Устройство для контроля шероховатости зеркальных поверхностей
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано ,в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей. Целью изобретения является повышение чувствительности и производительности контроля за счет многократного отражения, что даст последовательную перекачку энергии из зеркальной компоненты в рассеянную, и исключения процедуры юстировки. Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, гибкий световод 2, линзу 3, диафрагму 4, систему зеркал, состоящую из зеркал-объектов 5 и 6 и зеркала-коллектива 7, собирающее зеркало 8 с отверстием и фотоприемники 9 и 10, вырабатывающие сигналы, пропорциональные интенсивности зеркальной и рассеянной компоненты излучения соответственно. Диафрагма 4 оптически сопряжена с отверстием собирающего зеркала 8. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ.
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (50 4 С 01 В 11/30
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Р . . у
"1.3;
E gд qQ
«Д«
Об
©ч
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4294535/25-28 (22) 07.08.87 (46) 23.05.89. Бюл. У 19 (72) А.Л.Егоров и Г.А.Бурая (53) 531.715.27(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
М- 1067350, кл. G 01 В 11/30, 15.01.87.
Патент США 1« 3771880, кл. G 01 N 21/48, 1973.
I (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ЗЕРКАЛЬНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей. Целью изобретения является -повы„„SU„„1481 93 А1 шение чувствительности и производительности контроля за счет много-кратного отражения, что дает последовательную перекачку энергии из зеркальной компоненты и рассеянную, и исключения процедуры юстировки. Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, гибкий световод
2, линзу 3, диафрагму 4, систему зеркал, состоящую из зеркал-объектов
5 и 6 и зеркала-коллектива 7, собирающее зеркало 8 с отверстием и фотоприемники 9 и 10 вырабатывающие сигналы, пропорциональные интенсивности зеркальной и рассеянной компоненты излучения соответственно, Диафрагма
4 оптически сопряжена с отверстием собирающего зеркала 8 ° 1 ил.
1481593
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей.
Цель изобретения — повышение чувствительности и производительности контроля sa счет многократного отражения, что дает последовательную перекачку энергии из зеркальной компоненты в рассеянную, и исключения процедуры юстировки.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости зеркальных поверхностей.
Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, гибкий световод 2, линзу 3, диафрагму 4, систему зеркал, состоящую из двух зеркал-объективов 5 и 6 и одного зеркала-коллектива 7, собирающее зер, кало 8 с отверстием и два фотоприемника 9 и 10, вырабатывающие сигналы, пропорциональные .интенсивности эер- 25 кальной и рассеянной компоненты излучения соответственно. Дифрагма 4 on" тически сопряжена с отверстием собирающего зеркала 8.
Устройство работает следующим образом.
Луч света от лазера 1 падает на входной торец гибкого световода 2 и дает яркое световое пятно на его выходном торце. Линзой 3 световой конус, выходящий с торца гибкого. световода 2, собирается на отверстии диафрагмы 4, падая далее на контролируемую поверхность 11. Отражаясь от контролируемой поверхности 40
ll ° световой пучок попадает на зеркало-объектив 5, которое его фиксирует после отражения от контролируемой поверхности 11 на зеркале-коллекторе 7. Последнее через контролируемую 45 поверхность 11 посылает световой пучок на зеркало-объектив 6, которое после отражения от контролируемой поверхности ll фокусирует его в центре выходного отверстия собирающего зеркала 8. При этом зеркальная компонента проходит через отверстие собирающего зеркала 8 и регистрируется фотоприемником 9, а рассеянная компонента, распределенная по поверхности собирающего зеркала 8, посылается им на фотоприемник 10. По отношению сигналов, поступающих с фотоприемников 9 и10, можно судить о величине шероховатости контролируемой поверхности 11 по сравнению с эталонным образцом.
Зеркала-объективы 5 и 6 и эеркалоколлектив 7 являются идентичными и их радиус кривизны равен удвоенному расстоянию от них до контролируемой поверхности II. При этом изменение относительного углового положения системы зеркал 5 — 7 и контролируемой поверхности ll не сказывается на положении светового пучка относительно выходного отверстия собирающего зеркала 8.
Устройство позволяет, благодаря малым размерам и весу измерительной головки, основную массу которой составляют зеркала 5 — 8 вместе с ее корпусом, и нечувствительности к нарушению юстировки контролируемой поверхности 11 вести контроль шероховатости непосредственно на рабочем месте при простом наложении измерительной головки на контролируемую поверхность ll.
Формула изобретения
Устройство для контроля шероховатости зеркальных поверхностей, содержащее лазер, собирающее зеркало с отверстием и два фотоприемника, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности и производительности контроля, оно снабжено гибким световодом, линзой и диафрагмой, последовательно установленными по ходу излучения за лазером, тремя зеркалами в виде двух объективов и одного коллектива, расположенными в одной плоскости с собирающим зеркалом и диафрагмой, оптически сопряженной с отверстием собирающего зеркала.
