Испаритель
Авторы патента:
1. Испаритель, содержащий парообразователь, парораспределитель с отверстиями для выхода пара, питатель с запорным клапаном, установленный между парообразователем и парораспределителем, и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения их однородности и воспроизводимости, площадь сечения питателя равна 0,01-0,001 площади внутренней поверхности парообразователя, а суммарная площадь отверстий парораспределителя равна 0,01-0,001 площади внутренней поверхности парораспределителя.
2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что парообразователь снабжен герметичным люком для загрузки испаряемого материала.
Похожие патенты:
Способ хромирования стальных изделий // 1671732
Изобретение относится к металлургии, в частности к химико-термической обработке, а именно к вакуумному нанесению хромовых покрытий, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения стальных полос, лент и длинномерных изделий
Испаритель // 1605575
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в технологии микроэлектроники, а именно в устройствах для напыления резиста в вакууме
Испаритель // 1600383
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для нанесения резиста в вакууме
Испаритель // 1545654
Испаритель для металлов и сплавов // 1491032
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных ультрадисперсных порошков металлов и сплавов как труднолетучих и легколетучих элементов, а также для нанесения металлических покрытий в микроэлектронике, металлургии, электрохимии
Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1478660
Испаритель // 1455763
Испаритель // 1354761
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в устройствах для испаг рения веществ и напьшения слоев из двух материалов, преимущественно слоев для электрофотографических целей
Испаритель для нанесения нихромовых пленок // 1120706
Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы
Испаритель для металлов и сплавов // 2219283
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности
Испаритель для металлов и сплавов // 2254963
Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий
Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429
Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления
Испаритель для металлов // 2347849
Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности
Испаритель для металлов и сплавов // 2382117
Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов
Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304
Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п
Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543
Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления
Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы
Испаритель // 2058424
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
