Устройство для выращивания кристаллов из расплава

 

Изобретение относится к получению искусственных кристаллов и обеспечивает уменьшение габаритов устройства и повышение удобства обслуживания, а также повышение производительности. Устройство содержит камеру роста, которая выполнена из верхней, нижней частей и поддона. Нижняя часть камеры снабжена средством горизонтального перемещения. Между частями камеры и поддоном размещены средства уплотнения, снабженные приводом. Тигель для расплава размещен в нижней части камеры , а шток тигля - в поддоне. 4 з.п.ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 С 30 В 15/00

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4736674/26 (22) 13.09.89 (46) 30.09.91. 6юл, 3Ф 36 (71) Производственное объединение "Красноярский машиностроительный завод" (72) А.Я.Калугин, Л.К.Куценогий, С:И,Петров и А.H.Àáëoâàöêèé (53) 621.315.592(088,8) (56) Патент Франции М 2522694, кл. С 30 В 15/08, 1983, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ

КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА

Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано для установок выращивания монокристаллов (например, кремния) методом Чохральского.

Цель изобретения — уменьшение габаритов устройства и повышение удобства обслуживания, а также повышение производительности.

На фиг.1 изображено устройство со средством перемещения нижней части камеры в виде колес, общий вид; на фиг.2- вид

А на фиг.1; на фиг.3 — устройство со средством перемещения нижней части камеры в виде консоли, общий вид.

Устройство содержит камеру роста, которая выполнена в виде установленных одна над другой верхней части 1; которая закреплена неподвижно, нижней части 2, установленной с возможностью перемеще„„Я ÄÄ 1680810 А1 (57) Изобретение относится к получению искусственных кристаллов и обеспечивает уменьшение габаритов устройства и повышение удобства обслуживания. а также по; вышение производительности. Устройство содержит камеру роста, которая выполнена из верхней, нижней частей и поддона. Нижняя часть камеры снабжена средством горизонтального перемещения. Между частями камеры и поддоном размещены средства уплотнения, снабженные приводом, Тигель для расплава размещен в нижней части камеры, а шток тигля — в поддоне. 4 з.п.ф-лы, 3 ил. ния в горизонтальной плоскости, и неподвижно закрепленного поддона 3, Нижняя Б часть 2 камеры роста снабжена средством перемещения в горизонтальной плоскости, которое выполнено либо в форме колес

4, прикрепленных к наружной поверхности нижней части 2 камеры с помощью кроштейнов 5, либо в форме консоли 6, проикреплен- О ной к наружной поверхности нижней части ОО

2 камеры и установленной с возможностью поворота в горизонтальной плоскости на ко- (") лонне 7. В нижней части 2 камеры размещен тигель 8 для расплава с подставкой 9, нагреватель 10и опорное кольцо 11 тигля 8. Сред- " ство уплотнения, размещенное между

° аЪ верхней 1 и нижней 2 частями камеры и между нижней частью 2 камеры и поддоном

3, содержит кольцевой бурт 12 на торцах нижней части 2 камеры, два эластичных уплотнительных кольца 13 и Z-образное кольцо 14, которое установлено с возможностью

1680810 осевого перемещения и снабжено приводом 15, В поддоне 3 установлен с возможностью осевого перемещения шток 16 тигля

8, снабжненный центрирующим элементом

17. Устройство может быть снабжено по меньшей мере двумя нижними частями 2 камеры.

Устройство работает следующим образом, Перемещают шток 16 тигля 8 вниз, при этом последний с подставкой 9 устанавливается на опорном кольце 11, С помощью привода 15 перемещают; Z-образные кольца 14, образуя зазоры между частями 1 и 2 камеры и нижней частью 2 камеры с поддоном 3. Нижнюю часть 2 камеры выкатывают на колесах 4 или поворачивают вокруг колонны 7, Производят загрузку тигля 8 исходным материалом, которую могут осуществлять в отдельном чистом помещении.

Устанавливают нижнюю часть 2 камеры в первоначальное положение. Приводом 15 перемещают кольца 14, герметизируя камеры роста. Продувают камеры инертным газом. С помощью штока 16 поднимают тигель 8 с опорного кольца 11, Центрирующий элемент 17, взаимодействуя с подставкой 9, обеспечивает осевое перемещение тигля 8. Включают нагреватель 10, расплавляющий исходный материал и выращивают кристалл. При наличии двух нижних частей

2 камеры роста возможна загрузка исходного материала в тигель одной нижней части, в то время как из тигля другой части производят выращивание кристалла. Такое совмещение операций по времени обеспечивает повышение производительности.

То обстоятельство, что загрузка может производиться в отдельном помещении, повышает удобство обслуживания, а исключение осевого перемещения нижней части камеры роста уменьшает габариты устройства.

Формула изобретения

5 1, Устройство для выращивания кристаллов из расплава, включающее камеру роста, выполненную в виде неподвижной верхней части и нижней, снабженной средством перемещения в горизонтальной пло10 скости, средство уплотнения частей камеры и тигель для расплава, размещенный в нижней части камеры, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения габаритов и повышения удобства обслуживания, устройство

15 снабжено поддоном, неподвижно закрепленным под нижней частью камеры, штоком для тигля, установленным в поддоне с воэможностью осевого перемещения, дополнительным средством уплотнения между

20 нижней частью камеры и поддоном и опорным кольцом для размещЕния на нем тигля, 2, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что каждое средство уплотнения выполнено в виде кольцевого бурта на тор25 це нижней части камеры, двух эластичных уплотнительных колец и Z-образного кольца, установленного с возможностью осевого перемещения и снабженного приводом.

3. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е30 с я тем, что средство перемещения нижней части камеры выполнено в форме колес, размещенных на ее наружной поверхности.

4, Устройство no n.1, о т л и ч а ю ще ес я тем, что средство перемещения нижней

35 части камеры выполнено в форме консоли, прикрепленной к ее наружной поверхности и установленной с возможностью поворота, 5. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения производи40 тельности, оно снабжено по меньшей мере двумя нижними частями камеры.

i680810

Фиг.7

3й ащению кснспло

11 7б

Составитель В,Захаров-Черенков

Редактор M.Ïåòðîâà Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М.Шароши

Заказ 3288 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4(5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул,Гагарина, 101