Способ контроля профиля поверхности и устройство для его осуществления

 

1. Способ контроля профиля поверхности, заключающийся в том, что над контролируемой поверхностью располагают электропроводящий шаблон, возбуждают электромагнитную волну, измеряют распределение во времени параметров отраженной волны и по полученным значениям этого распределения судят об отклонении профиля контролируемой поверхности от шаблона, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения, над контролируемой поверхностью располагают аналогично первому второй электропроводящий шаблон, а падающую электромагнитную волну возбуждают между шаблонами.

2. Устройство контроля профиля поверхности, содержащее диэлектрический шаблон, электрод, расположенный на поверхности шаблона, измеритель емкости, выполненный в виде импульсного СВЧ-рефлектометра, и согласованное сопротивление, электрод выполнен в виде изолированного провода, один конец которого соединен с одним из входов импульсного СВЧ-рефлектометра, а другой - с одним концом согласованного сопротивления, отличающееся тем, что, с целью расширения области применения, в него введен второй электрод, аналогичный первому и расположенный на той же поверхности шаблона, один конец второго электрода соединен с другим входом СВЧ-рефлектометра, а другой - с другим концом согласованного сопротивления.