Способ приготовления штриховой меры тест-объекта для градуировки увеличения и проверки разрешающей способности электронных микроскопов

 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей тест-объекта при сокращении времени его приготовления. Светочувствительный слой (СС) наносят на основание стеклянной равнобедренной призмы, одна из граней которой покрыта алюминиевым зеркалом. Облучение СС осуществляют лучом лазера через вторую грань призмы. Записывают голографическую решетку. В качестве СС используют последовательно нанесенные пленки хлористого серебра и серебра. Проявление облученного СС осуществляют путем его обработки парами иода до полного иодирования пленки серебра и последующей выдержки в фотофиксаже. Полученная решетка может быть использовано в качестве исходного образца для тест-объекта. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ()9) SU (II) А1 (1>))(> G 01 М 1/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4460483/24-21 (22) 18.06.88 (46) 07.10.90. Бюл. Ф 37. (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) В.M.Северин, А.М. Климовицкий, Л. А.Агеев, В. К,Милославскик и В.Б.Блоха (53) 621. 385. 833 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

11> 1272160, кл. G 01 N 1/28, !985.

Степанов С.С. и др. О методике получения фоторезистивных решетчатых масок. — Квантовая электроника, 1980, т. 7, 1Ф 4, с. 849. (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ШТРИХОВОЙ

МЕРЫ ТЕСТ-ОБЬЕКТА ДЛЯ ГРАДУИРОВКИ

УВЕЛИЧЕНИЯ И ПРОВЕРКИ РАЗРЕШАБЩЕЙ

СПОСОБНОСТИ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ (57) Изобретение относится к техно- логии приготовления тест-объектов в

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии.

Целью изобретежг является расши-, рение функциональных воэможностей тест-объекта при сокращении времени

его приготовления.

На чертеже показана схема записи голографической р ешетки.

Подложка имеет вид равнобедренной призмы 1. На ее основании 2 последовательно нанесены пленки хлористого

"серебра 3 (100 HM) и серебра

1,10...15 нм). Одна из граней 5 призмы I покрыта алюминиевым зеркалом, а вторая грань 6 прозрачна. Позиция2 электронной микроскопии, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей тест-объекта при сокраще>ыи времени его приготовления, Светочувствительный слой (СС) наносят на основание стекпя иной р авнобедр енной призмы, одна из граней которой покрыта алюминиевым зеркалом, Облучение СС осуцествляют лучам лазера через вторую грань призмы, Записывают галографическу-ю решетку, В качестве

СС используют последовательно нанесенные пленки хлористого серебра и серебра. Проявление аблуче нного СС осущес. вляют путем его обработки парами иода до полного иадиравания пленки серебра и последующей выдержки в фото иксажг. Полученная решетка может быть использована в качестве исходного обр аэц а для т ест — объекта.

1 ил. ми 7 и 8 показан ход лучей в материале призмы, Способ реализуется следующим образом.

Через вторую грань б светочувствительный слой облучается нормальна -падающим к этой грани лазерным лучом с длиной волны Л, из видимой облас- ти спектра (например, 1,= 442 нм).

Интерференционная картина образуется падающим лучом 7 и лучом 8> отраженным зеркалом. При этом период d интерференционной картины и голографической решетки при записи этой картины

;в пленке AgC1 - Ag ранен

1597668

2п sin(g .

Угол падения tg лучей 7 и 8 связан с углом о(при вершине призмы соотношением < =1/2 (7-o() .

Серебро, находившееся до облучения сверху пленки AgG1 в процессе облу- 1О чения распределяется по всей толщине пленки и на границах AgC1 — воздух и

AgCl — призма. Облученный образец помещают в эксикатор с параьи иода, образующимися при сублимации иода из небольшого кусочка кристаллического иода, помещенного на дно зксикатора, Поверхно стный,слой сер ебр а иодируют при комнатной температуре до его полного превращения в AgI, Затем образец 20 помещают в раствор фотографического фиксажа, промывают водой и высушивают °

Путем цифрактометрических измерений контролируют период полученной серебряной решетки. Далее в вакууме напы- 25 ляют на решетку угольную пленку толщиной порядка 10 нм, которую затем отделяют вместе с реыеткой с помощью желатины. Полученный образец закрепляют на столикд объектов H помещают 30 в электронный микроскоп. Выведя последний на рабочий режим, получают сфокусированное иэображение штрихов и производят съемку полученного изображения. Измерив расстояние между иден" 35 тичными линиями, калибруют увеличение микроскопа. Так как штрихи полученной решетки состоят из частичек серебра размером от 3 до 100 нм, то данный объект можно использовать для щ проверки разрешающей способности прибора, оценив размер частичек или промежутков между ними по известному прокалиброванному значению увеличения микроскопа.

Пример. Использовалась равнобедренная прямоугольная призма иэ стекла ТФ-5 с показателем преломления

n=1,78 и газовый лазер с длиной волны

Л, =441,6 нм. Измеренный азотным газовым лазером с длиной волны Л =337 нм период сформированной решетки составил 175 .нм, что практически совпало с расчетным значением по указаиной фор муле.

Формула изобретения

Способ приготовления штриховой меры тест-объекта для градуировки увеличения и проверки разрешающей способнос- ти электронных микроскопов, включающий нанесение светочувствительного слоя на подложку из прозрачного материала, запись гологра оческой решетки путем облучения светочувствительного слоя лучом лазера и rrpoявление rолографической решетки путем химической обработки светочувствительного слоя, о тли ч ающи и ся тем, что, сцелью расширения функциональных возможностей тест-объекта при уменьшении времени его приготовления, в качестве подложки используют равнобедренную призму с алюминиевым зеркалом на одной из ее граней, и светочувствительный слой наносят на ее основание, при этом облучение светочувствительного слоя осуществляют через вторую грань призмы перпендикулярно к ее поверхности, в качестве светочувствительного слоя используют последовательно нанесенные пленки хлористого серебра толщиной 00 нм и сер ебр а, толщиной

l0... 15 нм, а проявление голографической решетки проводят путем обработ" ки светочувствительного слоя парами иода при комнатной температуре до полно го иодиравания пленки серебра и последующей выдержки в фотофиксаже.

1597668

Составитель В. Гавркшии

Техред, М.ХоданицКорректор М, Шар оши - р —Редактор А.Шандор

3 аказ 3046 Тиразк 498 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101