Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе

 

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при документировании результатов исследований . Целью изобретения является повышение информативности электронно-микроскопических фотоснимков за счет улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах На экране видеоконтрольного устройства формируют изображение видеосигнала. Устанавливают постоянный необходимый уровень яркости свечения экрана и экспонируют фотоматериал в течение двух кадров развертки одинаковой длительности. При этом экспонирование в течение второго кадра осуществляют при неизменной на противоположную полярности видеосигнала и уменьшенной на 5..,15% амплитуде.

союз соВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з Н 01 J 37/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4695190/21 (22) 08,04.89 (46) 15,09.91. Бюл. М 34 (72) M.À,Êèïíèñ (53) 621.385.833(088,8) (56) Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ./ Под ред.

Д.Гулдстейна. M.: Мир, 1984.

Авторское свидетельство СССР Ф

1569911, кл. Н 01 J 37/28, 1988. (54) СПОСОБ ФОТОРЕГИСТРАЦИИ ВИДЕОСИГНАЛА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ (57) Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано

Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано при документировании результатов исследований.

Целью изобретения является повыше ние информативности электронно-микро- . скопических фотоснимков путем улучшения воспроизведения деталей иэображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах.

Сущность изобретения заключается в том, что вначале осуществляют формирование изображения видеосигнала на экране видеоконтрольного устройства. Устанавли, вают постоянный необходимый уровень яркости свечения экрана и экспонируют фотоматериал в течение двух кадров раз» Ы 1677733 А1 при документировании результатов исследований. Целью изобретения является повышение информативности электронно-микроскопических фотоснимков за счет улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах. На экране видеоконтрольного устройства формируют изображение видеосигнала. Устанавливают постоянный необходимый уровень яркости свечения экрана и экспонируют фотоматериал в течение двух кадров развертки одинаковой длительности. При этом экспонирование в течение второго кадра осуществляют при неизменной на противоположную полярности видеосигнала и уменьшенной на 5.„157; амплитуде. вертки одинаковой длительности. При этом экспонирование в течение второго кадра осуществляют при измененной на противоположную полярности видеосигнала и уменьшенной на 5 — 157ь его амплитуде, Изменение полярности видеосигнала и ри экспонировании приводит к выравниванию контраста. Уменьшение амплитуды видеосигнала на величину * более 15 „ь значительно уменьшает число дискретных уровней яркости изображения, что приводит к снижению качества снимка.

Выбор определенного значения уменьшения яркости в интервале 5 — 157; обусловлен характером исследуемого объекта и определяется в каждом конкретном случае индивидуально.

1677733

Составитель В, Гаврюшин

Редактор С. Лисина Техред M,Моргентал Корректор M. Максимишинец

Заказ 3116 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Сочетание изменения полярности и уменьшения амплитуды видеосигнала приводит к улучшению воспроизведения деталей изображения в светах и тенях при выравнивании контраста в средних тонах, 5

Изменение амплитуды видеосигнала на величину* менее 5 не приводит к заметному изменению яркости деталей изображения, так как граничная чувствительность восприятия глаза лежит в интервалах 3 — 5 g, контр- 10 аста по яркости, Средний уровень яркости свечения экрана видеоконтрольного устройства и первоначальную амплитуду видеосигнала устанавливают из условия обеспечения при 15 фоторегистрации максимального числа дискретных уровней яркости изображения исследуемого объекта за время экспозиции, равное длительности двух разверток кадра при неизменной полярности и амплитуды 20 видеосигнала. При этом используется прямолинейный участок характеристической кривой фотоматериала, Пример. Проводили фоторегистрацию 25 видеосигнала в растровом электронном микроскопе РЭМ вЂ” 200. Объект исследования: серебряные сферические контакты с поверхностными диэлектрическими микрозагрязнениями. При фотографировании с 30 экрана ЗЛТ использовали аппарат "Зенит

Е", объектив Гелиос-44 — 2", диафрагма 11, пленка "фото-64", фотообработка стандартная. Наилучший электронно-микроскопический снимок, обеспечивающий 35 максимальное число дискретных уровней яркости иэображения исследуемых контактов, получен путем подбора среднего уровня свечения экрана, амплитуды видеосигнала и времени экспозиции, которое оказалось равным 40 с, В дальнейшем среднюю яркость свечения и амплитуду контролировали с помощью осциллографа С1 — 68, Для улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях и выравнивания контраста в средних тонах изменение полярности и уменьшение амплитуды видеосигнала производили между однократными запусками кадровой развертки длительностью 20 с, Из серии снимков с различным уменьшением амплитуды видеосигнала (интервал — 5 — 15) наиболее информативный снимок получен при уменьшении амплитуды на 10 .

В результате удалось проанализировать мелкие детали рельефа загрязнений по всей поверхности контакта, включая участки, сигнал от которых находился на краях динамического диапазона.

Формула изобретения

Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе, включающий формирование изображения видеосигнала на экране видеоконтрольного устройства, экспонирование фотоматериала при постоянном уровне яркости свечения экрана в течение двух кадров развертки одинаковой длительности при измененной на противоположную полярности видеосигнала во втором кадре, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности фотоснимков за счет улучшения воспроизведения деталей изображения в свете и тенях выравнивания контраста в средних тонах, при экспонировании фотоматериала в течение второго кадра уменьшают амплитуду видеосигнала на 5 — 15 .

Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе Способ фоторегистрации видеосигнала в растровом электронном микроскопе 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для стробирования электронного пучка в электронно-оптических системах при исследовании динамических процессов

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии полупроводниковых объектов и может быть использовано для визуализации и измерения распределения времени жизни неравновесных носителей заряда по поверхности этих объектов

Изобретение относится к туннельной микроскопии и может быть использовано для микроанализа поверхности твердых тел

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии, в частности к методам оптимизации параметров детекторов потенциального контраста

Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к способам измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано во всех случаях, когда производится фоторегистрация видеосигнала с экрана электронно-лучевой трубки видеоконтрольного устройства

Изобретение относится к электронной технике, в частности к микрозондовым приборам, в которых для исследования поверхности используется тунельный ток

Изобретение относится к системам визуализации изображений микрообъектов

Изобретение относится к электронным вакуумным приборам, в частности к эмиссионным микроскопам и видеоусилителям, и раскрывает способ визуализации и увеличения изображений исследуемых объектов

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности в многоигольчатом комплексном режиме работы

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах в условиях сверхвысокого вакуума и в широком диапазоне температур

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в режиме сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) или атомно-силового микроскопа (АСМ)
Наверх