Устройство для стробирования электронного пучка

Авторы патента:

H01J37/28 - со сканирующими лучами (микроанализаторы со сканирующими лучами H01J 37/256)

Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов. Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты , поперечное сечение которой вытянуто вдоль оптической оси прибора, позволяет за счет уменьшения емкости зазора поднять напряженность поля в зазоре и, следовательно , увеличить чувствительность системы при одинаковом напряжении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклоняющих электродов. 1 ил. г ё ON VJ О О 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю Н 01 J 37/28

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

6йМ03В! дццс;,;;, БАБ,""-A,. . -;

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4365795/21 (22) 19.01.88 (46) 07.05.91. Бюл. М 17 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.Б.Вяхирев, А.Н.Осипов, А.В.Суворинов, С.В.Титов и С.Ю.Шахбаэов (53) 621.385(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 911650, кл. Н 01 J 37/26, 1982.

Задорф Кратц. Вставная система прерывания электронного пучка для РЭМ,вЂ”

Приборы для научных исследований, 1985, N. 4, с.76-81. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТРОБИРОВАНИЯ

ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА (57) Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов, Целью.. Ж,, 1647698 А1 изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов. Устройство содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектродного зазора. Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной «оа«сиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии. Выполнение внутреннего проводника в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль оптической оси прибора, позволяет за счет уменьшения емкости зазора гюднять напряженность поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы при одинаковом напряжении и ширине зазора, а также при одинаковой длине, на которой электронный пучок взаимодействует с полем отклоняющих электродов. 1 ил., 1647698

Формула изобретения

Составитель Е,Барышевский

Редактор Т. Юрчикова Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор И.Муска

Заказ.1650 Тираж 328 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород. ул.Гагарина, 101

Целью изобретения является повышение чувствительности устройства при сохранении его габаритов.

На чертеже представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.

Устройство для стробирования электронного пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора, Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен изтонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов.

Геометрические размеры внешнего и внутреннего проводников однородной коаксиальной линии определяются выбранным волновым сопротивлением линии.

Пример конкретного выполнения устройства для стробирования электронного пучка. При волновом сопротивлении однородной коаксиальной линии передачи, равном 50 Ом, и ускоряющем напряжении до

15 кВ высота торца (Ь) внутреннего ленточного проводника 3 равна 10 мм, ширина торца 1 мм, внутренний диаметр(0) внешнего трубчатого проводника 2 должен быть равен 11,5 мм. Торцы внутреннего ленточного проводника 3, вставленного во внешний трубчатый проводник 2, располагаются так, чтобы их поперечное сечение было вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, и образуют межэлектродный зазор.

Устройство для стробирования элект5 ронного пучка работает следующим образом.

Электронный пучок 4 проходит между торцами внутреннего проводника 3, при подаче на которые переменного напряжения

10 от блока управления создается электрическое поле между отклоняющими электродами, под действием которого электронный пучок 4, проходящий через межэлектродный г зазор, смещается и прерывается диафраг15 мой1.

Выполнение внутреннего проводника однородной коаксиальной линии в виде ленты, поперечное сечение которой вытянуто вдоль электронно-оптической оси прибора, 20 позволяет по сравнению с устройством прототипа за счет уменьшения емкости зазора при одинаковом напряжении между отклоняющими электродами. одинаковой ширине зазора и одинаковой длине, на которой

25 электронный пучок взаимодействует с отклоняющими электродами, повысить напряженность электрического поля в зазоре и, следовательно, увеличить чувствительность системы.

Устройство для стробирования электронного пучка, содержащее отсекающую

35 диафрагму и однородную коаксиальную лиwe, подключенную к блоку управления, с внутренним проводником, разделенным поперечным разрывом на отклоняющие электроды, отл ича ющеес я тем,что, сцелью

40 повышения чувствительности устройства при сохранении его габаритов, внутренний проводник с максимальным и минимальным поперечными размерами ориентирован максимальным размером вдоль оси элект45 ронного пучка.

Устройство для стробирования электронного пучка

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии полупроводниковых объектов и может быть использовано для визуализации и измерения распределения времени жизни неравновесных носителей заряда по поверхности этих объектов

Способ подготовки образцов высокопористых материалов на основе кварцевого волокна для проведения количественных исследований в оптическом и/или растровом электронном микроскопах // 1635228

Туннельный микроскоп // 1597961

Изобретение относится к туннельной микроскопии и может быть использовано для микроанализа поверхности твердых тел

Способ настройки детектора потенциального контраста для растрового электронного микроскопа // 1580455

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии, в частности к методам оптимизации параметров детекторов потенциального контраста

Способ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе // 1569912

Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к способам измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе

Способ фоторегистрации видеосигнала с экрана электронно- лучевой трубки видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа // 1569911

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится фоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства

Туннельный микроскоп // 1520609

Изобретение относится к электронной технике, в частности к микрозондовым приборам, в которых для исследования поверхности используется тунельный ток

Способ определения энергетических параметров межузельных атомов в металлах // 1405623

Способ обработки видеосигнала в растровом электронном микроскопе и устройство для его осуществления // 1285544

Изобретение относится к системам визуализации изображений микрообъектов

Растровый электронный микроскоп // 1275586

Изобретение относится к области микрозондовой техники

Способ визуализации на экране изображений исследуемых объектов и устройство для реализации способа // 2101800

Изобретение относится к электронным вакуумным приборам, в частности к эмиссионным микроскопам и видеоусилителям, и раскрывает способ визуализации и увеличения изображений исследуемых объектов

Сканирующий зондовый микроскоп и способ измерения свойств поверхностей этим микроскопом // 2109369

Зондирующий эмиттер для сканирующего туннельного микроскопа // 2117359

Способ формирования кантилевера сканирующего зондового микроскопа // 2121657

Многозондовый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа // 2124251

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа // 2124780

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Сканирующий зондовый микроскоп // 2152063

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности в многоигольчатом комплексном режиме работы

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп // 2152103

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах в условиях сверхвысокого вакуума и в широком диапазоне температур

Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа // 2153731

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Сканирующий зондовый микроскоп // 2159454

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) или атомно-силового микроскопа (АСМ)