Устройство для измерения шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в отраслях машино- |И приборостроения , связанных с контролем шероховатости полированных поверхностей. Цель изобретения - повьшение информативности и точности измерения за счет одновременной информации о двух участках поверхности и устранения зеркальной составляющей. Устройство содержит последовательно расположенные на одной оси и устанонпенные под острь(м углом к измеряемой поверхности iГ источник монохроматического излучения, модулятор 2, оптическую систему 3, двулучепреломляющий поляризационньй дефлектор 4, фазовую пластинку 5 для поворота плоскости поляризахлии одного из расщепленных лучей , последовательно расположенные по ходу отраженного измеряемой поверхностью 1 1 излучех-шя анализатор 6, объектив 7, светофильтры 8, многоэлементный приемник 9 излучения и электронный блок 10. ил. 9

4 А1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 G 01 В 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4297320/25-28 (22) l 2, 08. 87 (46) 30.03. 89. Бюл. Ф 12 (71) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) С.Т. Коваль, Т. В.Левченко и 10.é;Âàãèí (53) 531. 715,. 27(088. &) (56) Авторское свидетельство СССР

II- 1067350, кл. 0 01 В 11/30, 10. 10.84 (54) УСТРОЙСТВО ДПЯ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится .к измерительной технике и может быть использовано в отраслях машино- и приборостроения, связанных с контролем шероховатости полированных поверхностей.

Цель изобретения — повышение информативности и точности измерения за счет одновременной информации о двух участ к ах поверхности и устр анения зеркальной составляющей. Устройство содержит последовательно расположенные на одной оси и установленные под острщм углом к измеряемой поверхности II:èñòo÷íèê 1 монохроматического излучения, модулятор 2, оптическую систему 3, двулучепреломпяющий поляризационный дефлектор 4, фазовую пластинку 5 для поворота ппоскости поляриза1:,ии одного иэ расщепленных лучей, последовательно расположенные по ходу отраженного измеряемой поверхностью 1 излучения анализатор 6, объектив 7, светофильтры 8, многоэлементный приемник 9 излучения и электронный блок 10. l ил.

1469346

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в отраслях машино- и приборостроения связанных с контролем шеЭ

5 роховатости полированных поверхностей„

Цель изобретения — повышение информативности я точности измерения за счет одновременной информации о двух участках поверхности и устранения зеркальной составляющей.

На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства для измерения шероховатости 15 поверхности.

Устройство содержит последовательно расположенные на одной оси и установленные под острым углом к измеряемой поверхности источник 1 монохроматического излучения — лазер, модулятор 2, оптическую систему 3, двулучепреломпяющий поляризационный дефлектор 4, фазовую пластинку 5, например 5/2, для поворота плоскости 25 поляризации одного из расщепленных лучей, последовательно расположенные по ходу о тр аже нно го из меря е мой поверхностью излучения анализатор 6 ди" хроичного яли поляроидного типа, объектив 7, светофильтры 8, многоэлементный приемник 9 излучения, налример матрица приборов с зарядовой связью, и электронный блок 10, Устройство работает следующим образом.

Пар аплельный пучок монохроматического излучения от источника 1 мо-. нохроматическо го излучения модулируется модулятором 2 и проходит через 4п оптическую систему 3. После расщепления поляриэ ацяонным дефлектором

4 возникают два разделенных в пространстве пучка света со взаимно перпендикулярными плоскостями поляриза- 45 ции, Один из пучков проходят через фазовую пластинку 5, которая поворачивает плоскость его поляризации до плоскости, параллельной плоскости поляризация другого пучка. Два пучка 5О света с параллельными плоскостями поляризации отражаются от измеряемой поверхчостя 11 на двух разных участках,проходят через анализатор 6 и направляются объективом ? через светофильтры 8 на многоэлементный приемник 9 излучения, сигналы с которого обрабатывают ся электронным бло ком 10.

Возможны два типа измерений. В первом случае главная плоскость анализ атора

6 (плоскость пропускаемых колебаний) пар аплельна плоскости поляризации двух пучков, при этом как зеркальная (поляризованная), так и рассеянная (неполяризованная ) сост авляющая каждого пучка проходит через анализатор

6, объектив 7 и светофильтры 8, а в плоскости изображения многоэлемент— ным приемником 9 излучения регистрируетсяя свяэ анная с шерохо вато стью двух участков измеряемой поверхности 11 интерференционная картина. Во втором случае главная плоскость анализатора 6 перпендикулярна плоскостям поляризации двух пучков, при этом зеркальная (поляризованная) составляющая каждого пучка не проходит через анализатор 6, а рассеянная (неполяриэованная) составляющая проходит так, что в плоскости иэображения приемником 9 излучения регистрируется рассеянная составляющая, также связанная с шероховатостью двух участков измеряемой поверхности 11.

Формул а изобретения

Устройство дпя измерения шероховатости поверхности, содержащее последовательно расположенные на одной оси источник монохроматического излучения, модулятор и оптическую систему, устанавливаемые под острым углом к измеряемой поверхности, объектив, светофильтры я приемник H3— лученяя, устанавливаемые по ходу от— раж ае мого от из меряемой поверхности излучения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьш|ения информативности и точности измерения, оно снабжено поляряз ационным дефлектором и фазовой пластинкой, последователь— но расположенными за оптической системой по ходу падающего на контролируемую поверхность излучения, и анализатором, расположенным перед объективом по ходу отражаемого от контролируемой поверхности излучения, а приемник излучения выполнен много.элементным,