Способ изготовления блока тонкопленочных магнитных головок

 

Изобретение относится к технологии изготовления блока тонкопленочных магнитных головок и позволяет повысить эффективность и упростить технологию изготовления. Для этого углубления с наклонным дном выполняют на двух стеклянных подложках, нагретых доя дилатометрической температуры размягчения, вдавливанием в них пуансона, причем меньшая глубина обращена к рабочим зазорам поверхности головки. Магнитные слои наносят на обе стеклянные подложки и формируют на одной из них замыкающие элементы магнитопроводов и обмоток, затем обе подложки соединяют, осуществляя контроль совмещения сформированных структур через прозрачные участки стеклянных подложек. 6 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 1138 А1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 ных магнитных головок и позволяет повысить эффективность и упростить технологию изготовления. Для этого углубления с наклонным дном выполняют на двух стеклянных подложках, нагретых до дилатометрической температуры размягчения, вдавливанием в них,пуансона, причем меньшая глубина обращена к рабочим зазорам поверхности головки. Магнитные слои наносят на обе стеклянные подложки и формируют на одной из них замыкающие элементы магнитопроводов и обмоток, затем обе подложки соединяют, осуществляя контроль совмещения сформированных структур через прозрачные участки стеклянных подложек. 6 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЬ(Й КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4297074/24-10 (22) 12,08.87 (46) 23.12.89, Бюл. К 47 (72) Л, Н. Герасимук, В.А. Сагайдак, И. И. Клетченков, В. В. Браженко, И.M.Áðûçãèí, M.Â.Êóëàêîâ и Е.А.Шейгас (53) 681 84.083 8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1269191, кл. G 11 В 5/29, 1985.

Патент США N 4517616, кл. G 11 B 5/12, 1983. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЛОКА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК (57) Изобретение относится к технологии изготовления блока тонкопленочИзобретение относится к приборостроению, а именно к технике магнитной записи, и может быть использовано в производстве тонкопленочных магнитных головок, Целью изобретения является повышение эффективности и упрощение технологии изготовления блока тонкопленочных магнитных головок.

На фиг. 1 - 6 показана последовательность операций изготовления блока тонкопленочных магнитных головок.

На фиг. 1 - 5 показаны стеклянная подложка 1 с углублением 2 на ее поверхности, магнитный слой 3, магнитопровод 4 в углублении подложки, замыкающие магнитные элементы 5, а также изоляционные 6 и проводящие 7 слои обмоток. На фиг. 6 показана линия 11, по которой осуществляют обработку рабочей поверхности блока тонкопленочных магнитных головок.

Предлагаемый способ изготовления блока тонкопленочных магнитных головок осуществляют следующим образом.

Две подложки 1 (фиг. 1 - 5, показана последовательность операций для одной подложки) из стекла, согласованного по ТКР с пермаллоем (например, стекла С-99, С-110) с плоскопараллельными поверхностями очищают от загрязнений. Последовательность операций очистки: кипячение в органическом растворителе (ацетон, спирт ректификованный), кипячение в дистиллированной воде, сушка в вакууме при

300 С. Затем на поверхность очишен1531138 ных стеклянных подложек устанавливают пуансон с выступами в форме прямоугольников с плавно изменяющейся высотой. Количество выступов равно количеству каналов в блоке тонкопленоч5 ных магнитных головок. Подложки с установленными на них пуансонами загружают в печь, имеющую регулятор температуры. Осуществляют постепенное (в течение 30 мин) нагревание до дилатометрической температуры размягчения (для стекла С-110 390-430 С, для стекла С"900 550-600 С). При этой температуре выдерживают стекла с установленными пуансонами в течение времени, достаточного для вдавливания выступов пуансона в стеклянные подложки. В зависимости от температуры и марки стекла это время составляет от 30 мин до 2 ч. После этого осуществляют медленное снижение температуры до полного остывания в режиме выключенной печи. благодаря этому снимаются упругие напряжения в стекле. Таким образом, получают две стеклянные подложки с углублениями 2 в форме магнитопроводов (фиг. 2) с толщиной, уменьшающейся в сторону рабочей поверхности блока магнитных головок °

На изготовление таким образом подложки напыляют магнитные слои 3 иэ пермаллоя (фиг. 3) толщиной, превышающей глубину углубления 2. После этого участки магнитных слоев, поступающие над поверхностью стеклянных подложек, удаляют при помощи механической обработки поверхностей стек,лянных подложек, в результате чего получают магнитопроводы 4 в углубле- 40 ниях подложек. Таким образом, поверхность сформированных магнитопроводов 4 оказывается планарной с no" верхностью стеклянных подложек 1, в результате чего устраняются пере" гибы проводящих слоев обмоток.

Экспериментальная проверка характеристик пленок пермаллоя Н808И, напыленных с помощью магнетронного уст- О ройства в углублениях, термически сформированных на стекле, показала следующие результаты: коэрцитивная сила H = 0,3 - 0,5 Э, поле аниэитропии Н„. = 3 - 5 Э, магнитная проницае- >5

2000 - 3300, что полностью удовлетворяет требованиям и обеспечивает возможность изготовления TQHкопленочных магнитных головок с вы" сокой эффективностью.

Затем на одной из подложек посредством напыления с последующей фотолитографией формируют замыкающие элементы 5 магнитопроводов,изоляционные 6 и проводящие 7 слои обмоток.

Две стеклянные подложки, на одной из которых сформированы магнитопроводы 4, замыкающие элементы 5 магнитопроводов, изоляционные 6 и проводящие

7 слои обмоток, а на второй - только магнитопроводы, складывают поверхностями с напыленными слоями (фиг. 6) и совмещают верхние и нижние магнитопроводы. Контроль совмещения осуществляют с помощью микроскопа через прозрачные участки стеклянных подложек.

Подложки соединяют одним из известных способов, например. склейкой или диффузионной пайкой °

Полученную структуру устанавливают в корпус, обрабатывают рабочую поверхность блока головок по линии 8 и вскрывают рабочий зазор. Обработку рабочей поверхности блока тонкопленочных магнитных головок по линии 8 осуществляют так, .чтобы обеспечить требуемую толщину полюсных наконечников в области рабочего зазора.

Формула изобретения

Способ изготовления блока тонкопленочных магнитных головок путем формирования углублений на поверхности стеклянной подложки, осаждения магнитных слоев первой половины магнитопроводов, удаления выступающих над поверхностью подложки частей магнитных слоев, формирования обмоток и через рабочий зазор второй половины магнитопроводов, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения эффективности и упрощения технологии изготовления, углубления с наклонным дном выполняют на двух стеклянных подложках нагреванием стеклянных подложек до дилатометрической температуры размягчения и вдавливанием в них пуансона, причем меньшая глубина обращена к рабочим зазорам поверхности головки, магнитные слои наносят на обе стеклянные подложки и после чего формируют на одной иэ подложек замыкающие элементы магнитопроводов и обмоток, затем обе подложки соединяют, осуществляя контроль совмещения сформированных структур через прозрачные участки стеклянных подложек.

Составитель С.Карпенков

Техред М. Ходанич Корректор С.Черни

Редактор M.Áëàíàð

Заказ 7961/52 Тираж 558 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101