Устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок

 

Изобретение предназначено для контроля параметров тонких магнитных пленок. Цель изобретения - повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок. Устройство содержит корпус 1, опору 2, датчик 3, тонкую магнитную пленку 4, крышку корпуса 5, являющуюся второй опорой, внутренняя поверхность которой, расположенная внутри еакуумируемого объема , имеет форму сегмента сферической поверхности со сквозными отверстиями 6. При снижении давления тонкая ма нитная пленка прогибается и прилегает к сферической поверхности, обеспечивая плотный термический контакт, исключающий градиент температур по поверхности пленки. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s 6 01 R 33/05

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4689610/21 (22) 10.05.89 (46) 30.06.91, Бюл. ¹ 24 (71) Донецкий физико-технический институт

АН УССР (72) А.М.Гришин, В.Ф.Дроботько, Н.Н.Усов и В.А.Шаповалов (53) 621.317.44 (088.8) (56) Х, Vdang, С.S.Krafft, M.Н.Kryder. tEEE

Trans on Magn, MAG-18. 1982, N 6, р. 12951297, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОНСТАНТЫ МАГНИТОСТРИКЦИИ ТОНКИХ

МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК (57) Изобретение предназначено для контроля параметров тонких магнитных пленок.

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано для контроля тонких магнитных пленок при их производстве.

Целью изобретения является повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок, содержащем корпус и две опоры, мсжду которыми в качестве мембраны установлена исследуемая пленка, одна из опор выполнена в виде вогнутого сегмента сферической поверхности, содержащей сквозные отверстия в вакуумируемый объем, обеспечивающие плотное прилегание пленки по всей ее . поверхности. Причем, сферическая опора выполнена из материала, обладающего большой теплоп роводностью.. Ю 1659930 Al

Цель изобретения — повышение точности измерений температурной зависимости константы магнитострикции тонких магнитных пленок, Устройство содержит корпус 1, опору 2, датчик 3, тонкую магнитную Пленку

4, крышку корпуса 5, являющуюся второй опорой, внутренняя поверхность которой, расположенная внутри вакуумируемого обьема, имеет форму сегмента сферической поверхности со сквозными отверстиями 6. При снижении давления тонкая магнитная пленка прогибается и прилегает к сферической поверхности, обеспечивая плотный термический контакт, исключающий градиент температур по поверхности пленки.

1 ил.

На чертеже показано устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок.

Устройство содержит корпус 1, кольцевую опору 2, крышку 3 корпуса, перфорированную отверстиями 4, исследуемую пленку

5 и датчик 6. При измерении константы магнитострикции индуктивно-частотным способом в качестве датчика использовалась выносная индуктивность колебательного контура автодина.

Устройство работает следующим образом.

При откачке газа из вакуумированного объема исследуемая пленка начинает прогибаться, что приводит к появлению механических напряжений в пленке, величина которых растет с увеличением прогиба пленки. Рост механических напряжений происходит до тех пор, пока пленка не коснется крышки, представляющей собой сег1659930

Формула изобретения

К pap8 акууинсиц ниспсу

Составитель Н.Романов

Техред M.Моргентал

Корректор И, Муска

Редактор Н.Коляда

Заказ 1843 Тираж 330 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 мент сферической поверхности, При дальнейшей откачке газа величина прогиба пленки остается неизменной, что тождественно постоянному механиче."кому нагружению пленки. В этом случае поверхность 5 пленки находится в постоянном тепловом контакте со сферической пс верхностью.

Крышка корпуса изготовлена из материала с хорошей теплапроводностьо (например, из латуни). Это позволяет устранить гради- 10 еНт температуры по всей поверхности пленки и легко изменять температуру в диапазоне от 10 до 500 К, Устройство позволяет также проводить измерения на промышленных пластинах 15 любого диаметра, например в диапазоне 30

-. 102 мм.

Устройство для измерения константы магнитострикции тонких магнитных пленок, содержащее корпус, крышку корпуса и опору, при атом корпус разделен на две полости, одна из которых через крышку корпуса связана с вакуумным насосом, а в другой расположен датчик, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, поверхность крышки корпуса, расположенная со стороны вакуумного насоса, снабжена сквозными отверстиями и выполнена в форме вогнутого сегмента сферической поверхности, своей вогнутой частью обращенного в сторону вакуумного насоса,