Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

 

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности в технике изготовления запоминающих матриц на ферритовых сердечниках с наружным диаметром 0,4 мм и менее. Целью изобретения является повышение надежности трафарета. Способ изготовления заключается в следующем. Фольгу из нержавеющей стали обезжиривают и на обе стороны наносят слой фоторезиста. Затем путем последующего экспонирования через совмещенные двусторонние фотошаблоны и проявления на фольге создается фоторезистивный рисунок трафарета, после чего производят травление формирующих окон до начала вскрытия сквозных отверстий в ячейках химически. Затем производят дальнейшее травление ячеек до заданных размеров в растворе электрохимического полирования, обработку производят на аноде с использованием катодов из нержавеющей стали. Затем производят снятие фоторезиста смесью примеси водорода с водой. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (д1) 4 < 11 С 5/02

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

H АBTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВ (21) 4275911/24-24 (22) 27.05.87 (46) 07.05.89. Бюл. Р 17 (72) А.Т.Барсукова, С.С.1!(игарев, С.М.Ивлев А.А.Самиулина и Т.А.Ширалиева (53) 681.327.66(088.8) (56) Патент Японии Р 52-4 136, кл. 97(7), опублик. 1978.

Авторское свидетельство СССР х- 936024, . c; 11 с 5/ог, 1982. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА

ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ (57) Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности в технике изготовления запоминающих матриц на ферритовых сердечниках с наружным диаметром 0,4 мм и

1 Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности в технике изготовления запоминающих матриц на ферритовых сердечниках с наружным диаметром 0,4 мм и менее.

Цель изобретения — повышение надежности трафарета.

На фиг.1-3 схематично показано сечение ориентирующих отверстий трафарета, получаемых соответственно после химического травления, электрохимического травления и после удаления фоторезиста.

ÄÄSUÄÄ 1478254 A1 : ".Г21Л

Б Б <;1О:, У менее. Целью изобретения является по-. вышение надежности трафарета. Способ изготовления заключается в следующем.

Фольгу из нержавеющей стали обезжиривают и на обе стороны наносят слой фоторезиста. Затем путем последующе".

ro экспонирования через совмещенные двусторонние фотошаблоны и проявления на фольге создается фоторезистивный . рисунок трафарета, после чего производят травление формирующих окон до начала вскрытия сквозных отверстий в ячейках химически. Затем производят дальнейшее травление ячеек до заданных размеров в растворе электрохимичеекого полирования, обработку про- с

Щ изводят на аноде с использованием катодов из нержавеющей стали. Затем производят снятие фотореэиста смесью примеси водорода с водой. 3 ил.

Позицией 1 обозначен фотореэист, а позицией 2 — фольга 00

Способ изготовления трафарета за- ф ключается в том, что фольгу из нержа- д веющей стали обезжиривают и на обе стороны наносят слой фотореэиста, например, на основе ПВС (поливиниловый спирт). Затем путем последующего экспонирования через совмещенные двухсторонние фотошаблоны и проявления на фольге создается фоторезистивный и рисунок трафарета ° После чего производят травление формирующих окон (до начала вскрытия сквозных отверстий в ячейках) химически, например, в растворе хлорного железа.

1478254 основы нержавеющей стали и отсутствия подтравов основы.

Формула изобретения

Применение предлагаемого способа позволяет получить трафареты с повышенной надежностью, механической прочностью и долгим сроком службы за счет использования в качестве металла

Щ/ . 1

@0L Z

Составитель Л.Амусьева

Техред Л.Олийнык Корректор И.Муска

Редактор А.Мотыль

Заказ 2367/50 тираж 559 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г ° Ужгород, ул. Гагарина, 101

Затем производят дальнейшее травление ячеек до заданных размеров в растворе электрохимического полирования, содержащем, например, фосфорную и серную кислоты в следующем соотношении: кислота фосфорная 950-1050 г/л и кислота серная 150-300 г/л.

Обработку производят на аноде с использованием катодов иэ нержавеющей стали. Режим электрохимического травления следующий: плотность тока

50-100 А/дм, температура раствора

60-80 С, продолжительность обработки

2-5 мин.

На заключительной операции техпроцесса производят снятие фоторезиста смесью перекиси водорода с водой в отношении 1:1.

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, включающий нанесение фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонирование через фотошаблон, проявление экспонируемого изображения до образования в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, формирование сквозных отверстий в металлической пластине методом травления, о т л и ч а ю m и и с я тем, что, с целью повышения надежности трафарета, формирование сквозных отверстий производят методом химического травления, после чего производят электрохимическое травление до получения заданных размеров отверстий раствором электрохимического полиро25 -вания ° 1