Устройство для нагрева подложек в вакууме

Авторы патента:

Устройство для нагрева подложек в вакууме преимущественно к установкам молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащее корпус с размещенными в нем нагревателем и держателем подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения однородности температурного профиля на подложках, нагреватель снабжен тепловыравнивающими пластинами из пиролитического нитрида бора и размещен между ними, при этом плоскости спайности пластин параллельны нагревателю, а толщина каждой пластины менее 4 мм.

Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано для осаждения пленок при изготовлении приборов микроэлектроники, оптических покрытий, элементов интегральной оптики

Устройство для напыления многокомпонентных покрытий в вакууме // 1581776

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в тонкопленочной технологии

Способ напыления в вакууме резистивного материала // 1565065

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1561548

Катод для нанесения композиционных покрытий // 1549103

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1483973

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1468009

Линейный электродуговой испаритель металлов // 1387507

Испаритель // 1257115

Испаритель // 1257114

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов