Патент ссср 157534

 

Класс G 02с1; 42ll 34„

Фв 157534

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2Ц. (у. рл "Eнт,, т., f с

А. И. Инюшнн, Л. Е. Королькова н В. М. Степанов - —

Подписная группа М 170

СПОСОБ ОБЪЕКТИВНОГО СЧЕТА ЧИСЛА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ КОЛЕЦ

Заявлено 3 июля 1962 г. зз № 785017!26-10 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» № 18 за 1963 г.

Известны способы объективного счета числа прямых интерференционных полос одинаковой ширины с помощью фотоэлектрической регистрации. Для этого в плоскости интерференционной картины параллельно полосам устанавливают одну или несколько щелей, а за ними— соответствующее число фотоэлементов для регистрации модулированного светового потока, проходящего через щель. Однако эти способы не обеспечивают достаточной точности в случае фотоэлектрического счета числа интерференционных колец переменной ширины, а тем более в случае их деформации (например, при форме эллипсов).

Предлагаемый способ дает ббльшую точность прн фотоэлектрическом счете числа интерференционных колец благодаря тому, что интерференционная картина дополнительной оптической системой проектируется в плоскость диафрагмы с малым сканирующим отверстием, за которым установлен фотоумножитель. Кроме того, включение в оптическую схему вращающейся призмы Довэ позволяет поворачивать изображение интерференционной картины вокруг оптическон оси и считать число интерференционных колец под произвольным углом к направлению движения сканирующего отверстия, т. е. определять астигматнзм поверхности. Счет колец ведется не от их центра до края, а вдоль всего диаметра колец.

На чертеже изображен фотоэлектрический интерферометр для осуществления предложенного способа.

Светящееся тело 1 ртутной микролампы зеркалом 2 и конденсатором 8 через светофильтр 4 проектируют на отверстие А в плоскости диафрагмы 5. После оптической детали б объектив 7 изображает отвер№ 157534 стие А в точке Л . С точкой А совмещен центр кривизны эталонной поверхности 5 мениска 8. С этой же точкой примерно совмещают центр кривизны поверхности 5 контролируемой линзы 9. В результате отражения от поверхности S< и S> когерентных волн на эталонной поверхности мениска образуется интерференционная картина, которую объективом 7, оптическими деталями б, 10, 11, 12 (призма Довэ) и объективами 18 и 14 проектируют в плоскость диафрагмы 15, имеющей сканирующее отверстие малых размеров. Линза 1б вместе с другими оптическими деталями проектирует отверстие А в плоскость фотокатода фотоумножителя 17.

После настройки интерферометра и замены эталонной линзы контролируемой в случае, если радиусы кривизны их не равны, в поле зрения интерферометра возникают интерференционные кольца. Число этих колец пропорционально разности радиусов кривизны эталонной и контролируемой поверхностей.

Диафрагму 15, закрепленную на кареткс, перемещают с помощью двигателя перпендикулярно оптической оси интерферометра, т. е. в направлении одного из диаметров интерференционных колец. При движении сканирующей диафрагмы отверстие в ней последовательно проходит светлые и темные интерференционные кольца. В результате этого световой поток, попадающий на катод фотоумножителя, модулируется

" частотой пересечения отверстием светлых интерференционных колец.

На нагрузке фотоумножителя возникают импульсы фототока, которые после прохождения через усилитель 18 и детектор 19 попадают на электронное реле 20 и регистрируются релейным блоком 21. Вращающаяся призма 12 Довэ позволяет поворачивать изображение интерференционной картины вокруг оптической оси и считать число интерференционных колец в различных направлениях для обнаружения астигматизма поверхности линзы.

Предмет изобретения

Способ объективного счета числа интерференционных колец с фотоэлектрической регистрацией, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений и определения астигматизма поверхности, интерференционную картину с помощью дополнительной оптической системы проектируют в плоскость диафрагмы с малым сканирующим отверстием и поворачивают вокруг оптической оси призмой Довэ. № 157534

// /2 /б /7 !

3 !4 /5

Составитель Л. Я. Гойкман

Редактор Л. В. Калашникова Техред А. А. Камышникова Корректор Н. В. Гераськина

Подп. к печ. !3/IX — 63 г. Формат бум. 70Х108 /и Объем 0,26 изд. л.

Заказ 2350/5 Тираж 650 Цена 4 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.