеркала
4 совмещают спекл-поля отраженного излучения до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере одного из спеклов. Посредством фоторегистратора 5 определяют интенсивность светового потока, проходящего через ппперечное сечение этого спекла, и по-полученным данным определяют относительное перемещение.
I ил.
1374042
Тираж 680 Подписное
ВНИИПИ Заказ 562/36
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения относительных перемещений двух диффузно отражающих объектов, Целью изобретения является повышение точности и производительности измерений путем обеспечения возможности увеличения входного окна фо- !0 торегистратора до размеров спекла суперпозиционного спекл-поля, что приводит к увеличению отношения сигнал/шум.
На чертеже представлена оптичес- 15 кая схема устройства для осуществления способа.
Устройство содержит последовательно расположенные по ходу луча лазер 1, делитель 2 пучка, полувол- 20 новую пластину 3 и зеркало 4, установленные с возможностью поступатель.,ного перемещения вдоль лазерного луча и регулирования угла его наклона, фоторегистратор 5, установленный с возможностью перемещения в своей плоскости, и поляризационный анализатор 6 между делителем 2 и фоторегистратором 5, Пучок когерентного излучения от лазера 1. с помощью делителя 2 направляется на диффуэно отражающие поверхности 7 и 8. Отраженное от поверхностей излучение совмещают в плоскости фоторегистратора 5. Ири этом для устранения попадания на фоторегистратор 5 излучения, отраженного поверхностью 8, минуя зеркало 4, осуществляют развязку излучения путем 40 прохождения его через полуволновую пластину 3 и поляризационный анализатор 6, ориентация оптической оси которого соответствует максимальному пропусканию линейно поляризованного 45 излучения от лазера 1. Затем путем поступательного перемещения зеркала
4 вдоль лазерного пучка и его наклона осуществляют совмещение спеклструктур ОтраженнОгО излучения дО исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере. одного из спеклов и посредством фоторегистратора 5 регистрируют интенсивность светового потока,.проходящего через поперечное сечение этого спекла, по которой измеряют относительные перемещения диффуэно отражающих поверхностей 7 и 8.
Формула изобретения
1, Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей, заключающийся в том, что освещают поверхности когерентным излучением, осуществляют пространственное совмещение отраженных этими поверхностями спекл-полей и в плоскости совмещения регистрируют интенсивность суммарного спекл-поля,.по которой определяют относительные перемещения поверхностей, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, совмещение спекл-полей осуществляют до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере одного из спеклов, а регистрацию интенсивности производят по потоку излучения, проходящему через поперечное сечение этого спекла.
2. Интерференционное устройство для измерений относительных перемещений диффуэно отражающих поверхностей, содержащее последовательно расположенные лазер и делитель пучка и фоторегистратор, о т л и ч а ю щ е— е с я тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, оно снабжено последовательно размещенными за делителем по ходу одного иэ разделенных пучков полуволновой пластиной.и зеркалом, установленным с возможностью поступательного перемещения вдоль лазерного пучка и регулирования угла его наклона, и поляризационным анализатором, расположенным между фоторегистратором и делителем, а фоторегистратор установлен с возможностью .перемещения в своей плоскости.
