Устройство для выращивания кристаллов
Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает снижение высоты устройства, повышение жесткости конструкции и удобства обслуживания. Камера устройства выполнена в форме двух горизонтальных плит, скрепленных вертикальными рамами, имеющими двери. В верхней плите выполнен люк, на крышке которого установлен механизм вращения и перемещения затравко держателя. Высота камеры снижена на 50%. 4 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Е (21) 4602722/26 (22) 28.09.88 (46) 30.01,91. Бюл, М 4 (71) Институт неорганической химии СО АН СССР (72) И.П.Лизунова, И.Г.Ларионов, А.А,Павлюк и В.Д,Беляев (53) 621.316,592 (088.8) (56) Установка Кристалл — 607, ИЕВЛ 682312.000. Выставка научного приборостроения. Анотированный каталог. Новосибирск; Наука 1984, с, 116 — 117, Изобретение относится к выращиванию кристаллов, применяемых в электронной и химической промышленности, в цветной металлургии, и касается устройства для выращивания монокристаллов методом вытягивания из тигля с расплавом. Цель изобретения — снижень е высоты устройства, повышение жесткос ги конструкции и удобства обслуживания. На фиг.1 представлено устройство, продольный разрез; на фиг,2 — вид А на фиг.1; на фиг.3 — разрез Б-Б на фиг.t; на фиг.4— разрез  — В на фиг,3. Устройство содержит герметичную камеру 1 с рубашками охлаждения 2. Камера 1 содержит две горизонтальные плиты 3 и 4, размещенные одна над другой и скрепленные вертикальными рамой 5 и дополнительной рамой 6, установленными парэллельно, Рамы 5 и 6 снабжены дверями 7 и 8 соответственно. В верхней плите 4 выполнен люк 9 с крышкой 10, на которой установлен механизм 11 вращения и вертикального перемещения затравкодержателя 12. Внутри камеры 1 установлен съемный тигель !3, окру„„5U„„1624066 А1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает снижение высоты устройства, повышение жесткости конструкцйи и удобства обслуживания, Камера устройства выполнена в форме двух горизонтальных плит. скрепленных вертикальными рамами, имеющими двери. В верхней плите выполнен люк, на крышке которого установлен механизм вращения и перемещения затравкодержателя. Высота камеры снижена на 50, 4 ил. женный нагревателем 14. Тигель 13 размещен HB штоке 15, который связан с датчиком массы 16, жестко закрепленным на нижней плите 3. Устройство вкл .очает пульт управления 17, в который входят блоки управления двигателями механизма вращения и вытягивания монокристаллов, урав, овешивания весов, формирования задания веса, формирования закона регулирования, автоматического регулирования температуры, регистратор температуры и регистратор веса автокомпенсационный (не показаны). Устройство работает следующим образом После загрузки шихты в тигель 13 его устанавливают через люк 9 на штоке 15, опуская тигель вертикально вниз, Устанавливают крышку 10 с механизмом 11 и герметизируют камеру. Включают электропитание нагревателя 14, плавят шихту в тигле 13, производят затравливание и далее процесс выращивания проводится в автоматическом режиме по заданной программе. После окончания процесса выращенный кристалл извлекают из камеры через 1624066 люк 9. Также через люк 9 извлекает тигель 13 с остатками шихты. Использование предлагаемого устройства р о личие от известного позволяет на 30 — 50 сократить высоту камеры, и на 10 — 20;ь ширину, тем самым повысив ее компактность, жесткость, устойчивость и удобство в обслуживании, Выполнение операции загрузки тигля облегчается наличием люка в верхней плите, через который тигель извлекается из печи и из камеры простым подъемом. При установке тигля внутри печи сверху и с боков обеспечен достаточный обзор и доступ к тиглю. Операция извлечения и установки тигля с шихтэй легко механизируется с помощью обычных грузоподъемных устройст». Формула изобретения Устройство для выращивания кристаллов, включающее герметичную охлаждаемую камеру, снабженную вертикальной рамой с дверью, съемный тигель, размещенный внутри камеры и связанный с датчиком массы, нагреватель, расположенный коак5 сиально тиглю, и затравкодержатель установленный над тиглем и снабженный механизмом вращения и вертикального перемещения, отл ич а ю щеес я тем, что, с целью снижения высоты устройства, по10 вышения жесткости конструкции и удобства обслуживания, камера снабжена горизонтальными плитами, установленными по ее торцам, и дополнительной вертикальной рамой с дверью для крепления 15 плит, в верхней плите выполнен люк диаметром, большим диаметра тигля, снабженный крышкой, на которой установлен механизм вращения и геремещения затравкодержателя, а датчик массы жестко 20 закреплен на нижней плите. 1624066 Фиг. 2 1624066 Составитель В. Захаров — Черенков Техред M. Моргентал Корректор С.Шекмар Редактор И. Сегляник Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 171 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
