Эллипсометрический способ контроля качества полирования образца

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам неразрушающего контроля в технологии обработки ферритов на предприятиях оптической и электронной промышленности. Цель изобретения - повышение чувствительности контроля качества полирования образцов из феррита. Способ заключается в том, что устанавливают угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра. Помещают контролируемый образец из феррита в магнитное поле так, что контролируемая плоскость параллельна, а затем перпендикулярна вектору напряженности магнитного поля. Образец и /или/ магнитное поле вращают относительно друг друга, сохраняя их взаимную ориентацию, а оценку качества полирования производят сравнением с эталоном по эллипсометрическим параметрам, измеренным при одинаковой ориентации образца и эталона относительно внешнего магнитного поля.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 G 01 В 1)/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ магнитного поля.

При наложении внешнего магнитного поля на образец из феррита изменяется состояние поляризации страженного от поверхности обряз1я из ферритя первоначально .1ннсй . †поляризованного света вследстгие влияния намагниченности. 3T(! извести1,п1 эффект Керра, падающий под угл<-м л1и1ейиа — исляризованньп1 свет прис брет;1ет после отражения T лавер сиаст11 ф< рритз эллиитира.зом.

Образец из ферритя помещают в магнитное пале так, чтс к 1нтралируемая плоскость 11.- ð iëIiåë111à, я зятем перпендикулярна вектору напряженности магнитного гп пя, я а1брязец и(или) магГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

llQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ЖНТ СССР (21) 4433511/25-28 (22) 30.05.88 (46) 15.01.90. Бюл. Р 2 (72) В.M. Маслов и Т .С. Мельник (53) 53).715.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1366878, кл. G Ol В 11/30, 31.03.86. (54) ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЛИРОВАНИЯ ОБРАЗЦА

1 (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам наразрушающего контроля в технологии обработки ферритов на предприятиях оптической и электронной промьппленности. Цель изобретения повышение чувствительности контроля

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам неразрушающего контроля в технологии абра 1атки, и может быть использовано на предприятиях оптической и электронной промьш1леннасти при изготовлении, например, записывающих видеокамер.

Цель изобретения — повышение чувствительности контроля качества полировя1.ия образцов из феррита за счет помещения этого образца в магНИТНОЕ ;1аЛЕ С Пс. ЛЕДУЮЩИМ ВРаЩЕНИЕМ.

Способ осуществляют следующим об»Ви«, 1Ы6199 А1

2 качества полирования образцов из феррита. Способ заключается в том, . что устанавливают угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра. Помещают контролируемый образец из феррита в магнитное поле так, чта контролируемая плоскость параллельна, а затем перпендикулярна вектору напряженности магнитного паля. Образец и(или) маг— нитное поле вращают относительно друг друга, сохраняя их взаимную ориентацию, а оценку качества полирования производят сравнением с этялонам па эллипсометрическим параметрам„измеренным при одинаковой ориентации образца и эталона относительно вне111него магнитного поля. нитное поле вращян т один относите 1ьно другого, сохраняя их взаимную ориентацию, а оценку качества полирования производят сравнением.с эталс— ном по эллипсометрическим параметрам (минимальная эллиптичнасть), измеренным при одинаковой ориентации образца и эталона относительна внешнего

)536)99 ле, и в поверхностном слое частицы

Составитель Л. Лобзова

Техред М.Ходанич Корректор) 1.", пксимишинец

Редактор H. Горват

Заказ 100 Тираж 482 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ) t . )Ò СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

lI 11

Производственно-издательский комбинат Патент, г.ужгород, ул. :» орпi ë,101 ческую поляризацию и изменяет свою интенсивность.

Известный эффект ислользован для контроля нарушений в поверхностном слое ферритов после мехобработки, т.е. на основе эффекта Керра в описываемом способе количественно анализируется совершенство структуры полированной поверхности феррита. Чем выше совершенство магнитной структуры, тем условия отражения ближе к отражению от образца с идеальной поверхностью. Этот магнитно-оптический эффект обладает высокой чувствительностью.

Контроль качества полированной поверхности производят бесконтактным эллипсометрическим методом. Схема (не показана) включает ртутно-кварцевую лампу, поляризатор, устанавливаемый последовательно под азимутами о — 0 и 90 относительно плоскости падения, образец иэ феррита, анализатор, ориентированный под фиксироо ванным азимутом ) = 25, и монохроматор, выделяющий ртутную линию. В способе использовано свойство ферритов намагничиваться в магнитном пополучают преимущественную ориентацию магнитной структуры, зависящую в свою очередь от наличия нарушений на по5 верхности.

Формула изобретения

Эллипсометрический способ контроля качества полирования образца, заклкчающийся в том, что устанавливают угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра, измеряют эллипосометрические параметры сравнением с эталоном и оценивают качество полирования образца, о т л и1 ч а ю шийся тем, что, с целью повышения чувствительности контроля качества полирования образцов из феррита, помещают в магнитное поле

20 контролируемой плоскостью параллельно и перпендикулярно вектору напряженности магнитного поля, каждый раз производят относительное вращение образца и магнитного поля, сохраняя их вза25 имную ориентацик, а оценку качества полирования производят сравнением с эталоном по эллипсометрическим параметрам, измереннь1м fTpH одинаковой ориентации образца и эталона относительна магнитного поля.