Вакуумный шлюз

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронных микроскопах. Целью изобретения является уменьшение габаритов вакуумного шлюза путем размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри корпуса. Корпус вакуумного шлюза выполнен из коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой. Шлюзовый объем вакуумного шлюза может отсекаться от вакуумного объема колоны электронного микроскопа шлюзовой заслонкой, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Работа вакуумного шлюза и особенности его конструкции показаны на чертежах приведенных в описании изобретения. 3 ил.

СОЮЗ ССЕЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ((9(SU (н ( ($!)5 н 01 7 37/Од

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4389076/24-21 (22) 14.12.87 (4б) 23.09.90. Бюп. 11(35 (71) Сумское производственное объединение ((Электрон" (72) С.Ф.Зелев и В.К.Кононенко (53) 621.52 (088.8) (56) Электронный микроскоп УЕИ

100/200СХ-АД-2: Проспект фирмы

IE0L, Япония, 1985. (54) ВАКУУИНЫИ ШЛЮЗ (57) Изобретение относится к вакуумI ной технике и может быть использовано в электронных микроскопах.

Целью изобретения является уменьшеИзобретение относится к вакуумной .технике и может быть использова-. но в электронных микроскопах.

Целью изобретения является уменьшение габаритов за счет размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри корпуса..

На фиг.1 показан вакуумный шлюз, закрытое .положение, на фиг.2 — вакуумный шлюз с дифракционной приставкой и исследуемым объектом, установ ленный в колонне электронного микроскопа, открытое положение, на фиг.3вид А на фиг.2.

Вакуумный шлюз содержит (фиг. 1 и 2) корпус 1 в виде коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой 2, дифракционную приставку 3 с исследуемым объектом 4, которая закреплена при помощи резъбового кольца 5, уплотнение осуществляется уплотиителем 6. Шлюзовой объем вакуумного шлюза может отсекаться от

1 ние габаритов вакуумного шлюза путем размещения механизма перемещения шлюзовой заслонки внутри кор/ пуса. Корпус вакуумного шлюза выполнен из коаксиальных цилиндров, герметично соединенных перемычкой. Шлю- зовой объем вакуумного шлюза может отсекаться от вакуумного объема колоны электронного микроскопа шлюзовой заслонкой, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Работа вакуумного шлюза и особенности его конструкции показаны на чертежах приведенных в описании изобретения. 3 ил. вакуумного объема колонны 7 электрон ного микроскопа шлюзовой заслонкой 8 с уплотнением 9, обеспечивая при этом закрытое или открытое положение вакуумного шлюза. Механизм переключе ния вакуумного шлюза состоит из ползуна 10 с рукояткой 11 и втулки 12, которые сочленены посредством двух штифтов 13, входящих в поперечные пазы 14 на втулке 12, что позволяет ползуну 10 поворачиваться на втулке

12, а также перемещать ее в осевом направлении благодаря продольному пазу 15 на полэуне 10. Во втулку 12 ввернуты две продольные тяги 16 которые уплотняются в корпусе уплотнениями 17 при помощи зажимного фланца 18, с другой стороны продольные тяги 16 соединены со шлюзовой заслонкой 8 при помощи гаек 19. Втулка 12 имеет продольный паз 20, в который входит штуцер 21, не позволяющий втулке 12 вращаться, поэтому последняя с

1594625 продольными тягами 16 н шлюзовой заслонкой 8 может перемещаться только в осевом. направлении,при этом продольный паз 15 на ползуне 10 должен быть совмещен с продольным пазом 20 на втулке 12. Ползун 10 имеет углубление 22,в которое утапливается шарик

23, предназначенный для срабатывания микропереключателя. 24 при повороте 1р ползуна 10. Через штуцер 21 производится откачка шлюзового объема на предварительный вакуум с помощью электромагнитного вентиля 25 (фиг, 3),при этом лампочка 26 сигнализирует о степени откачки шлюзового объема.

Рычаг 27 с уплотнительным кольцом 28 служит для напуска воздуха в шлюзовой объем. Розетка 29 предназначена для подачи питания к электромагнитному вентилю 25. В колонне 7 электронного микроскопа вакуумный шлюз уплотняется с помощью уплотнения 30.

Вакуумный шлюз работает следующим образом. 25

Перед работой с дифракционными приставками вакуумный шлюз в закрытом положении устанавливаетсяв колонну

7 электронного микроскопа уплотняется уплотнением Зф, штуцер 21 поц- 30 соединяется к электромагнитному вентилю 25, к которому подключается ро.зетка 29, а затем в колонне ? электронного микроскопа создается высокий вакуум. Дифракциониая приставка 3 с исследуемым объектом 4 вводится в шлюзовой объем, закрепляется в корпусе 1 при помощи резьбового кольца 5 и уплотняется уплотнителем: 6.

Поворотом рукоятки 11 (по стрелке, 40 фиг.1 и 3) вакуумный шлюз переводится из закрытого положения в положение откачки на предварительный вакуум.

При этом ползун 10 поворачивается, шарик 23 выходит из углубления 22 и нажимает на кнопку микропереключателя 24, подавая сигнал через розетку

29 на открытие электромагнитного вен-тиля 25 для откачки шлюзового обьема вакуумного шлюза на предварительный вакуум, сигнальная лампочка 26 загорается. Хогда последняя погаснет, что указывает на конец отдачки вакуумного шлюза на предварительный вакуум, дальнейшим поворотом рукоятки

11 вакуумный шлюз переводится в среднее положение. В этом положении продольный паз 20 íà втулке i 2 совмещается с продольным пазом 15 на ползуне 10 и со штуцером 21, входящим во втулку 12, что позволяет продольным перемещением рукоятки 11 в направлении стрелки (фиг..1).ползуну 10 переместить втулку 12 с ввернутыми в нее продольными тягами 16 и шлюзовую заслонку . 8 в осевом направлении до упора, т.е. открыть вакуумный шлюз, при этом шлюзовой объем вакуумного шлюза сообщается с вакуумным объемом колонны 7 электронного микроскопа.

Переключение вакуумного. шлюза из открытого в закрытое положение производится в обратном порядке: перемещая рукоятку 11 в осевом направлении, сначала закрывают шлюзовую заслонку 8 и с помощью уплотнения 9 отсекают шлюзовой объем вакуумного шлюза от вакуумного объема колонны 7 электронного микроскога, затем поворачивают рукоятку 11 в радиальном направлении из среднего положения в закрытое положение. Нажимая рычаг

27, напускают воздух в шлюзовой объем вакуумного шлюза, что позволяет" извлечь дифракционную приставку 3.

Ф о р м ул а и з о б р е т е н и я

Вакуумный шлюз, содержаший ци— линдрический корпус, шлюзовую заслонку, установленную соосно корпусу, соединенную с механизмом перемещения, и штуцер, закрепленный на корПусе, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов, корпус выполнен в виде двух коаксиальных цилиндров, торцы которых с одной стороны цилиндров герметично соединены кольцевой перемычкой, в которой вакуумно-плотно раз1 мещены тяги, наружные концы которых соединены со шлюзовой заслонкой, а внутренние концы размещены между цилиндрами и соединены с механизмом перемещения, выполненным в виде втулки, размещенной между цилиндрами и ползуна с продольной прорезью, при этом на внешней стороне втулки выполнены поперечные пазы, в которых размещены штифты, закрепленные на внутренней поверхности ползуна, и продольная прорезь, в которой разме-, щен штуцер.

l594625

1594625

Составитель Ю.Яресько

Редактор И. Горная Техред М. Ходанич

Корректор С. Черни

Заказ 2834 Тираж 403 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101