Устройство для двусторонней очистки плоских изделий

 

Изобретение относится к очистной технике, может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки пластин и позволяет повысить надежность работы устройства. На основании закреплены направляющие 2 и 3. На направляющей 3 установлены вакуумные фиксаторы 4, соединенные посредством трубопроводов с вакуумной сетью с датчиком наличия изделий. В окнах направляющих установлены две пары моечных дисков, закрепленных на полых валах 10 электродвигателей 11. На дисках выполнены отверстия для подачи моющего раствора. Полые валы сообщены с отверстиями на дисках и с системой подачи моющего раствора. Для перемещения пластин между направляющими 2 и 3 через зону обработки служит захват, выполненный в виде гребенки с пазами, соединенной с грейферным механизмом. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 В 08 В 3/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1К A BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flQ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2!) 4252841/40-12 (22) 01.06.87 (46) 15.11.90. Бюл. № 42 (72) Н. И. Никулин и В. Н. Комаров (53) 628.314.2 (088.8) (56) Авгорское свидетельство СССР

¹ 1496842, кл. В 08 В 3/02, 1987. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к очистной технике, может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки гластин и позволяет повысить надежность работы устройства. На основании. Я0„» 1606209 А1 закреплены направляющие 2 и 3. На направляющей 3 установлены вакуумные фиксаторы 4, соединенные посредством трубопроводов с вакуумной сетью с датчиком наличия изделий. В окнах направляющих установлены две пары моечных дисков, закрепленных на полых валах 10 электродвигателей 11..

На дисках выполнены отверстия для подачи моющего раствора. Полые валы сообщены с отверстиями на дисках и с системой подачи моющего раствора. Для перемещения пластин между направляющими 2 и 3 через зону обработки служит захват, выполненный в виде гребенки с пазами, соединенной с грейферным механизмом. 3 ил.

1606209

Формула изобретения

@u2 Z

Изобретение относится к очистной технике и может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторон ней очистки плоских изделий.

Цель изобретения — повышение надежности работы устройства.

На фиг. 1 и 2 показано устройство, общий вид; на фиг. 3 — захват.

Устройство для двусторонней очистки плоских изделий содержит закрепленные на основании 1 направляющие 2 и 3. На направляющей 3 установлены вакуумные фиксаторы 4, соединенные через трубопроводы 5 и 6 с вакуумной сетью (не показано) и с датчиком 7 наличия изделий. В окнах 8 направляющих 2 и 3 установлены две пары моечных дисков 9, закрепленных на полых валах 10 электродвигателей 11. На дисках выполнены отверстия 12 для подачи моющего раствора, сообщающиеся с полыми валами 10, которые связаны с системой подачи моющего раствора (не показано). Для перемещения плоских изделий между направляющими 2 и 3 через зону обработки служит захват, выполненный в виде гребенки 13 с пазами 14, соединенной с грейферным механизмом (не показано). Каждый из датчиков 7 соединен с грейферным механизмом.

Устройство работает следующим образом.

Гlлоское изделие, например пластина, устанавливается в направляющих 2 и 3. Вакуумный фиксатор 4 подключают к сети. При этом пластина фиксируется. Датчик 7 через систему управления (не показана) подает сигнал на вертикальное перемещение грейферного механизма. Гребенка 13 опускается, захватывая в пазы пластину, и электродвигатель отключается. Затем подается сигнал на горизонтальное перемещение гребенки.

При этом включаются электродвигатели 11 первой пары моечных дисков 9 и система подачи моющего раствора через полый вал.

После обработки IIJIBcTHHbl первой парой моечных дисков 9, гребенка 13 останавливается, вакуумируется второй фиксатор 4, который удерживает пластину на данной позиции. Датчик 7 второго фиксатора подает сигнал на подъем гребенки 13. После подъема гребенки вторая пластина устанавливаетс ся межд: направляющими на первую позицию и фиксируется первым фиксатором 4, а датчик 7 подает сигнал на перемещение гребенки 13 влево, опускание ее и включение двух пар моечных дисков 9, а также на пода10 чу моющих растворог. Далее цикл повторяется.

В случае отсутстзия пластин на позиции перед началом обработки включение вращения дисков и подач» моющего раствора не происходят.

Предлагаемое устройство позволяет обрабатывать несколько пла, тин одновременно.

Количество пазов для Ilëàñòèí на гребенке соответствует числу моечных дисков. Конструкция захвата в сочетании с вакуум20 ными фиксаторами обес.,ечивает надежную фиксацию пластин, исключает их повреждение.

Устройство для двусторонней очистки плоских изделий, содержащее по меньшей мере одну пару соосно установленных моечных дисков с отверстиями для подачи моющего раствора, направляющие для прохода изделий в зазоре между дисками и приводной захват для перемещения изделий, выполненный в виде гребенки с пазами для размещения изделий, установленной между направляющими с возможностью вертикального и горизонтального перемещений, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, оно снабжено установленными на одной из направляющих, симметрично относительно моечных дисков в направлении горизонтального перемещения гребенки вакуумными фиксаторами с датчиками нали40 чия изделий, причем каждый из датчиков соединен с приводом захвата.!

606209

Составитель Л. Юла ив

Редактор И. Касарда Текред А. Кравчук Корректор, Бескид

Заказ 3512 Тираж 507 Полни«нос

Вг(ИИГIИ Государственного комитета по изобрстениям и откр(ятиям при ГК11Т СССI

I 1 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Ра! инская наб., д. -(5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужго!яь(, ië. Гагарина. I(! I