Устройство для химической обработки цилиндрических стержней

 

Изобретение относится к химической обработке изделий цилиндрической формы из твердых и хрупких материалов , преимущественно полупроводниковых . Цель изобретения - повышение качества химической обработки путем обеспечения безударного переноса стержня из ванны в ванну и сокращение времени контакта его поверхности с воздухом. Ванны 1 с роторами радиусом R устанавливают с межцентро-. вым расстоянием 2Rcosb( , причем лопасть 3 каждого ротора последунлцей по ходу технологического процесса ванны 1 установлена на валу 2 с угловым смещением 180°-2Л относительно лопасти 3 ротора предыдущей ванны 1 в сторону, противоположную их вращению . При повороте лопастей 3 по часовой стрелке на 360° первый стержень опускается на дно первой ванны 1 и остается там, подвергаясь химической обработке. В это время на вернувшуюся в исходное положение лопасть 3 устанавливается второй стержень . Пв истечении времени химической обработки лопасти 3 снова поворачиваются на 360. При этом второй стержень опускается на дно первой ванны, а первый стержень подхватывается лопастью 3 и извлекается из первой ванны. При достижении края ванны происходит встреча вращающихся лопастей 3 первой и второй ванн 1, при этом стержень перекатывается с лопасти 3 ротора первой ванны 1 на лопасти 3 второй ванны 1. и, продолжая движение на лопасти, опускается на дно второй ванны и остается там. На лопасть 3 ротора первой ванны 1 устанавливается третий стержень. Далее цикл повторяется. 7 ил. (О (Л сэ КЗ CD СО Сл Јь Фиг1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ÄÄSUÄÄ 1629354 (51)5 С 23 G 3 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМ, СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ fHHT СССР (21) 4456446/02 (22) 17.05,88 (46) 23.02,91. Бюл. ¹ 7 (72) 10.П.Безсалов, А.П.Головатенко, A.È.Ãîëóáoí и Н.И.факторович (53) 621.734.41(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 246268 кл. С ?3 G 3/04, 1967.

Авторское свидетельство СССР № 276690, кл. С 23 Г 3/04, 1969. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИ1ЯЧЕСКОЙ ОБ—

РАБОТКИ ЦИЗП4НДРИЧБСКИХ СТЕРЖНЕЙ (57) Изобретение относится к химической обработке изделий цилиндрической формы из твердых и хрупких материалов, преимущественно полупроводниковых. Цель изобретения — повышение качества химической обработки путем обеспечения безудлрного переноса стержня из ванны в ванну и сокращение времени контакта его поверхности с воздухом. Ванны 1 с роторами радиусом R устанавливают с межцентро; вым расстоянием 2Rcosg, причем лопасть 3 каждого роторл последующей по ходу технологического процесса ванны 1 установлена нл валу 2 с угло2 вым смещением 180 -20(относительно лопасти 3 ротора предыдущей ванны 1 в сторону, противоположную их вращению. При повороте лопастей 3 по часовой стрелке на 360 первый стер— жень опускается на дно первой ванны

1 и остается там, подвергаясь химической обработке. В это время на вернувшуюся в исходное положение ло— пасть 3 устанавливается второй стержень. Пе истечении времени химической обработки лопасти 3 снова поворачиваются на 360 . При этом второй стержень опускается на дно первой ванны, а первый стержень подхватывается лопастью 3 и извлекается из первой ванны. При достижении края ванны происходит встреча вращающихся лопастей

3 первой и второй ванн 1, при этом стержень перекатывается с лопасти 3 ротора первой ванны 1 на лопасти 3 второй ванны 1. и, продолжал движе— ние на лопасти, опускается на дно второй ванны и остается там. На ло".пасть 3 ротора первой ванны 1 устанавливается третий стержень. Далее цикл повторяется. 7 ил. 8 ь ь

1629354 .

Изобретение относится к химической обработке изделий цилиндрической формы из твердых и хрупких материалов, преимущественно полупровод- 5 никовых.

Бель изобретения — повышение качества химической обработки путем обеспечения безударного переноса стержня из ванны в ванну и сокраще- 10 ния времени контакта его поверхности с вбздухом., На фиг. 1 схематически изображено устройство для химической обработки цилиндрических стержней в исходном 15 положении, на фиг. 2 — то же, вид сверху, на фиг. 3 — момент передачи стержня из ванны в ванну; на фиг.4 -7— процесс прохождения одного стержня через устройство (позиции I II, III, и

IV).

Устройство состоит из ряда ванн 1, расположенных по ходу технологического процесса, с установленными на них роторами, состоящими из валов 2 с ло- 25 пастью 3 радиусом R. Ванны с роторами установлены с межцентровым расстоянием А - 2Rcosd . Лопасть ротора последующей по ходу процесса ванны установлена на валу с угловым смеще- щ о нием 180 — 2 относительно лопасти ротора предыдущей ванны в сторону, противоположную их вращению, где o(=

К вЂ” arctic — — угол наклона лопасти пер35 вой ванны к горизонтали в исходном положении, К вЂ” коэффициент трения качения стержня по лопасти, r — - минимальный радиус обрабатываемых стержней

Валы 2 соединены при помощи шестерен

4 и 5 цепной передачи 6 с общим приводом 7 вращения.

Устройство работает следующим образом.

Привод 7 вращения валов 2 работает периодически, поворачивая валы на угол 360 . Подлежащий обработке стержень (заготовка) устанавливается на находящуюся в исходном положении лопасть 3 (фиг.4), и включается привод вращения установки.

При повороте лопастей по часовой стрелке на 360 первый стержень опускается на дно первой ванны и остается там, подвергаясь химической обработке. В это время на вернувшуюся в исходное положение лопасть 3 устанавливается второй стержень (фиг.5). По истечении времени химической обработки лопасти снова поворачиваются на

О

360 . При этом второй стержень опускаается на дно первой ванны, а первый стержень подхватывается лопастью и извлекается из первой ванны. При достижении края ванны происходит встреча вращающихся лопастей первой и второй ванн (фиг.3), при этом стержень перекатывается с лопасти ротора первой ванны на лопасть ротора второй ванны и, продолжая движение, на лопа-. сти опускается на дно второй ванны и остается там (фиг.6). На лопасть ротора первой ванны устанавливается третий стержень.

При следующем цикле третий стержень опускается на дно первой ванны, второй стержень перемещается на дно второй ванны, а первый стерже ь подхватывается JIoIIBcTbM ротора второй ванны и извлекается из ванны для последующей обработки (фиг.7) и т.д.

В момент встречи (фиг.3) лопасти предыдущей и последующих ванн образуют желоб, в котором располагается обрабатываемый стержень. При этом лопасти, образующие желоб, должны составлять с горизонталью угол 0(который бы обеспечил скатывание обрабатываемых стержней с лопасти под действием собственного веса. Продолжая вращение, лопасть ротора предыдущей ванны, поднимается вверх и сталкивает обрабатываемый стерржень на опускающуюся вниз лопасть ротора поСледующей ванны. При этом стержень быстро и плавно, без ударов перемещается из ванны в ванну,т.е.достигается положительный эффект.

Предлагаемое устройство позволяет повысить качество химической обработки иэделий путем безударного переноса стержней из ванны в ванну и сокращения времени контакта его поверхности с воздухдом.

Формула изобретения.

Устройство для химической обработки цилиндрических стержней, содержащее ряд ванн с цилиндрической поверхностью дна, установленных по,ходу технологического процесса, с соосно установленными на них роторами, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения качества химической обработки путем обеспечения безударного переноса стержня из ванны в ванну и со5 1629354

6 кращения времени контакта его поверх- ванны установлена йа BRJTy C yr oB M ности с воздухом, роторы выполнены смещением 180 - 2й относительно лов виде валов с лопастью радиусом R, пасти ротора предыдущей ванны, где равным радиусу цилиндрической поверх- О(- угол наклона лопасти ротора перности дна,-и установлены с межосевым вой ванны к горизонтали в исходном

5 расстоянием 2Ксоя О(при этом лопасть положении. ротора последующей по ходу процесса

Напрабление бращения

1629354 ладка) й(г 7

Тираж 552

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Редактор Н. Яцола

Заказ 412

Составитель Ю.Болобан

Техред Л.Олийнык Корректор А.Осауленко