Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий

 

Изобретение позволяет повысить качество очистки изделий. Очищаемые изделия подаются по направляющим в зону обработки, образованную двумя моечными дисками. Диски расположены соосно один напротив другого и имеют центральные отверстия для подачи через них моющей жидкости на размещаемое между ними изделие. В основаниях направляющих выполнены сквозные каналы. Каналы верхнего основания имеют дугообразную форму, при этом входные отверстия каналов обращены к центру моечных дисков, а выходные - смещены в сторону, противоположную направлению перемещения изделий. Каналы нижнего основания расположены вертикально. Через дугообразные и вертикальные каналы производится отвод отработанной моющей жидкости. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я1„1 „„1496842 А 1 (51) 4 В 08 В 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ напротив другого и имеют центральные отверстия для подачи через них моющей жидкости на размещаемое между ними изделие. В основаниях направляющих выполнены сквозные каналы. Каналы верхнего основания имеют дугообразную форму, при этом входные отверстия каналов .обращены к центру моечных дисков, à Bhlходные смещены в сторону, противоположную направлению перемещения изделий.

Каналы нижнего основания расположены вертикально. Через дугообразные и вертикальные каналы производится отвод отработанной моющей жидкости. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4235011/28-12 (22) 27.04.87 (46! 30.07.89. Бюл. № 28 (72) Н. И. Никулин и В. Н. Комаров (53) 628.314.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1147456, кл. В 08 В 3/02, 1984. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение позволяет повысить качество очистки изделий. Очи щаемые изделия подаются по направляющим в зону обработки, образованную двумя моечными дисками. Диски расположены соосно один

Изобретение относится к технике очистки изделий и может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки пластин.

Цель изобретения — повышение качества очистки.

На фиг, I изображено предлагаемое устройство, вид, сверху; на фиг. 2 — то же, вид спереди; на фиг. 3 — зона обработки (второй моечный диск не показан); на фиг. 4 — направляющие со сквозными каналами для отвода отработанной жидкости; на фиг. 5 — положение очищаемых изделий в направляющих.

Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий содержит опору 1, на которой закреплены направляющие 2 и 3, в которых выполнены продольные пазы 4 для размещения плоских изделий 5. В верхнем и нижнем основаниям направляющих выполнены сквозные каналы. В верхнем основании каналы 6 имеют дугообразную форму в направлении от центра моечного узла и в сторону, противоположную направлению движения очищаемых изделий. В нижнем основании каналы 7 выполнены вертикально направленными.

В отверстиях 8 установлены моечные диски 9, получающие вращение от электродвигателя 10, через полый вал 11 которого подается моющий раствор в кол ьцевой паз 12. Для перемещения изделий через зону обработки служит захват 13, выполненный в виде гребенки с пазами по форме изделий.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 5 устанавливают на первую позицию перед обработкой в направляюшие 2 и 3, включают электродвигатель грейферного механизма (не показан) . Захват 13 опускается вниз, фиксируя пазом изделие 5.

Электродвигатель вертикального перемещения отключается и включается электродвигателем горизонтального перемещения.

Включается электродвигатель 10 первой пары моечных дисков 9 и система подачи моющего раствора через голый вал 11 и кольцевой паз 12. При прохождении изделий 5 между моечными дисками произ1496842 водится отмывка их с обеих сторон за счет кавитации моющей жидкости при истечении ее из кольцевой щели под действием давления и центробежных сил. При этом происходит и отмывка зон контактирования изделий и направляющих, поскольку жидкость под действием давления и центробежных сил поступает в каналы

6 и 7. Поскольку эти каналы связаны между собой пазами 4, то отработанный раствор выводится через каналы 7. При перемещении изделий захватом не происходит загрязнение их моющим раствором, так как каналы 6 направлены в обратную по отношению к направлению перемещения захватов сторону и имеют дугообразную форму. После отмывки изделия захват 13 перемещается вверх, а затем — горизонтально влево, захватывая следующее изделие. Ll,икл повторяется.

Формула изобретения

1. Устройство для двухсторонней очист- 20 ки плоских изделий, содержащее по меньшей мере одну пару. соосно установленных с зазором один по отношению к другому моечных дисков с осевыми отверстиями для подачи моющего раствора, направляющие для прохода изделий в зазоре между дисками и захват для перемещения изделий, отличающееся тем, что, с целью повышения качества очистки, в верхнем и нижнем основаниях направляющих в зоне размещения моечных дисков выполнены сквозные каналы, служащие для отвода отработанной моющей жидкости, каналы верхней направляющей имеют дугообразную форму, причем входное отверстие дугообразного канала обращено к центру моечных дисков, а выходное смещено в сторону, обратную направлению перемещения изделий по направляющей.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оси каналов нижней направляющей расположены перпендикулярно к рабочей поверхности ее основания.

1496842

Фиг. 3

1496842

С.оставитсяь Г. Квашснко

1зс виктор М. Кслсчсш Техред И. Всрсс Корректор11. Король

За каз 4364/10 Тираж 535 Il одписи ое

ВП ИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям ири ГКНГГ С(:CP ! 13035, Москва, Ж--35, Раушская паб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. /жгород, ул. Гагарина, 101