Испаритель
Авторы патента:
Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и систему для локального улавливания газоотделений с тигля в виде набора сменных цилиндров из адсорбента, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий, за счет исключения загрязнений подложки, он снабжен корпусом, на торце которого выполнено отверстие для выхода пара, расположенное напротив открытой поверхности тигля, и запорным клапаном для перекрытия этого отверстия, а система для локального улавливания газоотделений снабжена охлаждаемой вставкой для размещения сменных цилиндров из адсорбента.
Похожие патенты:
Испаритель // 1354761
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в устройствах для испаг рения веществ и напьшения слоев из двух материалов, преимущественно слоев для электрофотографических целей
Испаритель для нанесения нихромовых пленок // 1120706
Электродуговой испаритель металлов // 714807
Изобретение относится к технике электродугового испарения металлов в вакууме, в частности к устройствам для электродугового испарения легкоплавких металлов, и может быть использовано для нанесения коррозионностойких, декоративных и других покрытий методом осаждения из металлической плазмы
Испаритель // 433252
Испаритель для вакуумных установок // 425988
Испаритель металлов // 418572
Патент 413219 // 413219
Патент 413218 // 413218
Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы
Испаритель для металлов и сплавов // 2219283
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности
Испаритель для металлов и сплавов // 2254963
Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий
Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429
Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления
Испаритель для металлов // 2347849
Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности
Испаритель для металлов и сплавов // 2382117
Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов
Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304
Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п
Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543
Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления
Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы
Испаритель // 2058424
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
