Способ изготовления цилиндрического сверхпроводящего резонатора

 

Изобретение относится к технологии изготовления цилиндрического сверх проводящего резонатора для метрологии и ускорительной техники. Целью изобретения является улучшение характеристик изготавливаемых резонаторов: стабильности и воспроизводимости рабочей частоты и добротности. Положение рабочего объема резонатора в слитке из крупнозернистого поликристаллического ниобия выбирают по минимально допустимой площади петли гистереэхса путем последовательно чередующихся операций механической обработки и электрохимического контроля . Способ дает возможность изготовления резонатора с оптимальными параметрами при экономии материала. 2 ил. 3 (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУ БЛИН (51)5 H 01 L 39/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

IlPH П1НТ СССР (46) 15.01.91, Бюл. N 2 (21) 4483721/25 (22) 27.06.88 (72) Л.И, Севрюкова, В.М. Ефремов, А.В. Баженов, В,.Л. Масалов, С.Н. буньков и Т.Ю. Ри (53) 621.313 (088.8} (56) Диденко А.Н., Севрюкова Л.И., Ятиса А.A. Сверхпроводящие ускоря. ющие СВЧ"структуры, - M.: Энергоатом-, иэдат, 1981.

Иенде Ф.Ф., бондаренко И.Н., Трубиций А.В. Сверхпроводящие и охлаждаемые резонансные системы. - Киев: Наукова думка, 1976.

Авторское свидетельство СССР

Ю 1373254, lcm. Н 01 L 39/24, 1986. (54} СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦИЛИНДРИЧЕС"

КОГО СВЕРХПРОВОДЯЩЕГО РЕЗОНАТОРА

Изобретение относится к технологии изготовления сверхпроводящего резонатора иэ ниобия или другогосверхпроводящего материала с крупнокристаллической структурой для метрологических целей или для использования в ускори тел ь ной тех ни ке.

Целью изобретения является повышение стабильности и .воспроизводимости резонатора и его добротности.

На фиг. 1 представлена схема пере" мещения рабочего сечения сверхпроводящего резонатора в слитке, на фиг.2 " петли гистврезиса при перемещении рабочего сечения резонатора в слитке.

Сверхпроводящий резонатор иэготаs" ливают из слитка крупнокристалличес„.,Я0„„1552948 А 1

2 (57) Изобретение относится к технологии изготовления цилинДрического сверхпроводящего резонатора для метрологии и ускорительной техники. Целью изобретения является улучшение характеристик изготавливаемых резонаторов! стабильности и воспроизводимости рабочей частоты и добротности. Положе" ние рабочего обьема резонатора в слитке из крупнозернистого поликристаллического ниобия выбирают по минимально допустимой площади петли гистерезиса путем последовательно чередующихся опера ци и меха ничес кой обработки и электрохимического кон" троля. Способ дает воэможность изготовления резонатора с оптимальными параметрами при зкономии материала .

2 ил. кого ниобия марки HPБ-1 ТУ 48-0531-322-87 с величиной зерна порядка

50-100 мм. При указанных размерах ф зерен наиболее целесообразен шаг перемещения рабочего сечения резонатора фв по слитку не более 5 мм, что в де- р сят ки ра э меньше величины зерна . Рабочее сечение будущего резонатора, которое служит анодом, заполняют зле" ктролитом и снимают вольт- амперную характеристику в прямом и обратном направлениях (гистерезисную петлю),, Ъ по площади которой судят о соответствии данного рабочего сечения резо" натора в слитке, требуемым эталонным свойствам. В случае несоответствия площади петли гистерезиса требуемым

3 1552>48 элек-рофизическим параметрам резона- Ф о р м у л а тора, т.е. когда она больше 60110 мВт/см, рабочее сечение резона- Способ иэг тора вновь перемещают в глубь слитка кого сверхпро на 5 мм. Наиболее характерные петли поликристалли гистерезиса приведены на фиг. 2. Дан- с размером зе ным пределам площадей гистерезиса со- о r л и ч а ю от ветст вуют значения температурного целью обеспеч коэффициента частоты (ТКЧ), стабиль- 10 ности и воспр ности и воспроизводимости рабочей частоты резон частогы резонатора, указанные и та- положение раб блице. в слитке выби изобретения

Значения площади петли гистерезиса, мВт/см

Воспроизводимость при

Т:4,2К

Стабильность эа 1ч

ТКЧ

8„1 ° 10

6,2 1IO

2,6 .10

1,86 10

g,4 10

1,02 -10 4

8,63 ° 10

2, 17 10

3,45 10

480

Чередование механической обработ" ки с электрохимическим контролем продолжают до получения площади петли гистерезиса,, коррелирующей с требуемыми электрофизическими параметрами. отовления цилиндричесводящего резонатора из ческсго слитка ниобия рен не менее 50-100 мм, шийся тем, что, с ения повышения стабильоиэводимости рабочей атора и его добротности, очего объема резонатора рают по площади петли гистерезиса, которая не превышает

60-110 мВт/см, путем последователь1 но чередующихся операций механической обработки с шагом перемещения не более 5 мм и электрохимического контроля.

1552948

I,mA car>

Составитель А. Семенов

Редактор Т. Иванова Техред g,дрык

Корректор Н. Корол ь

° В 1аказ 676 Тираж 357 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям И открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва,. Ж-35, Рауаская наб., д. 4/5

Ф

Производственно-излательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 19!