Способ определения параметров анизотропной поверхности
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения. Поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения. Ориентируют поверхность так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии поверхности, изменяют угол падения излучения, измеряя при этом интенсивность дифрагированного излучения, и по результатам измерений судят о глубине канавок.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ.
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
1 4 А1 (19) (ll) (51) 4 G 01 В ll/30
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM
ПРИ ГКНТ СССР :3 ..ГГР. ; 11
r.s,.-:т.;:
К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ е (21) 4320119/24-28 (22) 26.10.87 (46) 23,05.89. Бюл. И- 19 (71) Научно-исследовательский институт механики и физики Саратовского государственного университета (72) Д.И.Биленко, В.П.Полянская, и M.Â.Èâàíoâ (53) 531.717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 1262280, кл. G 01 В 11/30, 1987. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ
АНИЗОТРОПНОЙ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полуИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов.
Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения, Способ осуществляется следующим образом, Исследуемую поверхность с канавками, имеющими период чередования в интервале (1-100)п где 9, — длина волны когерентного, монохроматическопроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определения параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину порядка длины волны зондирующего излучения.
Поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения. Ориентируют поверхность так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии поверхности, изменяют угол падения излучения, измеряя при этом интенсивность дифрагированного излучения, и по результатам измерений судят о глубине канавок.
ro излучения, используемого при исследованиях, и ширину не менее g/4, освещают пучком когерентного монохроматического излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения. В качестве источника такого излучения может быть использован, например, гелий-неоновый лазер, имеющий длину
I волны = 0,63 мкм,Поверхность ориентируют так, что плоскость падения излучения параллельна направлению анизотропии„Изменяют угол падения излучения, например, с помощью гониометра, одновременно с этим производят измерение интенсивности дифрагированного излучения, Определяют зависимость интенсивности дифрагир<1481594 ванного излучения от угла падения, по угловому положению экстремумов которой определяют глубину канавки..
Формула изобретения
Составитель В. Костюченко
Техред M.Õîäàíè÷ Корректор Г. Джула
Редактор Н. Бобкова
Заказ 2675/41 Тираж 684 П одпнс но е
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Гагарина,101
Способ определения параметров анизотропной поверхности, заключающийся в том, что исследуемую поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучения, ориентируют так, чтобы плоскость падения излучения была параллельна направлению анизотропии, измеряют интенсивность диФрагированного излучения и определяют параметры, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью расширения диапазона исследуемых поверхностей, поверхность освещают пучком излучения, плоскость поляризации которого перпендикулярна плоскости падения излучения, измеряют угол падения излучения, измерение интенсивности диФрагированного излучения производят одновременно с изменением угла падения, определяют зависимость интенсивности дифрагированного излучения от угла падения, по угловому положению экстремумов которой определяют параметры.
