Масс-спектрометрический течеискатель

 

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет расширить эксплуатационные возможности и повысить чувствительность путем устранения влияния величин и состава анализируемого потока газов. Масс-спектрометрический течеискатель содержит пористый элемент 3, детектор 5, охлаждаемую ловушку 7, высоковакуумный насос 8, пневматический демпфер 10 и форвакуумныфй насос 12. Пневматический демпфер 10 выполнен в виде пористого тела, поглощающего все газы, расположен между высоковакуумным и форвакуумным насосами 8 и 12 и соединен через вентиль 16 с детектором 5. Вход течеискателя с помощью дросселирующего вентиля 17 соединен с выходом высоковакуумного насоса 8. Совокупное использованин и сочетание контуров течеискателя в зависимости от конкретных условий испытаний позволяют контролировать утечки в диапазоне 10 -8...10 -5 л .мкм рт. ст./с при величине суммарного потока 10 -2...3 .10 2 л .мкм.рт.ст./с. 1 ил.

союз соВетСКих

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 M 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

IlO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4612364/25-28 (22) 05.10.88 (46) 23.08.90. Бюл. М 31 (72) В.П.Зайцев, В.И.Киреев, Е.А.Борисов и А.Н.Машталяр (53) 620,165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1425502, кл, G 01 М 3/02, 1988. (54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛ Ь (57) Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет расширить эксплуатационные возможности и повысить чувствительность путем устранения влияния величин и состава анализируемого потока газов. Масс-спектрометрический

„„Я2„„1587354 А1 течеискатель содержит пористый элемент 3, детектор 5, охлаждаемую ловушку 7, высоковакуумный насос 8, пневматический демпфер 10 и форвакуумный насос 12.

Пневматический демпфер 10 выполнен в виде пористого тела, поглощающего все газы, расположен между высоковакуумным и форвакуумным насосами 8 и 12 и соединен через вентиль 16 с детектором 5. Вход течеискателя с помощью дросселирующего вентиля 17 соединен с выходом высоковакуумного насоса 8. Совокупное использование и сочетание контуров течеискателя в зависимости от конкретных условий испытаний позволяют контролировать утечки в диапазоне 10 ...10 л мкм рт.ст./с при величйне суммарного потока 10 ...ЗХ

Х10 л мкм рт.ст./с. 3 ил.

Изобретение относится к испытаниям на герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискателя и может быть ис пользовано для контроля утечек в широком

:диапазоне.

Цель изобретения — расширение эксплуатационных возможностей и повышение чувствительности путем устранения влияния величины и состава анализируемого по( тока газов.

На фиг,1 приведена вакуумная схема течеискателя; на фиг.2 и 3 — возможные рабочие контуры для различных условий испытания на герметичность.

Масс-спектрометрический течеискатель содержит фланец 1, вентиль 2, вход

,,которого соединен с фланцем 1, пористый элемент 3, поглощающий все газы, кроме

, пробного, манометрический преобразова тель 4 и детектор 5, соединенные с выходом пористого элемента 3, последовательно со-! единенные вентиль 6, вход которого соеди нен с выходом пористого элемента 3, ! манометрическим преобразователем 4 и де тектором 5, охлаждаемую ловушку 7, высоковэкуумный насос 8, вентиль 9, ! пневматический демпфер, выполненный в виде пористого элемента 10, поглощающего все газы, вентиль 11 и форвакуумный насос

12, вентиль 13 и манометрический преобра зователь 14, соединенные со входом форва куумного насоса 12, вентиль 15, вход

; которого соединен с выходом вентиля 11, входом форвакуумного насоса 12, входом

; вентиля 13 и манометрическим преобразователем 14, а выход — с входом вентиля 2, вентиль 16, вход которого соединен с гид; равлическим демпфером 10, а выход — с выходом пористого элемента 3, манометрическим преобразователем 4, детектором 5 и входом вентиля 6, и дросселируюший pGHтиль 17, вход которого соединен с выходом высоковакуумного насоса 8 и входом вентиля 9, а выход- с входом вентиля 2 и выходом вентиля 15.

Течеискатель работает следующим образом.

Поток, имеющий в своем составе пробный и балластный газы, попадает через вентиль 2 в пористый элемент 3, в составе

KoT0por0 находится эктивировэнный угoab.

Пористый элемент 3, насыщаясь балластным газом, увеличивает концентрацию пробного газа в общем потоке, который откачивается высоковакуумным насосом 8 через охлаждаемую ловушку 7, В трубопроводе между пористым элементом = и охлаждаемой ловушкой 7 производится регистрация парциального давления пробного газа детектором 5, При открытых вентилях 9 и 11 поток откачивается форвакуумным насосом 12 через гидравлический

5 демпфер 10, в состав которого входит цеолит марки NaA.Ïîpèñòûé элемент 3 представляет собой сорбционн ый фильтр потока газа, а гидравлический демпфер — пористый элемент 10 — одновременно работает по

10 принципу сорбционного насоса, Применительно к контуру фиг.2 физическая картина течения газа следующая. Суммарный газовый поток от иэделия попадает в пористый элемент 3 (фиг,1) через входной

15 флэнец 1, подстыкованный к схеме испытания, и вентиль 2. Пористый элемент 3 поглощает большую часть потока, кроме потока пробного газа. Доля парциального давления пробного газа в оставшемся потоке за

20 пористым элементом увеличивается, что регистрируется детектором 5. Остаточная газовая среда из масс-спектрометра удаляется через вентиль 16, пористый элемент 10 и форвакуумный насос 12. Пористый

25 элемент 10 является откачным средством и одновременно исключает возникновение флюктуаций пробного газа в масс-спектрометре за счет нестабильности его откачки форвакуумным насосом 12. Этот контур ис30 пользуется при малых потоках газа. При работе по контуру на фиг.З при больших потоках газа откачка детектора осуществляется высоковакуумным насосом 8, вентиль

16 закрыт.

35 Совокупное использование и сочетание контуров предлагаемого масс-спектрометрического течеискателя в зависимости от конкретных условий испытания позволяет контролировать утечки в диапазоне

40 10 ...10 л мкм рт.ст./с пои величине суммарного потока 10 ...3 10 л. мкм рт,ст./с.

Формула изобретения

Масс-спектрометрический течеиска45 тель, содержащий детектор, соединенный с ним высоковакуумный насос, пневматический демпфер, первый вход которого соединен с выходом высоковакуумного насоса, и форвакуумный насос, вход которого соеди50 нен с выходом пневматического демпфера, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей и повышения чувствительности путем устранения влияния величины и состава

55 анализируемого потока газов, пневматический демпфер выполнен в виде пористого элемента, поглощающего ace газы, а его второй вход соединен с детектором, 1587354

Составитель В.Черноусов

Редактор Н.Лазаренко Техред М,Моргентал Корректор С,Шекмар

Заказ 2413 Тираж 448 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул.Гагарина, 101