Способ определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса

 

Изобретение позволяет повысить точность определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса. Измеряют уровень вибрации насоса. Дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора к его опоре. По изменению осевого усилия судят о техническом состоянии насоса. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1476197 @4 F04 D 500

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Формула изобретения

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4091462/25-29 (22) 20.05.86 (46) 30.04.89. Бюл. № 16 (72) Б. К. Бахтерев и В. И. Овчинников (53) 621.526 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 682785, кл. G 01 М 7/00, F 01 D 5/02, 1979. (54) СПОСОБ ОПР ЕДЕЛ ЕНИЯ ТЕХН ИЧЕСКОГО СОСТОЯНИЯ ВЕРТИКАЛЬНО1

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при определении технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса.

Цель изобретения — повышение точности.

На чертеже приведен турбомолекулярный насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос содержит корпус 1, ротор 2, магнитный подшипник 3, пару трения — гибкий стержень 4 с опорой

5, установленную в гидравлическом демпфере 6, стакан 7 демпфера установлен на подпятнике 8, в который вмонтирован тензометрический датчик 9, измеряющий осевое усилие от ротора 2 на опору 5.

Техническое состояние вертикального турбомолекулярного насоса определяют путем измерения уровня его вибрации, причем дополнительно измеряют осевое усилие, дейГО ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА (57) Изобретение позволяет повысить точность определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса.

Измеряют уровень вибрации насоса. Дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора к его опоре. По изменению осевого усилия судят о техническом состоянии насоса. 1 ил.

2 ствующее от ротора 2 на его опору 5, и по его изменению судят о техническом состоянии насоса.

При возрастании усилия на опору 5 свыше критической величины делают вывод о необходимости остановки насоса с целью его ремонта и восстановления работоспособного состояния.

Способ определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса путем измерения уровня его вибрации, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора на его опору, и по его изменению судят о техническом состоянии насосов.

1476197

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Г!атент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Редактор М. Товтин

Заказ ) 961 36

Составитель Е. Забугин

Техред И. Верес Корректор М. Самборская

Тираж 523 Подписное