Способ получения видимого изображения на структуре а @ s @ /а @

 

Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способам получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии. Цель - повышение светочувствительности структуры, Исходную структуру As2Ss/Ag освещают избирательно видимым светом с энергетической освещенностью I 10 мВт/см2 в течение времени t 300/1 с, а затем светом того же спектрального состава неизбирательного и с энгергетической освещенностью мВт/см2. Светочувствительность возрастает от 0,3 до 3,0 см2/Дж. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з 6 03 С 1/72

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (л

Ql

iQl ! м

1 .

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4359324/10 (22) 11.01,88 (46) 30.11.91, Бюл. ЬЬ 44 (71) Физико-технический институт им.А.Ф,Иоффе (72) А. В. Колобов, В, M. Любин и Й, Трельтч (00) (53) 771.75(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N . 360009, кл. Н 03 К 3/06, 1976, (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВИДИМОГО

ИЗОБРАЖЕНИЯ НА СТРУКТУРЕ Аз2$з/А9 (57) Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности

Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способу получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии.

Цель изобретения — повышение светочувствительности структуры.

Физической основой предлагаемого способа является разница в механизме взаимодействия Ag с Аз2$з в зависимости от интенсивности действующего света. Как показали эксперименты, при облучении структуры Аз2Яз/Ag "слабым" светом образуется

А9ЗАзЯЗ. а при облучении "сильным" светом — А92$. А9зАзЯЗ образующийся при предварительном экспонировании "слабым" светом, является блокирующим слоем, препятствующим дальнейшему растворению Ag в Аз2$з при освещении "сильным" светом. Формирование блокирующего слоя при первом экспонировании создает основу для получения видимого изображения при втором облучении.,, SJJ., 1577552 А1 к способам получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии. Цель — повышение светочувствительности структуры, Исходную структуру

АзгЯз/Ag освещают избирательно видимым светом с энергетической освещенностью

I 10 мВт/см в течение времени t>300/1 с, а затем светом того же спектрального состава неизбирательного и с энгергетической освещенностью 1 50 мВт/см . Светочувствительность возрастает от 0,3 до 3,0 см /Дж. 1 табл.

Блокирующий слой, приводящий к повышению светочувствительности, образуется при энергетической освещенности I 10 мВт/см, При l>10 мВт/см блокирующий слой не образуется и повышения светочувствительности не наблюдается.

Для повышения светочувствительности необходимо, чтобы за время экспонирования успел сформироваться блокирующий слой. Блокирующий слой формируется при временах экспонсирования t 300/1 с. При временах t>300/1 с блокирующий слой не формируется и повышения светочувствительности не происходит.

Пример 1, Двухслойная светорегистрирующая система Аз2ЯЗ/Ag была получена следующим образом, На подложку из полированного оксидного стекла толщиной 1,8 мм термическим испарением в вакууме напыляли слои Аз ЯЗ u Ag. Для испарения был взят сульфид мышьяка, синтезированный из исходных комг.онентов: S (ОСЧ-16-5) и As (ОСЧ вЂ” 17 — 4}. Материалы в соотношении 3:2 помещали в кварцевую ампулу, затем откачивали ампулы до давления остаточных газов 10 торр и запаивали. Ампулу нагревали до 700 С, выдерживали при этой температуре 10 ч и охлаждали до комнатной температуры. Полученное стекло Аз23з использовали для получения пленки. Используемое для напыления серебро имеет квалификацию

ЧДА (ТУ 5П-56 — 70), Напыление обоих слоев проводили на установке АВП-0.5. Навески

As2S3(0,2 r) и(0,05 г) помещали в две разные лодочки, изготовленные из танталовой ленты, Лодочки подключали к контактам, через которые на испарители подается напряжение. Над испарителями на стеклянном стакане высотой 16 см размещали подложки (полированные стеклянные пластинки) и кварцевый датчик прибора КИТ-1, с помощью которого определяли толщину иапыляемых слоев Аз25з и Ag, Затем проводили откачку до давления остаточных газов 6 10 мм рт.ст, После достижения необходимого вакуума проводили напыление пленки

AszSs. Для этого через испаритель пропускали ток 18 А, обеспечивающий испарение

Аз2Яз в течение времени (в нашем эксперименте 180 с), необходимого для получения пленки толщиной 0,3 мкм. Толщину пленки измеряли в процессе напыления с помощью кварцевого измерителя толщины КИТ вЂ” 1, после чего делали пятиминутный перерыв. Затем в той же вакуумной камере напыляли слой Ag (ток через испаритель — 17 А, время напыления 55 с, толщина слоя Ag 750 А ).

Полученную светочувствительную структуру s темноте извлекали из напылительиой установки.

Экспонирование проводили полихроматическим светом от проектора ЛЭТИ вЂ” 60.

Светочувствительная структура размещалась на расстоянии 10 см от объектива проектора. Для формирования изображения между проектором и светорегистрирующей структурой помещался фотошаблон, механически прижатый к светорегистрирующей структуре. Для получения слабого света, формирующего изображение, между объективом и светочувствительной структурой помещался нейтральный светофильтр из

5 стекла НС вЂ” 6 толщиной 2,2 мм. При этих условиях энергетическая освещенность I составила на поверхности светочувстительной пластины 6 мВт/см . Облучение проводили в

2 течение 1 мин. После этого проводили равно10 мерную засветку светочувствительной пластины светом с I = 120 мВт/см (полный свет проектора ЛЭТИ вЂ” 60 на расстоянии 10 см от обьектива) в течение 3 мин, В результате на светорегистрирующей структуре было сфор15 мировано изображение. контрастность которого составляла К = 5,2. Полученное изображение характеризуется разрешением, позволяющим различать элементы с размерами порядка 2 мкм, Светочувствительность

20 составила 3 см /Дж.

В примерах 2-4 оптическое изображение получено в результате экспонирования структуры Аз23з светом различной энергетической освещенности при разных времен25 ных экспонирования. Результаты экспериментов сведены в таблицу. В этой же таблице приведены сведения об изображении, полученном по способу-про"отипу.

Величина, обрат ая плотности энергии, 3G необходимой для изменения оптической плотности в 2 раза, характеризует достигнутую светочувствительность.

Формула изобретения

Способ получения видимого изображе35 ния на структуре Аз25з/Ag, включающий избирательное освещение видимым светом, о тл и ч а ю шийся тем, что. с целью повышения светочувствительности структуры, освещение проводят светом с энергетической

40 освещенностью! 10 м Вт/см2 в течение времени t 300/1 с, а затем неизбирательно светом того же спектрального состава, но с энергетической освещенностью 1 50M BT/ñì

1577552

Составитель В,Андреев

Техред М,Моргентал Корректор Т.Колб

Редактор И.Шубина

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 4645 Тираж 269 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб„4(5